3D磁場セミオート・プローバー (大気圧)

垂直磁界 0.5テスラ
面内磁界 0.7テスラ
3次元磁場印可対応
磁気セミオートプローブシステム

　モデル MPS-C-350-PLUS 磁気セミオートプローブシステムは、最大200mmウエハの試験デバイスに3次元磁場制御を提供できる世界初のプローブステーションです。

　オプションの3D ホールプローブによるリアルタイムフィードバック制御により、高精度な任意ベクトルの磁場印可を実現することができます。

　MicroXactの真にユニークな特許出願中の設計により、スピントロニクスデバイス、ナノスケールエレクトロニクス、および正確なテストと測定に磁場が必要な他の多くの材料やデバイスのウェハレベルのテストが可能になります。

　スピン流およびスピントルク発振器のテスト、磁気シミュレーション、複雑な多層構造の異方性の同定は、当社のMPSシステムのアプリケーションのほんの一例です。

モデルMPS-C-350-PLUS 代表仕様

特長

– 垂直磁場 0.5 T 面内磁場 0.7 T の 3次元(3D)磁場印可に対応
– φ 100 mm または φ 200 mm のウェハレベルセミオートテスト
– φ 10 mmエリアの磁場均一性 ±2 %
– 磁場安定性 <0.1 %，磁場角度精度 ±0.1 °
– 磁場強度をクローズドループ制御するための3Dホールセンサ(オプション)
– 励磁電源は、極性スイッチング基板付きユニポーラ電源またはバイポーラ電源から選択可能
– 豊富なマイクロスコープ選択肢
　プロービング中の磁性ドメインイメージング観察用の偏光顕微鏡(オプション)
– DC・I-V・LCR・最大67 GHz RF測定，非磁性プローブ・ケーブル
– バキュームベースマイクロポジショナを最大6台搭載可能
– MicroXact XactTestTM ソフトウェア，磁場制御ソフトウェア
　カスタマイズ可能なオープンソースのLabVIEWベース制御ソフトウェアにより
　一般的な磁気デバイステストと各種測定器の制御を容易に統合できます。
– 環境・シールド遮光エンクロージャー(オプション)
– サーマルテスト機能(オプション)
– お客様の測定ニーズにお応えする高度なカスタマイズ対応

XactTest™ プローブシステム自動化ソフトウェア・ソリューション

　MicroXact XactTest™ ソフトウェアは、迅速で簡単なセットアップで、一度マニュアルでアライメントしたウェハ全体を無人でテストすることを可能にします。

　インターフェイスはシンプルで使い勝手よく設計されており、ユーザーはほぼすべての種類のデバイスに対して自動テスト手順を簡単に設定できます。

　LabViewベースのXactTest™ ソフトウェアはオープンソースかつソリューションが論理的に構成されており、XactTest™ソフトウェアのフレームワーク内、または豊富なSCPIコマンドライブラリを使用して、プローブステーションの制御と、お客様独自のテストおよび計測機器の容易な統合を可能にします。

　MicroXactの専門家チームは、お客様と直接連携し、システムのハードウェアとソフトウェアを独自のテスト仕様にカスタマイズすることができます。

仕様

サンプルサイズ	– φ200 mm(標準)，φ100 mm(オプション)
磁場印可	– 磁場印可方向：任意の3D – 最大発生磁場（垂直）：0.5 T – 最大発生磁界（面内）：0.7 T – 磁場ベクトル角度精度:±0.1 ° – 直径10 mm領域磁場均一性:±2 % – 磁場安定性:＜ 0.1 % – ご要望に応じカスタム対応可能
電磁石	– 水冷式 3軸直交 C型電磁石　*チラーまたは水道水の接続が必要です。 – 励磁電源：極性スイッチング基板付きユニポーラ電源（標準）　　　　　Kepco社 4象限リニアバイポーラ電源（オプション）
磁場フィードバック	– 3Dホールプローブによるアクティブフィードバック制御（オプション）　（オープンループでも使用可能） – サンプリングレート：50 ms ～ 2.5 s
ウェハチャック	– ウェハ固定方式：真空吸着固定（標準4ゾーン） – 接地型（GND） – 絶縁型（フローティング） – コアキシャル – トライアキシャル – サーマルチャック：-50 ℃ ～ +150 ℃（オプション）
プローブ	– 非磁性 DCプローブ(同軸，トライアキシャル，バナナ)* 最大6プローブ – 非磁性 RFプローブ(DC ~ 67 GHz)* 最大3ポート(120° 配置) – バキューム固定ベース各種マニュアルポジショナ
チャックX-Yステージ	– X 200 mm × Y 200 mm ストローク・電動 – 分解能：1.5 µm，繰り返し精度：±10 µm
プラテンZ軸	– 12.5 mmストローク・電動 – 分解能：0.25 µm，繰り返し精度：±1 µm
光学系	– 各種ズーム鏡筒 – 同軸落射照明またはLEDリング照明 – 偏光顕微鏡
カメラ	– 1M～10Mピクセルデジタルカメラより選択
環境シールド・遮光	– 環境・シールド遮光エンクロージャー(オプション)
除振機能	– 空気ばね式除振台
ソフトウェア	– MicroXact XactTest™ ソフトウェア，MPS 磁場制御ソフトウェア
通信インターフェイス	– GP-IB，USB，RS-232

●システムの構成により仕様に変更・制限が入る場合があります。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

　MicroXact社は米国バージニア州に拠点を置く、真空・極低温・超高温・磁場印可をキーワードとしたユニークかつ先進的なプローブ・システムを製造・販売する企業です。2004年の設立以来、現在までに25以上の国と地域に納入実績があり、超伝導エレクトロニクス、量子コンピューティング、スピントロニクス、グラフェン、ナノエレクトロニクスなどの科学研究のイノベーションをサポートし続けています。
　ハイソル株式会社は、MicroXact社製品の日本総代理店です。