PELCO® FlexScribe™は、試料表面にスクライブすることでウェハなどのサンプルを小片化するために最適なツールです。
常に真っ直ぐなスクライブを行うことができるスライド式スクライビング機構に取り付けられたスクライビングホイールを使用しています。

使用可能材料

このツールは、スライドガラス、シリコン、III-V、サファイア、その他の結晶性で脆い材料など、形状に制限のないさまざまな材料のスクライブにご使用頂けます。

装置概要

PELCO® FlexScribe™に取り付けられている標準の超硬タングステンカッターは、シリコン、ガラス、GaAs、その他の結晶性材料を含むさまざまなサンプルに最適です。
SiCなど硬度の高い材料向けには、ダイヤモンドのスクライビングホイールもオプションでご用意しております。

オプション

交換用スクライビングホイール	超硬タングステン(標準)、ダイヤモンドの2種類
小サンプル用劈開ペンチ	小さなサンプルの劈開に便利なペンチ FlexScribeによるスクライビング後の破断に最適
簡易劈開キット	劈開ペンチ、ハンドダイヤモンドスクライブペンのセット

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