Sentris ロックイン赤外線発熱解析装置

ロックインメイン赤外線発熱解析装置
Optotherm社のロックイン赤外線発熱解析装置は、高性能でありながら業界No.1の圧倒的な低価格を実現し、日本国内においても数多くのお客様に故障解析ツールとしてご使用頂いております。独自開発した高感度の赤外線カメラは、冷却を必要としない「非冷却」タイプになりますので、メンテナンスにコストが掛からず管理が楽です。

冷却が不要であり、ライニングコストが殆ど掛かりません。電源を入れたら直ぐに測定を開始することが出来、導入後においても時間と経費の大幅な削減にも繋がります。

製品の特長

  • 業界No.1の価格(競合製品の1/4以下)
  • 広い視野、大型サンプルにも最適(広角レンズを使うとA4サイズを一度に測定)
  • 豊富なレンズ(広角レンズに加え、ピクセル分解能80um, 20um, 5umが標準で付属)
  • 最新型高感度レンズ(オプション)を使用することで5uW以下の検出も容易
  • デジカメ感覚で操作(装置を立上げてからロックイン解析まで5分以内、難しい操作は一切なし)
  • 最小分解能5um、検出限界値5uW以下
  • メンテナンスフリー(消耗品はプローブのみ)
IC回路パターンのIR像
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IC回路パターンのIR像

画素数640×480の高感度カメラで、IC回路の細いパターンまで鮮明に観察出来ます。
(どちらの画像もサンプルは加熱しておりません)

ロックイン解析

熱強度像


20umレンズ使用

5umレンズ使用

 

位相像(発熱の深さ情報)

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発熱箇所を高倍率レンズで拡大

独自の位相送り機能(Single Phaseモード)

特定の時点における熱強度像をコマ送りして表示させることで、発熱の始点や熱の広がり方が分かります。下記の画像では、電圧を印加してから24°(1Hzの場合には0.06秒)で異常発熱を検知し、126°(1Hzの場合には0.34秒後)にはチップ全体に広がっています。位相をコマ送りすることで、発熱の始点を追い込むことができます。Single Phaseモードでは、0°が電圧印加の開始を示し、180°が電圧印加の停止を示す位相(0°~ 360°)によって表示されます。


24°
(1Hzの場合は0.06秒後)

126°
(1Hzの場合は0.34秒後)

 

※1Hzの場合には180°=0.5秒(180°/360°/1Hz=0.5秒)となり、2.5Hzの場合には180°=0.2秒(180°/360°/2.5Hz=0.2秒)となります。

ソフトウエア

ワンクリック操作で感覚的にソフトウエアを使用することが出来ます。
スケール機能により、発熱箇所の位置情報も表示することが可能です。
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A: ロックイン周波数と測定モードを選択したら、あとはこのスタートボタンを押すだけ
B: 「Phase」ボックスにチェックを入れると、別の画面に位相像が表示されます
C: ワンクリックでIR像とオーバーレイ
D: 0-360°までの位相をコマ送りし、選択した位相での熱強度を表示します

ロックイン解析以外にも、通常のサーモグラフィーとしてもご利用頂くことが出来、様々な温度測定に対応しております。

ヒストグラム
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温度プロファイル
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放射率測定
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距離測定機能

設定した基点から故障個所までの距離を測定します。

装置外観(標準構成)

装置外観2

プローブユニット
自社製プローバーとドッキングが可能です。
大型パネル用や裏面からのプロービング対応など、
カスタマイズが可能です。

プローバードッキングタイプ

ハイソルオリジナルのプローバーとドッキングすることで、ウエハーや大型ディスプレイなどの測定にも対応します。
お客様のご希望に応じて設計・製作致します。

写真のプローバーは6インチウエハー用ですが、12インチ用も設計・製作致します。
裏面からのプロービングやホットチャック等、様々なオプションをご用意しております。

シールドボックス

各種シールドボックスをご用意しております。開閉方式はハッチバック式と観音扉式をご用意しております。
装置のインターロック機能との連動に対応できます。

シールドボックス一覧

動画

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