真空プローバー
小片チップの極低温~超高温での温度特性評価、真空環境、ガス環境での測定に対応した小型真空マニュアルプローバー および -60℃~+300℃ サーマルテストに対応する大口径ウェハ対応真空セミオートプローバーをご提供します。超伝導エレクトロニクス、量子コンピューティング、グラフェン、ナノエレクトロニクス、有機エレクトロニクス、タイミングデバイス等のアプリケーションに対応可能です。
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小型真空マニュアル・プローバー HMP-V80 series
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真空セミオート・プローバー HSP-V150(6 inch)/HSP-V200(8 inch)
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ウェハレベル極低温セミオート・プローバー CPS-XXX-CF-PLUS
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超高温 真空プローバー CPS-HT/CPS-HT-PLUS
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無冷媒 極低温プローバー CPS-XXX-CF
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極低温 磁気プローバー SCM-CF-XX
![](https://www.hisol.jp/wpjp2020/wp-content/uploads/2023/07/sps2600_2800plusvac-1-120x120.jpg)
真空セミオート・プローバー(MicroXact) SPS-2600-PLUS-VAC/SPS-2800-PLUS-VAC
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