真空セミオート・プローバー(MicroXact)

費用対効果の高い
セミオート真空プローブシステム

SPS-2600-VACおよびSPS-2800-VACシリーズは、真空または制御されたガス雰囲気下で最大100mmまたは最大200mmのウェハの電動または半自動プロービングをサポートするように設計されたMicroXactの真空プローブシステムです。
　
　この真空試験ソリューションは、体系的かつ正確で、費用対効果が高く、低ノイズで操作性に優れています。

　これらの真空プローブシステムは、幅広いプロービングアプリケーションを処理可能な汎用性の高いプラットフォーム上に構築されています。

　MicroXactの真空プローブシステムは、77Kまでのアイシングフリーテストや、酸化しやすいデバイスやコンポーネントの高温テストに最適で、制御された環境内でのウェハレベルプロービングを提供します。

モデルSPS-2600-PLUS-VAC／SPS-2800-PLUS-VAC 代表仕様

モデル名：
　SPS-2600-PLUS-VAC ：100 mmウェハ仕様
　SPS-2800-PLUS-VAC ：200 mmウェハ仕様

特長

– 費用対効果・安定性・信頼性が高く、操作性に優れた製品です。
– 100 mmウェハ・200 mmウェハの自動面内測定に対応
– fAレベル・fFレベルの微小信号I-V・LCR測定
– DC ~ 67 GHzのRF測定
– 4台のマイクロマニピュレータ付きプローブアーム最大8台まで対応可能(オプション)
– プローブカード対応可能(オプション)
– マルチコンタクトプローブ対応可能(DC / RF)
– 77 K ~ 680 Kまでの温度特性テスト対応サーマルチャック(オプション)
　チャック冷却に液体窒素を使用可能
– ソフトウェア制御による自動圧力制御(オプション)
– ドライ真空ポンプまたはターボ分子ポンプの選択が可能。
– 業界標準レベル以下の防振性能(チャック部の振動 <±1 μm)
– お客様の複雑な測定ニーズにお応えする高度なカスタマイズ対応

XactTest™ プローブシステム自動化ソフトウェア・ソリューション

　MicroXact XactTest™ ソフトウェアは、迅速で簡単なセットアップで、一度マニュアルでアライメントしたウェハ全体を無人でテストすることを可能にします。

　インターフェイスはシンプルで使い勝手よく設計されており、ユーザーはほぼすべての種類のデバイスに対して自動テスト手順を簡単に設定できます。

　LabViewベースのXactTest™ ソフトウェアはオープンソースかつソリューションが論理的に構成されており、XactTest™ソフトウェアのフレームワーク内、または豊富なSCPIコマンドライブラリを使用して、プローブステーションの制御と、お客様独自のテストおよび計測機器の容易な統合を可能にします。

　MicroXactの専門家チームは、お客様と直接連携し、システムのハードウェアとソフトウェアを独自のテスト仕様にカスタマイズすることができます。

仕様

サンプルサイズ	– φ100 mm，φ200 mm
温度制御範囲	– 室温～ +200 ℃ / +300 ℃ / +400℃ – 80 K ～ 680 K（オプション液体窒素使用） – その他リクエストに対応します。
温度制御	– 冷却方式：圧縮空気（標準）・液体窒素（オプション） – 加熱方式：ヒーター – チャック部温度精度・安定性：1 K，500 K以上で2 K – コントローラー温度分解能：0.1 K
到達真空度	– 10^-1 Pa（オプション 10^-3 Pa）
ウェハチャック	– 接地型（GND） – 絶縁型（フローティング） – コアキシャル – トライアキシャル – 平面度：＜ 10 μm
プローブ	– DCプローブ（同軸，トライアキシャル） – RFプローブ（67 GHzまで） – マルチコンタクトプローブ（DC，RF） – プローブカード（MUX、DEMUXモジュール組み込み可能） – 光ファイバープローブ
プローブマニピュレータ	– 真空ベローズ導入 – XYZ移動方式：マニュアル（標準）・電動（オプション） – マニピュレータ数：4台（標準）最大 6台まで対応可能
チャックXYステージ	– 100 mmモデル：X 100 mm × Y 100 mm ストローク – 200 mmモデル：X 200 mm × Y 200 mm ストローク – 分解能：1.5 μm，繰り返し精度：±7.5 μm
チャックZステージ	– Z 12.5 mm – 分解能：0.1 μm，繰り返し精度：±1.0 μm
チャックθステージ	– マニュアル：θ ±5° – 電動（オプション）：θ ±5°，分解能：＜ 0.004°
光学系	– ビューポート窓材：溶融石英，カスタム素材やコーティング処理も可能 – ビューポート追加：オプションで対応可能 – 解像度 4 μm以下の各種ズーム鏡筒（Qioptic またはNavitarが標準） – 同軸落射照明またはLEDリング照明 – 顕微鏡XYZ移動機構：スライド式フリーアームまたは電動（オプション） – シャッター（オプション）
カメラ	– 1M～10Mピクセルデジタルカメラより選択
除振機能	– 空気ばね式除振機構を装備可能 – チャック部の振動：＜±1 μm
ソフトウェア	– MicroXact XactTest™ ソフトウェア
通信インターフェイス	– GP-IB，USB，RS-232

●システムの構成により仕様に変更・制限が入る場合があります。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

液体窒素冷却仕様 100mmシステム

プローブカード仕様 200mmシステム

　MicroXact社は米国バージニア州に拠点を置く、真空・極低温・超高温・磁場印可をキーワードとしたユニークかつ先進的なプローブ・システムを製造・販売する企業です。2004年の設立以来、現在までに25以上の国と地域に納入実績があり、超伝導エレクトロニクス、量子コンピューティング、スピントロニクス、グラフェン、ナノエレクトロニクスなどの科学研究のイノベーションをサポートし続けています。
　ハイソル株式会社は、MicroXact社製品の日本総代理店です。