超精密スピンコーター
ACE-200 / TOP-8

超精密スピンコーター

主力製品である超精密小型スピンコーターは、
全世界で広く取り扱われており、大学を中心とした様々な分野の
研究機関に対して約4000台以上の納入実績があります。

ACE-200 / TOP-8は、ステップ別の進行状況を
実時間グラフにして表示する「グラフィック・ファンクション」(特許)を標準搭載しており、高速・高精度に塗膜を形成することができる安価で手軽なスピンコーターです。

装置概要

  • 低価格・低騒音・少振動
  • ステップ別の進行状況を実時間グラフィックで表示する「グラフィック・ファンクション」(特許)
  • 0または50~8,000R.P.Mまで、スピードを自由に加速・減速することができます
    (3,000/Secで加速・減速)
  • 1プログラムにつき最大100ステップを設定し、100プログラムをメモリー可能
  • 装置前面のデジタルコントローラにより、誰でも簡単にご使用頂けます
  • 真空異常、モーターの過負荷時のアラーム機能で安全にご使用頂けます
  • RPM設定値と動作時のRPMを比較し、回転精度を常に確認することができます
  • スピンコーター専用に開発された強力なモーターと独自のプログラムにより加速時間を最長30秒まで延長できる為、多様な材料を適用することができます
  • 位置制御機能により、コーティングを終えた後のワークの向きが元の位置に戻ります
  • 内部構成はユニット化されている為故障はほとんどなく、万が一故障が発生した場合も修理が簡単です
  • オプション:吐出量制御用ディスペンサー
「グラフィック・ファンクション」
「グラフィック・ファンクション」
デジタルコントローラ
デジタルコントローラ
ディスペンサー(オプション)
ディスペンサー(オプション)

動画

仕様表

スピンコーター 仕様

機種名 ACE-200 TOP-8
ウェハサイズ 0.2~4 インチ 個片~8インチ
ボウルサイズ 235m/m 360m/m
ボウル材質 SUS or P.P
ステップ数 100
プログラム数 100
スピード 0 to 50 ~ 8,000 rpm 0 to 50 ~ 5,000 rpm
Hold time 1 ~ 999sec 1 ~ 999sec
精度 ±1 rpm
加減速 3,000 rpm/sec 1,000 rpm/sec
電源 AC 220V/110V, 50/60 Hz
ディスプレイ LCD
システム制御 マイコン制御
寸法 W320 × D420 × H240 mm W440 × D540 × H260 mm

ドライ真空ポンプ 仕様

型式 Rocker 300
方式 ピストン方式
排気速度 22 L/min
到達真空度 -450 ~ -650mmHg
騒音 50 dB
接続径 8 mm
寸法(約) 272 × 121 × 165 mm
重量(約) 5.1 kg
電源 単相 110V ±10%, 65W

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