プラズマ洗浄～ワーク脱水(デハイドレーション)～シランCVD～ガス排出まで
チャンバー内で自動一括処理できる、R&D向けの卓上型シランCVD装置です。
無機物と有機物の接着に有効なSAM膜(自己組織化単分子膜)を基板上に形成します。

ワークの温度、蒸気温度、蒸気圧及びCVD処理時間な、どプロセス中の全てのパラメータを
コントロールすることができ、様々なアプリケーションに対して最適な表面処理の結果が得られます。
卓上小型で設置場所を問わずR&D、少量生産用途に最適なシステムです。

アプリケーション

• SAM膜(自己組織化単分子膜)の形成
• シランカップリング処理(有機物と無機物の化学的結合に有効)
• 表面改質処理(親水性・疎水性コントロール)
• スライドガラスへのシランコート
• ウェハのフォトレジスト接着性向上(HMDS処理)
• マイクロアレイ シランと基板の接着
• 摩擦ダメージ(スティクション)防止の為のMEMSコーティング
• バイオMEMSやバイオセンサのドリフト防止コーティング
• 金属材料の防食(さび止め)コーティング
• 生体適合性の向上　 　　etc….

装置特長

• アミノシラン、エポキシシラン、メルカプトシラン、APTES, FDTS etc…
  ご用途に応じた多様なシランカップリング剤を使用できます
• ワークの温度、蒸気温度、蒸気圧及びCVD処理時間など
  全てのパラメータをコントロールし、最適な表面処理結果が得られます
• 高い温度安定性でムラの無い膜を形成
• チャンバー内で全行程自動一括処理される為、安全性が非常に高い
• ベーパープライム方式は、スピンコート方式と比較して薬液使用量を約99%削減、
  MEMSなどの立体構造物も問題なく処理可能
• 205℃以下の低温プロセス蒸着による、高い汎用性

CVDプロセス前のプラズマ洗浄

EcoCoatでは、CVDプロセス前にプラズマ洗浄を行うことができます。
YES社のプラズマ洗浄プロセスは以下の特長があり、あらゆるワークに対応可能な装置となっています。

①40kHzの低周波数プラズマ
13.56MHzの高周波プラズマと比較して、熱損失が少なく効率の良いプラズマ処理。
(少ない電力消費で高い処理結果を実現)

②平行平板式のチャンバーデザイン
ワークの大きさ(高さ)に応じてトレイをレイアウト可能
電極の役割を果たすトレイ間で面内全体にプラズマが発生する為、
温度安定性が高く、再現性の高い処理結果を実現

Eco Coatのプロセスチャート(参考)

 

仕様

製品名	EcoCoat
適合クリーンルーム	Class 10
チャンバーサイズ (約) W × D × H	41 × 46 × 41 cm
本体サイズ (約) W × D × H	116 × 98 × 113 cm
キャパシティ (ウェハの場合、25枚/カセット)	4″,6″ ウェハ　8カセット 8″ ウェハ 2カセット 12″ ウェハ　1カセット
キャパシティ (スライドの場合、別途トレイ&シェルフが必要)	約2,000枚
スループット	1バッチ / 時 (設定するレシピにより異なります)
動作温度	常温 – 205℃
温度安定性	± 5℃
薬品数(フラスク数)	2個 (オプション 最大3個)
薬品使用量	0.1 – 3 ml
マスフローコントローラ	オプション　最大3個
レシピ数	CVD : 6 レシピ プラズマ : 4 レシピ
プロセス時間	1 – 999,999 秒
時間設定分解能	1 秒
RFプラズマ周波数	40kHz
RFプラズマパワー	100 -1000 W
プラズマガス入力ポート	3個
プロセスガス入力ポート	1個
電源	単相 208V, 30A, 60Hz

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