ダイシング添加剤 ディアマフロー
世界トップシェアのKETECA社のダイシング添加剤ディアマフロー。
ダイシング時の切削水に添加することで、
ウエハのチッピングやクラックを低減、
パッドの腐食、再付着の防止につながります。
歩留まりアップ、ブレードライフの向上、コスト削減に。
概要
- ダイシングプロセス時に添加することで、製品の歩留まり向上。
- 製品は親水性・親油性であり、切削水の表面張力を低減。
- 切削水の表面張は50パーセント以上低下します。
(表面張力：72→31 dynes/cmに低下) - 切り口の深くまで切削水が浸漬し、切削箇所が低温に保たれます。
- 生分解性物質、排水処理も簡易です。RoHS2認証を取得。
特徴
- ダイシング切削水の表面張力を低減し、ブレードとウエハ間に深く浸透し冷却水の効果を向上。
- 取り扱いが簡易で、様々なダイシングメーカーの装置に対応可能。
- KETECA社のディスペンサーシステムを使用し、純水とディアマフローの安定した比率で供給。
- 濡れ性の向上とパーティクル除去率の向上へ。ダイシング後のダイやボンディングパッドをよりクリーンな状態に。
ダイシング添加剤有無の比較
ディアマフロー未使用
ディアマフロー使用
ディアマフロー未使用
ディアマフロー使用
水分子は高い表面張力の為、ウエハの上部に溜まり、切り口に浸透しにくいです。
その為、ブレードと切削領域に切りくずが蓄積し、チッピング、内部クラックが生じやすいです。
ディアマフローを使用することによって、表面張力を効果的に低下させ、切り口に奥深くまで水が浸透し、切削くずが流出し、切削部分が低温に保たれます。
ディアマフロー未使用
ディアマフロー使用
KETECA社自動供給システム
ディアマフローを添加する際、純水と一定の割合で、ダイシング装置に供給する必要があります。
使用されるダイシング装置の数に合わせて、ダイシング添加剤を自動供給に最適な装置をご提案させて頂きます。
ADS-2/ADS-4/ADS-6/CT-40 (量産用)
ADS-ADS-2は、ダイシングブレード2枚をサポートできます。
ADS-6は最大6枚のダイシングブレードをサポートするモデルとなります。
CT-40はCTP-１Dと組み合わせることで、ダイシングブレード15枚をサポートすることが可能です。
CTP-1D (研究開発用)
自動でディアマフローを切削水に正確な割合で供給する装置です。コンパクトサイズの為、研究開発用途向けです。
装置サイズ：W:370mm×D:260mm×H:420mm
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