エリプソメーター

自動偏光解析装置 世界最小エリプソメーター

ハイソル株式会社

エリプソメーターとは、光を試料に照射し、試料から反射される光の偏光状態の変化を測定し、薄膜の厚さ、屈折率や吸収係数などの光学定数、あるいは、バルク材の光学定数を解析する装置です。

非接触・非破壊かつ高精度の測定が行えるための各方面で使用されています。

仕様例

測定方法 回転位相子法(RQ法)
光源 0.8mw He-Neレーザー (λ/632.8nm)
ビーム径 0.8mmФ
入射角 固定(通常70度)
サンプルステージ 自動 θ-Yステージ
標準にて Ф160mmまで(全面自動測定可)
モータドライブ Z軸
手動チルト機構付き
測定精度 △/±0.01°ψ/±0.01°[但しSiO2(1000Å)/Si 測定時]
測定時間 Min0.05秒(通常2秒)
コントロールステーション Dos/V パソコン
寸法 300×400×450(本体)
他に、制御ユニット・パソコン類
* サンプルステージの仕様はご相談に応じます。

ラインナップ

タイプ 入射角 サンプルステージ
タイプ1 固定 固定
タイプ2 固定 手動 θ-Y
タイプ3 固定 自動 θ-Y
タイプ4 手動可変 固定
タイプ5 手動可変 手動 θ-Y
タイプ6 手動可変 自動 θ-Y
タイプ7 手動可変 固定
タイプ8 手動可変 手動 θ-Y
タイプ9 手動可変 自動 θ-Y
  • 入射角固定
    通常70度にて固定します。
  • 入射角手動可変
    50・60・70・80度の手動可変になります。
  • 入射角自動可変
    45~90度 0.01度ステップで設定が可能です。
    5入射まで自動で測定を行えます。
  • 固定サンプルステージ
    サンプルの1点を測定するためのステージです。
    手動チルト・手動高さ調整機付き
  • 手動サンプルステージ
    手動のθ-Yステージにて測定場所を決定します。
    手動θ軸 ストローク:360度 目盛り無し
    手動Y軸 ストローク:75mm マイクロメータ
    ヘッド取り付け可能
  • 自動サンプルステージ
    自動のθ-Yステージにて自動多点測定が可能です。
    マッピング測定も可能で、結果を3次元鳥瞰図にて表示も可能です。
    自動θ軸 ストローク:360度 分解能:0.1度
    自動Y軸 ストローク:75mm 分解能:0.1mm

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