ウェハ表面検査装置

C&D Semiconductor Services, Inc.ラインアップ

V1000  顕微鏡用ローダー装置

V1000 顕微鏡用ローダー装置

V1000顕微鏡用ローダー装置は、ソフトウェア上で作成したレシピ制御により、ウェハをカセットから顕微鏡の検査用ステージへと移動させることができます。
レシピは1度作成されるとデータベースに保存されるので、再び同じプロセスを実行することが出来ます。
このローダー装置は、ほぼ全ての顕微鏡と互換性をもっており、装置導入を容易に行うことが可能です。

特長

V1000  顕微鏡用ローダー装置
V1000  顕微鏡用ローダー装置
  • 装置にウェハカセットをセットするとカセットマッピングを自動的に行い、
    カセット内のウェハを自動検出します。
  • ウェハのローディング及び検査プロセスをソフトウェア上のレシピによっておこなうことが可能であるので、高精度な検査を保障することができます。
  • 装置には操作用ハンドルが備えつけてあり、オペレーターはこのハンドルを使用することで、検査プロセス中にウェハを低速回転させることなどの操作を行うことが出来ます。
  • ほぼすべての半導体検査用顕微鏡と互換性を有しております。

V2000 ブライトライトウェハ表面検査装置

V2000 ブライトライトウェハ表面検査装置

V2000ブライトライトシステムは、使いやすく効率的にウェハ表面のさまざまなタイプの欠陥を検査することができます。
システムは自動または手動で操作させることが出来ます。
自動モードにおいては、ソフトウェア上で作成したレシピを使用して検査を行うことが出来、手動モードにおいては様々なプロセスを任意で行うことが可能となります。
なお、自動・手動とも、全ての操作は、グラフィカルインターフェイスを通して実行することになります。

特長

V2000 ブライトライトウェハ表面検査装置
V2000 ブライトライトウェハ表面検査装置
  • 装置にウェハカセットをセットするとマッピングを自動的に行い、ソフトウェアにその情報が記憶されます。
  • デュアルオペレーションモード(オート・マニュアル)により、効率性と操作性を両立させることができます。
  • ソフトウェア上でのレシピ作成により、ウェハ検査プロセスを容易に実施することが出来ます。
    レシピは装置中央のタッチパネルを操作させることで作成することができます。
    このレシピは全てのオペレータが共有することが可能となります。
  • 3軸に傾斜・回転を行うチャックとブライトライト照射によりウェハ検査に最適な環境を作り出します。

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