モデルCPS-XXX-CF 代表仕様

特長

• – 費用対効果・安定性・信頼性が高く、操作性に優れた製品です。
• – 25 mm角(標準)50 mmウエハ・100 mmウェハ(オプション)の測定
• – 温度範囲10K~400K(標準)精度0.1K
  　低温側 4.2 K、高温側 480 K / 680 K 拡張対応(オプション)
• – クローズドサイクル冷凍機による液体ヘリウムフリー運転
• – fAレベル・fFレベルの微小信号I-V・LCR測定
• – DC ~ 67 GHzのRF測定
• – マルチコンタクトプローブ対応(DC / RF)
• – 4台のXYZマイクロマニピュレータ付きプローブアーム(θオプション)
  　最大8台まで対応可能(オプション)
• – プローブヘッドのサーマルアンカー対応
• – 温度管理された放射シールド
• – 業界標準レベル以下の防振性能(チャック部の振動 <±1 μm)
• – お客様の複雑な測定ニーズにお応えする高度なカスタマイズ対応

仕様

サンプルサイズ	– 25 mm□，φ50 mm，φ100 mm
温度制御範囲	– スタンダード：10 K ～ 400 K – カスタム：低温側 4.2 K，高温側 ～ 480 K / 680 K 　* 温度範囲は使用するプローブ、チャック構造、高温側仕様により制限が発生します。詳細はお問い合わせください。
温度制御	– 冷却方式：無冷媒クローズドサイクル冷凍機（空冷 または 水冷） – 加熱方式：ヒーター – チャック部温度精度・安定性：±100 mK – コントローラー温度分解能：1 mK – サーマルアンカー付きプローブアーム，放射シールド – 温度測定箇所：チャック部・プローブアーム・放射シールド（オプション）・冷凍機コールドヘッド（オプション）
到達真空度	– 10-4 Pa（オプション 10-6 Pa）*低温制御時
ウェハチャック	– 接地型（GND） – 絶縁型（フローティング） – コアキシャル – トライアキシャル 　　* 接地型以外は温度制御範囲に制限が発生します。
プローブ	– DCプローブ（同軸，トライアキシャル） – RFプローブ（DC ～ 67 GHz）特殊オプション 110 GHz対応可能 – マルチコンタクトプローブ（DC，RF） – 光ファイバープローブ
プローブ マニピュレータ	– 真空ベローズ導入 – XYZ移動方式：マニュアル（標準）・電動（オプション） – マニピュレータ数：4台（標準）最大 8台まで対応可能 – RFプローブ・DCウェッジプローブ用のθ調整機構（オプション）
光学系	– ビューポート窓材：溶融石英，カスタム素材やコーティング処理も可能 – ビューポート追加：オプションで対応可能 – 解像度 4 μm以下の各種ズーム鏡筒（Qioptic またはNavitarが標準） – 同軸落射照明またはLEDリング照明 – 顕微鏡XYZ移動機構：スライド式フリーアームまたは電動（オプション） – コールドシャッター（オプション）
カメラ	– 1M～10Mピクセルデジタルカメラより選択 　 画像および動画キャプチャ，寸法測定機能付きソフトウェア付属
除振機能	– 空気ばね式除振機構を装備 – チャック部の振動：＜±1 μm
磁気シールド	– アクティブシールド，パッシブシールドの選択が可能（オプション） – テストエリア周辺の非磁性化対応（オプション）

●システムの構成により仕様に変更・制限が入る場合があります。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

チャックベース温度4.2K・110 GHz RFプローブ・DCウェッジプローブ（Dual CCRモデル）

　MicroXact社は米国バージニア州に拠点を置く、真空・極低温・超高温・磁場印可をキーワードとしたユニークかつ先進的なプローブ・システムを製造・販売する企業です。2004年の設立以来、現在までに25以上の国と地域に納入実績があり、超伝導エレクトロニクス、量子コンピューティング、スピントロニクス、グラフェン、ナノエレクトロニクスなどの科学研究のイノベーションをサポートし続けています。
　ハイソル株式会社は、MicroXact社製品の日本総代理店です。

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