マニュアル精密スクライバー FlipScribe100

マニュアル精密スクライバー FlipScribe100

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FlipScribe100は、米国LatticeGear社が開発した、
これまでに無いスクライバーです。
サンプル表面には全くダメージを与えること無く、ターゲットを狙って高精度に位置を合わせ、サンプル裏面にスクライブラインを入れることが出来ます。
サンプルセット~スクライブ完了までにかかる時間はたったの1分です。

装置概要

マニュアル精密スクライバー 装置概要

FlipScribe100によるスクライビング

ステージ内部に設置されたダイヤモンドスクライブツールを使用して、
サンプル裏面にスクライブラインを入れます。
サンプルの材質、厚みに応じてスクライブの深さ、角度を調整することが出来ます。
ステージ上のスケールに合わせてサンプル表面のターゲットを狙うことが出来、
また、スライドバー、ストップバーを用いる事で再現性が高く、正確なスクライビングが可能となりました。

スクライブツールの先端
スクライブツールの先端
スクライブツールの高さ、角度を調整
スクライブツールの高さ、角度を調整

装置特長

  • 1分で加工完了
  • 裏面をスクライブする為、サンプル表面に傷汚れが付きません。
  • 高精度(±200um以内)
  • 作業者に左右されない高い再現性
  • コンパクト、低価格
  • ガラスや貼り合せウェハにも対応
  • 実体顕微鏡と併用することで、より微小なターゲットを狙うことが出来ます。
    ※実体顕微鏡はオプションです。
  • ステージサイズ : (L) 178 × (W) 156 mm
  • Siウェハのスクライブ
    Siウェハのスクライブ
    ガラスのスクライブ、劈開
    ガラスのスクライブ、劈開
    実体顕微鏡との併用による高精度な位置合わせ
    実体顕微鏡との併用による高精度な位置合わせ

動画

Siウェハのスクライブ

ガラスのスクライブ

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