卓上型精密研磨装置
PM6/LP50

研磨業界において50年以上の歴史を持つ、ロジテック社(英国)が提供する、最高レベルの研磨装置と技術力が、今まで不可能であったプロセスを確立します。

PM6-LP50

PM6/LP50は、ラッピング(粗研磨)とポリッシングを1台で行うことが出来る精密研磨装置です。

耐薬品モデルを使用することにより、CMP(ケミカルメカニカルポリッシング) も可能ですので、例えばGaAsやInPといった化合物半導体の精密研磨にも最適です。

高精度な研磨を実現する超精密研磨治具

熟練した技術者が手加工で製造した特殊構造の治具は、独自スプリング機構により、サンプル全面に荷重が均等に掛かります。

例えば、ピストンからオスとメスに切り離した治具を、他の治具に取り付けようとしても、治具は技術者によって「対」で精密加工されておりますので、同じモデルであっても取り付けることが出来ません。

それ程までに精密加工された治具が、高精度な研磨を実現します。

【その他、特長】
/荷重可変:200gから6.7kg(冶具の種類により異なる)
/角度調整:±3°(Dスタイル)、±1.5°(GTスタイル)
/研磨量のデジタル表示(1umオーダー)

自動装置停止機能付き精密研磨治具PSM

装置と通信し、設定された研磨量に達すると装置を自動停止することが出来ますので、無人研磨が可能になります。また、突然の装置停止の際にも、研磨のデータは保存されます。

自動装置停止機能付き精密研磨治具PSM
自動装置停止機能付き精密研磨治具PSM

ラッピング⇔ポリッシング 簡単セットアップ

PM6/LP50両モデルとも、ラッピング⇔ポリッシングの切り替えを容易に行うことが可能です。
研磨プレートとトレーを取り外し、丸洗いが出来ます。

ジョイスティックで容易にコントロール

研磨プレートの回転数、研磨時間、治具アームのスイープ(スイープ幅、速度)、スラリーのON/OFF、ラッピングプレートのターゲット平坦度(オプション)をジョイスティックを使い、装置に内蔵されたコントロールパネル上で設定することが出来ます。

スラリー容器は回転しますので、スラリーが沈殿することはございません。

オプションの赤外線ドリップディテクターは、スラリー容器が空になったり、バルブが閉じている場合に研磨プレートの回転を自動停止します。

PM6はタッチパネル操作となり、レシピのプログラムや研磨レートのチャート化、研磨液の切り替えなど、
ユーザーが簡単に設定することが出来ます。また、ウォーターガンが付いており、装置内でサンプルを洗浄することが出来ます。

重要なラッピングプレートの平坦度

精密研磨を行う場合、研磨を行う側であるラッピングプレートの平坦度が悪くては意味がありません。
ロジテック社の研磨装置では、研磨を行う前に必ずラッピングプレートの平坦度を測定し、ノウハウを活かした独自技術で平坦度出しを行います。研磨の目的によっては、意図的に形状を変化させることもございます。

ラッピングプレートの平坦度をリアルタイムモニター&形状自動補正

オプションの自動モニター(Auto-Lap)により、リアルタイムでプレートの形状をモニターし、設定したターゲットの形状になるように、自動でプレート自体を研磨し、形状を補正することが出来ます。
例えば、コントロールパネルでTarget Flatness(ターゲット平坦度)を1umに設定すると、プレートの平坦度が1umになるまで、自動的にプレートを研磨し補正することが出来ます。
これにより、プレートの平坦度出しに掛かる時間を大幅に短縮することが可能になりました。

研磨事例

ロジテック社の装置は、どのような材料に対しても高精度に研磨を行うことが可能です。 主な研磨対象物は下記の通りです。

・半導体
(Si, GaAs, InP, SiC, GaN, サファイア, etc…)
・セラミックス
・IR材料
・光学部品
・ファイバーオプト
・地質/岩石
※その他、様々な材料に対応しております。


SiC:ポリッシング後の表面状態(LP50を使用)

※SiCチップを300nm以下まで薄化することも可能です。材料分析の前処理に最適です。


サファイア:ポリッシング後の表面状態(LP50を使用)


GaN:ポリッシング


多層配線のディレイヤリング(PM5を使用)


InPの薄化(耐薬品モデルのPM5を使用)

・4インチのInPウエハーを10um厚まで薄化に成功

PM5動画

仕様

装置モデル PM6 LP50
電源 110V, 50/60Hz 110V, 50/60Hz
冶具タイプ PP5(x1), PP6(x1) PP5(x1~3), PP6(x1~3), PP8(x1)
プレート回転 5 – 100rpm 5 – 70rpm
プレートサイズ 300mm 350mm
高さ 915mm(排気ポート含むと965mm) 568mm(自動フィード含むと635mm)
奥行 720mm 662mm
802mm 616mm
重量 127kg(シリンダー等含む) 80kg
プレート平坦度モニター 0.1um分解能 0.1um分解能
研磨液滴下 ・最大2台(2リットル/台)のシリンダーで滴下
・ペリスタルティックポンプ(1-100ml)
・1台(2リットル/台)のシリンダーで滴下

 

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