エリプソメーター

自動偏光解析装置世界最小エリプソメーター

エリプソメーターとは、光を試料に照射し、試料から反射される光の偏光状態の変化を測定し、薄膜の厚さ、屈折率や吸収係数などの光学定数、あるいは、バルク材の光学定数を解析する装置です。

非接触・非破壊かつ高精度の測定が行えるための各方面で使用されています。

仕様例

測定方法	回転位相子法(RQ法)
光源	0.8mw He-Neレーザー (λ/632.8nm)
ビーム径	0.8mmФ
入射角	固定(通常70度)
サンプルステージ	自動 θ-Yステージ標準にて Ф160mmまで(全面自動測定可) モータドライブ Z軸手動チルト機構付き
測定精度	△/±0.01°ψ/±0.01°[但しSiO2(1000Å)/Si 測定時]
測定時間	Min0.05秒(通常2秒)
コントロールステーション	Dos/V パソコン
寸法	300×400×450(本体)
	他に、制御ユニット・パソコン類
* サンプルステージの仕様はご相談に応じます。

ラインナップ

タイプ	入射角	サンプルステージ
タイプ1	固定	固定
タイプ2	固定	手動 θ-Y
タイプ3	固定	自動 θ-Y
タイプ4	手動可変	固定
タイプ5	手動可変	手動 θ-Y
タイプ6	手動可変	自動 θ-Y
タイプ7	手動可変	固定
タイプ8	手動可変	手動 θ-Y
タイプ9	手動可変	自動 θ-Y

入射角固定
通常70度にて固定します。
入射角手動可変
50・60・70・80度の手動可変になります。
入射角自動可変
45～90度 0.01度ステップで設定が可能です。
5入射まで自動で測定を行えます。
固定サンプルステージ
サンプルの1点を測定するためのステージです。
手動チルト・手動高さ調整機付き
手動サンプルステージ
手動のθ-Yステージにて測定場所を決定します。
手動θ軸ストローク：360度目盛り無し
手動Y軸ストローク：75mm マイクロメータ
ヘッド取り付け可能
自動サンプルステージ
自動のθ-Yステージにて自動多点測定が可能です。
マッピング測定も可能で、結果を3次元鳥瞰図にて表示も可能です。
自動θ軸ストローク：360度分解能：0.1度
自動Y軸ストローク：75mm 分解能：0.1mm

お問い合わせ

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

個人情報に関する法令・規範を遵守します。
当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。

ページの上へ

お問い合わせ