近年、デバイスの微細化・複雑化に伴い故障箇所の特定は困難を極めています。
それらに対応するためSEMを用いたナノプロービングシステムは開発されました。
弊社では世界有数のナノプローブ・メーカーMesoscope社(台湾)と提携し、
受託による安価なナノプロービング測定を実現致しました。
| 装置構成 | Zeiss Gemini 500SEM |
|---|---|
| Keithley 4200 parameter analyzer | |
| Kleindiek PW8 Nano workstation | |
| 対応サンプルサイズ | 10mm×10mm×3mm厚(推奨) |
| 20mm×20mm×3mm厚(最大) | |
| 解析メニュー | EBIC(※)・EBAC・RCI・EBIV・EBIRCH |
| 四探針測定、他 |
EBIC(※)とは
Electron Beam Induced Current(電子線誘起電流)の略
電子線を用いて、試料内に信号を生成し、
マッピングすると共に、取得したSEM画像と
重ね合わせる事で正確な欠陥位置を特定します
関連技術としてEBAC、RCI、EBIV、EBIRCHなどがございます。
 |
＋ |  |
＝ |  |
| SEM | EBIRCH | Overlay |
| 測定レベル | |
|---|---|
| Noise : | 20FA @ 1HZ |
| リーク電流(プローブ) : | 50fA/V以下 |
| リーク電流(サンプル) : | 150fA/V以下 |
| Signal conductor resistance : | 5ohm以下 |
| 最大電圧 : | 100V |
| 最大電流 : | 100mA |
▲解析にはMesoscope社製の最先端ナノプローブを使用致します。
その他受託加工サービス
- ワイヤーボンディング
- 各種バンプ加工
- カスタムIC開発設計
- ダイシング（～12inch）
- Cu線ワイヤーボンディング
- HAST試験
- TO-220試作、量産実装
- レーザートリミング
- SMT(表面実装)
- モールディング
- 各種故障解析
- 基板設計、製作
- 断面研磨、観察
- 再配線加工
- COB実装
※上記以外の委託でも、お気軽にお問合せください。
ハイソルは、東京の自社内で様々な実装を行っております。自社での対応が出来ないご要求に対しては、日本国内で30社以上ある提携ベンダーから、案件に適したベンダーを選定し、委託を行いますので、お客様は無駄な時間を使わずに、委託する窓口を一本化することが出来ます。
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