概要

• チャンバー内が多段式構造となっており、1つのチャンバーで薬液処理・洗浄プロセスが完結
• 薬液を温度調節しながら循環することで薬液の再利用が可能
  使用する薬液量の削減・環境負荷の観点からの利点
• アルカリと酸を用いた異なる薬液処理を同一のチャンバー内での処理可能
• カスタム対応となるので、量産向けの自動搬送付きのカセットにも対応、
  研究開発用向けセミオートにも対応
• エッチングからマスクレジスト除去まで一気通貫での処理可能
• 薄い基板・脆弱な基板にも対応・実績
• バッチ式とは異なり、チャンバーが多段式構造の枚葉式となり、
  スペースを幅広く占有せず、処理が可能

主仕様

※ご要望に応じて、その都度仕様は変更となります。

ご要望に合ったノズルを選定することで、最適なプロセス処理の実現につながります。

スピンスクラブ洗浄装置

主仕様

使用用途	スクラブ洗浄
装置寸法	W1400×D1400×H1000 mm
対象ウエハサイズ	8・12インチ、ダイシングリング付きウエハ
電源	200V、3層、50/60Hz
処理液	洗剤、純水
洗剤供給	キャニスター缶
レシピ数	20
ステップ数	20

※ご要望に応じて、装置サイズ・仕様は異なります。

お問い合わせ

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

• 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
• 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
• 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
• 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。