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ボンダー製品

ワイヤーボンダー

ダイボンダー

エポキシダイボンダー

マニュアルエポキシ共晶ダイボンダー(兼用型)

マニュアル共晶ダイボンダー

各種ボンドテスター

特殊ボンダー(被覆線等)

結晶ピックアップマシン

アクセサリ&オプション

各種ワイヤー、プリフォーム材

卓上型UV硬化炉

プローバー製品

セミオートプローバー

スタンダード セミオート・プローバー HSP-200(8 inch)/HSP-300(12 inch)

高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC(8 inch)/HSP-300SC(12 inch)

小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-100(4 inch)/HSP-150(6 inch)

小型高低温セミオート・プローバー HSP-100SC(4 inch)/HSP-150SC(6 inch)

ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-150DS(6 inch)/HSP-200DS(8 inch)

真空セミオート・プローバー HSP-V150(6 inch)/HSP-V200(8 inch)

超高温 真空プローバー CPS-HT/CPS-HT-PLUS

真空セミオート・プローバー(MicroXact) SPS-2600-PLUS-VAC/SPS-2800-PLUS-VAC

マニュアルプローバー

米国 MicroXact 社 スペシャリティプローバー(真空・極低温・超高温・磁場印可)

真空プローバー

磁気デバイス評価用プローバー

オプトデバイス評価用プローバー

4探針プローバー

プローバーオプション

フリップチップボンダー

ランプアニール装置・高速熱処理装置(RTP/RTA装置)

デスクトップシステム

大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW610 (6インチ対応)

大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW810 (8インチ対応)

スタンドアローンシステム

C to C ⾃動搬送付システム

ラッピング・ポリッシング装置

PM6/LP70シリーズ

Tribo/Orbisシリーズ

DL1/DP1シリーズ

WSB2 ウエハーボンディング装置

ケミカルポリッシング装置

ウエハー洗浄装置

ウエハーパーティクル検査装置

切断装置

アプリケーション

信頼性・ストレス試験装置

EMS受託加工

ICソケット(バーンイン・テスト)

プラズマクリーナー・シラン成膜装置・真空オーブン

卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx

その他

故障解析装置

レーザー微細加工装置

枚葉式洗浄装置

枚葉式洗浄装置 Spin型枚葉処理装置

枚葉式洗浄装置 Spin/Dip®枚葉処理装置

ボンディングオプション