ダイシング添加剤

ダイシング添加剤 ディアマフロー

ダイシング添加剤 ディアマフロー

破断面の粗さ、パッド面のコンタミなど、
気になるポイントに最適な添加剤をご提案致します。

概要

腐食したパッド
腐食したパッド

ダイシングに使用される冷却水に添加する事でパッドの腐食やダストの再付着を防止します。
ブレードライフも30%以上向上。

特徴

ウェハ上のDIウォーターの状況
ウェハ上のDIウォーターの状況

ダイシング冷却水の表面張力を低減しブレードとウェハー間に深く浸透し冷却水の効果を向上させます。

ウェハー表面の冷却水が塗れ拡がりダイシング対象物を大気に触れる事を防ぎ、パッド腐食が減少。

取扱いが容易でどのダイシングメーカーの装置でも対応可能。
無腐食性、生分解性液体の為、使用後の廃棄も容易です。
MSDS、RoHSデータ有。

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