セミオートプローバー

小径ウェハ～12インチまで各種サイズのウェハ面内自動測定に対応する各種セミオートプローバーをラインナップ。+10℃～+400℃対応のオープンタイププローバー、-60℃～+300℃対応のシールドチャンバータイププローバー、4K極低温真空プローバー等、多彩なソリューションに対応した製品をご用意しています。
画像認識およびオートフォーカス制御による個別チップ自動測定やX-Y-θ-Zオートアライメントに対応可能です。
お客様の複雑かつ難易度の高い測定アプリケーションに最適なシステムをご提供します。

200mm スタンダード セミオート・プローバー HSP-200 (8 inch)

300mm スタンダード セミオート・プローバー HSP-300 (12 inch)

高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC（8 inch）／HSP-300SC（12 inch）

小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-100（4 inch）／HSP-150（6 inch）

小型高低温セミオート・プローバー HSP-100SC（4 inch）／HSP-150SC（6 inch）

ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-150DS（6 inch）／HSP-200DS（8 inch）

グローブボックス対応セミオート・プローバー HSP-100GB（4 inch）

真空セミオート・プローバー HSP-V150（6 inch）／HSP-V200（8 inch）

ウェハレベル極低温セミオート・プローバー CPS-XXX-CF-PLUS

超高温 真空プローバー CPS-HT／CPS-HT-PLUS

3D磁場セミオート・プローバー (大気圧) MPS-C-350-PLUS

真空セミオート・プローバー(MicroXact) SPS-2600-PLUS-VAC／SPS-2800-PLUS-VAC