ウエハプロセス (成膜・洗浄・表面改質・アニール)
RTP/RTA装置
大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW610M (6インチ対応)
大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820M (8インチ対応)
真空ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820V (8インチ対応)
ウエハー洗浄装置
卓上型ウエハー洗浄装置 ParticleCleanシリーズ
枚葉式ウェット処理装置
枚葉式ウェット処理装置・超音波機能搭載 Spin/Dip®枚葉処理装置
枚葉式ウェット処理装置 Spin型枚葉式ウエット処理装置
プラズマ処理装置
プラズマクリーナー G1000
プラズマストリッパー・デスカム装置 CV200RFS
蒸着成膜装置
卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 310TA / 58TA
卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat(エココート)