真空ガス置換加熱オーブン
450PB

450 Sys_lowRes

真空環境、不活性ガス雰囲気下(N2, Ar etc)での加熱処理に対応した、卓上型のバッチ式オーブンです。
装置前面のタッチパネルディスプレイで容易に温度制御レシピを設定できます。
チャンバー内の高い温度分布均一性を保ちながら、クラス1のクリーンな環境下での加熱処理を実現しました。
1×10-5 Torrの高真空に対応したモデルもラインナップしております。 (450PB-HV)

アプリケーション

  • ポリイミド、 BCB(350度以上耐熱の感光性樹脂) 、Low-k材料(層間絶縁膜材料)硬化
  • WLP(ウェハレベルパッケージング)、RDL(再配線層形成)工程におけるポリイミド膜(絶縁膜)の硬化
  • Cu, Al アニール
  • Cu酸化膜除去 etc…

装置特長

  • Class 1のクリーンな環境で加熱処理
  • 最大450℃加熱、高い温度均一性
  • チャンバー内酸素を確実に除去 (酸素濃度 10ppm以下、酸素濃度モニタ オプション有り)
  • 特許技術のラミナーフロー(層流)方式により加熱処理後のワーク及びチャンバー内をクリーンに保ちます
  • 独立型の空冷キャビネット方式により、加熱中のワークに影響を与えることなくチャンバーを冷却
  • フロントタッチパネルディスプレイで容易にレシピ作成。レシピメモリー数は8種類
  • チャンバー内を低圧環境にして加熱処理することにより、ガス使用量を削減

チャンバーデザイン

特許技術のラミナーフロー方式 (図1)
YES PBシリーズのチャンバーは、上部にガス発生プレナム、下部の吸引プレナムがついており、
加熱されたガス(通常N2)はウエハに対して平行に流れます。
平行層流は、加熱プロセスによりワーク表面に発生したパーティクルを除去するのに効果的です。

チャンバー内にパーティクル除去フィルタを搭載 (図2)
加熱されたプロセスガスは100um径の穴が開いたフィルタを通ってワークに到達し、
ワークを通過した後に再びフィルタを通過し、チャンバー外部へ排出されます。
これによりプロセスガス中のパーティクル量は非常に少なく、クリーンなガスでワークを加熱することができ、
またパーティクルによるチャンバー内の真空吸引、ガス注入機構への影響を排除します。

対流冷却機構 (図3)
450PBのチャンバーは、冷却エアインレットと排気ダクトを装備した独立キャビネットに囲まれています。
冷却は全てプロセスチャンバーの外部から行われ、内部で処理されるワークが冷却エアに晒されることはありません。
また、チャンバーを冷却した後のエアは排気前に温度が下げられ、安全な状態で排気されます。

層流
図1 ラミナーフローイメージ
チャンバー内ガスflowイメージ
図2 チャンバー構造イメージ
chamber air flow
図3 対流冷却イメージ

高い温度安定性

ランプ温度安定性(8inch)
図4 加熱プロセス中のワーク表面温度測定

図4は加熱プロセス中のワーク表面温度を測定したプロット表です。
ワーク面内の手前(青線)、中心(赤線)、奥(黄線)各箇所の表面温度測定値を示しており、プロセス中はいずれの箇所においてもほぼ同一の温度で推移し、高い温度安定性の結果を示していることがわかります。

仕様

製品名 450PB6-2P-CP 450PB8-2P-CP 450PB12-2P-CP 450PB8-2P-HV 450PB8-2P-HV
適合クリーンルーム Class 10
チャンバー内
クリーン度
Class 1
動作温度 室温 – 450℃ (オプション550℃)
キャパシティ
(25枚/カセット)
6″ ウェハ
2カセット
8″ ウェハ
2カセット
12″ ウェハ
2カセット
8″ ウェハ
2カセット
12″ ウェハ
2カセット
N2流量 (消費量) 1 SCFM (15-25 liters/min)
チャンバー内部寸法(約)
ID x D
27×56cm 37×66.5cm 53×104cm 36.5×66.5cm 53×77cm
プロセスエリア寸法(約)
W×D×H
16×35.5×18.5cm 24×46×25cm 38×74×36cm 24×46×25cm 38×57×36cm
外形寸法(約)
W×D×H
60×114×69cm 69×146×78cm 89.5×174.5×139cm 69×155×163.5cm 86×203×95cm
制御ユニット寸法(約)
W×D×H
59×96×24 cm 51×96×24 cm
チャンバー材質 SUS 316L
プロセスガス入力 標準 1系統 (オプション3系統)
マスフローコントローラ オプション(最大3種のガスに対応)
レシピ数 8
ステップ数 16
設定時間 0 – 99時間
時間設定分解能 1分
温度均一性
(25枚/カセット)
±5℃ ±5℃ ±7℃ ±5℃ ±7℃
平均加熱レート
(150-450℃)
10℃/分 7.5℃/分 6.5℃/分 6℃/分 6.5℃/分
平均冷却レート
(450-150℃)
7℃/分 4.5℃/分 3.5℃/分 6℃/分 3.5℃/分
酸素濃度 10 ppm以下
電源電圧 三相 208V 40A 50/60Hz 三相 208V 60A 50/60Hz
重量(約) 207 kg 261 kg 406 kg 420 kg 450 kg

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