卓上型 マニュアル共晶ダイボンダー(6種類コレット型)
モデル7327C

概要

ウエスト・ボンド社製 モデル7327Cは基板又はパッケージに共晶材(AuSn等)を置きその後チップを実装する
卓上型のマニュアル共晶ダイボンダーです。
ボンドヘッド部分にチップ吸着コレットを6本取り付けることができ、新機構X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)を用いて
作業を行いますので操作性、汎用性に優れております。
チップ吸着コレットは仕様併せて設計、作製致しますので多種多様なチップサイズ、パッケージに対応可能です。
スクラブ機能はスクラブの「回数」「幅」「スピード」を設定することができるメカニカルスクラブと
マニュアルスクラブに対応しております。

参考動画

製品紹介


X-Y-Z 3軸マニピュレーター


コレット回転機構


スクラブ機構

特徴

  • 新機構X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)を用いた操作方法
  • 最大6本までコレットを取付けでき、多種多様なチップに対応可能
  • N2機構が付属したワークホルダーで安定した共晶ダイボンディングを実現
  • 3種類のメカニカルスクラブモード及びマニュアルスクラブモードを標準装備
  • ファイヤリングスイッチ機構(接触圧力検知)により、設定荷重を自動認識してチップをピックアップ可能

標準構成

  • 本体部(モデル7327C)
  • 顕微鏡部(実体顕微鏡・アーム・接眼レンズ・照明)
  • ワークホルダー( N2 雰囲気機構付属)
  • バキュームポンプ
  • ピックアップツール(表面吸着コレット、角錐コレット)
  • 温度コントローラー
  • テンションゲージ

標準仕様

ボンディング方式 共晶ボンディング方式(熱+荷重+スクラブ)
操作方法 X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)
コレット回転機構 6本までの吸着コレットを取付け可能手元スイッチで時計回りに60度ステップで回転
荷重 10g~75g
スクラブ機構 自動荷重検知メカニカルスクラブ/マニュアルスクラブ
スクラブ方向 オペレーターに対してY方向
スクラブモード Neg/Pos/Bothから選択可能 Neg :センターから後方へのスクラブ Pos :センターから前方へのスクラブ Both:センターから後方へスクラブしその後前方へスクラブ
ピックアップ方法 バキュームによるピックアップ
ピックアップ検知 手元スイッチ検知/接触圧力検知 選択可能
スクラブサイクル(回数) 0~50サイクル 1サイクル単位で設定可能
スクラブストローク(幅) 0.2~20Mil(約5~50μm) 0.2Mil単位で設定可能
スクラブレート(スピード) 1~20ステップ 1ステップ単位で設定可能
ディレイビフォアスクラブ 0~15000msec 100msec単位で設定可能
ダイパフタイム 0~25ms 1ms単位で設定可能
ステージ(テーブル)寸法 ワークアジャスタブルテーブル標準装備ステージ寸法 X=260mm Y=280mm高さ調整機構付属 Z軸可変18mm(基準から+4.5mm、-13.5mm)
エアーホース径 1/4インチ 又は 6x4mm(内径4mm)チューブ接続
ユーティリティー 電源・電圧:100VAC・3A(付属品含め10A以内)3Pコンセント接続、周波数:50/60Hz、エアー:0.4MPa以上、窒素:0.2MPa以上
マシン寸法 520Wx650Dx450Hmm
重量 約35kg

(※)記載の内容は予告なく変更することがございます。予めご了承ください。

オプション

  • コンプレッサー(本体駆動用エアー源)
  • 各種プリフォーム材
  • 各種ピックアップツール
  • 各種ワークホルダー

デモ機のご案内

弊社(東京 御徒町)に各種デモ機をご用意致しております。装置ご検討に際し、実際のマシンを操作しながらのお打合せが可能です。ご希望の際にはお気軽にお申し付け下さい。

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