ウエハプロセス （成膜・洗浄・表面改質・アニール）

RTP/RTA装置

大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW610M (6インチ対応)

大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820M (8インチ対応)

真空ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820V (8インチ対応)

自動搬送付きランプアニール装置

ウエハー洗浄装置

卓上型ウエハー洗浄装置 ParticleCleanシリーズ

枚葉式ウェット処理装置

枚葉式ウェット処理装置・超音波機能搭載 Spin/Dip®枚葉処理装置

枚葉式ウェット処理装置 Spin型枚葉式ウエット処理装置

プラズマ処理装置

プラズマクリーナー G1000

プラズマストリッパー・デスカム装置 CV200RFS

蒸着成膜装置

卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 310TA / 58TA

卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat(エココート)

ウエハプロセス その他

真空ガス置換ポリイミドキュアオーブン 450PB

精密スピンコーター ACE-200 / TOP-8

精密ディップコーター DC-1020

イオンスパッタ装置 G20

マスクレス露光装置　PALET