卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx

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LatticeGear社(米国)は、
世界最高レベルの高精度な劈開(へきかい)をマニュアル装置で実現した劈開装置メーカーです。

一台の装置でマイクロインデント(浅い切込み)から劈開まで行うことが出来、その精度は±10um以内になります(特許申請中) 。
近年では、TSVやバンプの断面観察の前処理用途として注目を集め、僅か5分以内にそのままSEM観察が出来るレベルの断面を出すことや、FIB等の加工時間を大幅に短縮する前処理ツールとしても使用されております。スクライブは行いませんので、ターゲット箇所を損失することもございません。

これまでの簡易的な劈開装置とは全くことなります。 LatticeGear社のマニュアル劈開装置を使用することにより、 断面解析のプロセスが大きく変わることになります。
ph3-1 ph3-2 ph3-3
TSVの断面(劈開のみ) バンプの断面(FIBと併用) フォトレジストの断面
(劈開のみ、加工時間2分以内)
ph4-1s ph4-2s ph4-3s
個片化

※詳しくはページ下部をご参照ください。

これまでの断面観察前処理方法との比較

前処理方法 時間 ターゲット迄の距離(精度) 使い勝手 コスト 最終工程に掛かる時間※FIB等と併用する場合
LatticeAx™ 5分 ±10μm以内 容易、高い再現性 低価格 30分から1時間
マニュアルスクライブ、劈開 5分 50-100μm 経験と専門知識が要求される 低価格 数時間
マニュアル研磨 1時間以上(精度による) <100μm 経験と専門知識が要求される 消耗品が高額 数時間
自動劈開 20-50分(準備含む) 1um 容易ではあるが、サイズや厚み、ターゲットの場所等、制約事項が多い 装置、サービス、消耗品が高額 30分から1時間

【一般的なマニュアルスクライブ、劈開のデメリット】

  • 精度が悪い(実際には100um程度)
  • 再現性や精度が作業者に依存する
  • FIBなど、次の処理に時間が掛かる

【研磨のデメリット】

  • サンプルを樹脂埋めする必要があり、研磨前の処理にも時間が掛かる
  • オーバーポリッシュ、研磨による汚れやサンプルへの負荷など様々なリスクがある
  • 研磨液、研磨バフ等、消耗品のコストが高額
  • 研磨の負荷によって観察箇所の状態が変化することがある

【自動劈開のデメリット】

  • プロセスが長期に亘り、自動劈開に20~50分掛かる
  • サンプルの制約が多い(サンプルサイズや種類、厚み、エッジの状態)
  • 高額な装置価格に加え、オペレーション、サービスに掛かるコストが高い

装置概要

ph-LatticeAx300

LatticeAx420

Ax420

Ax420

 

【モデル】

■LatticeAx420※精度10um
■LatticeAx簡易モデル(デジタル顕微鏡の代わりに実体顕微鏡を搭載したモデル)
※詳しくはお問合せください。

マニュアルスクライバー、マイクロインデンター(特殊ダイヤモンド圧子)

マイクロインデンターを使って、浅い切り込み(長さ0.5mm、深さ数um、幅10um程度の切り込み)を入れます。

スクライブは行いませんので、ターゲット箇所を損失することはございません。

ph8 ph8-2
手で持って
操作が出来るタイプ
>250um先端サイズ
LatticeAX 10um
マイクロインデンターの先端
ターゲット上のLattceAx インデンター先端

装置特長

  • 早い(5分以内)
  • 高精度(±10um以内)
  • 作業者に左右されない高い再現性
  • 低価格
  • 最大サンプルサイズ:8インチウエハーまたは1/2-300mmウエハー
  • 最小サンプルサイズ:9mm  ※これ以下のサイズは、専用アクセサリーキットを使用
  • TSVやバンプの断面解析に最適
  • 鏡面仕上げ

図版LatticeAx300

TSVの劈開

5分以内に劈開から直接SEM観察

短時間で綺麗に鏡面仕上げの劈開が出来、SEM観察迄に掛かる時間は僅か5分です。 ロングラインの劈開は、多数のTSV検査を可能にします。

劈開劈開

ph5-1 ph5-2
5 x 50um エッチング後のTSV
ph5-3 ph5-4
2 x 40um エッチング後のTSV

ph6

LatticeAX420 + Plasma FIB – SEM

ph9-1 ph9-2 ph9-3
LatticeAX420を使ってTSVの劈開 FIB加工 劈開面から20umの場所に位置する2列目のTSVを15分で露出

フォトレジストの劈開

ph10-1 ph10-2 ph10-3 ph10-4

バンプの劈開

ph7-1 ph7-2 ph7-3 ph7-4

図版・バンプの劈開

動画


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