概要

• ワンチャンバーでプロセスが完結
• 薬液の温調循環再生利用が可能で省エネルギー
• アルカリと酸の基板処理を同一チャンバー内で処理可能
• シールド板が付属し、プロセス中の薬液の飛散を抑えることが可能
• エッチングと有機剥離も同一装置内で処理可能
• エッチングからマスクレジスト除去まで一気通貫処理可能
• 自動化により作業者の負荷軽減、人的ミスのリスク低減
• 極薄・脆弱な基板でも安心して処理ができ、製品品質の向上

主仕様

使用用途	有機洗浄/リフトオフ/レジスト剥離/洗浄
装置寸法	W2000×D1850×H1960 mm
対象ウエハサイズ	4インチ、６インチ、8インチ
電源	200V、3層、50/60Hz
処理液	有機系剥離液、純水
薬液供給	薬液循環回収
レシピ数	40
ステップ数	50

※ご要望に応じて、その都度仕様は変更となります。

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