概要

ウエスト・ボンド社製　モデル7327Cは基板又はパッケージに共晶材（AuSn等）を置きその後チップを実装する
卓上型のマニュアル共晶ダイボンダーです。
ボンドヘッド部分にチップ吸着コレットを6本取り付けることができ、新機構X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）を用いて
作業を行いますので操作性、汎用性に優れております。
チップ吸着コレットは仕様併せて設計、作製致しますので多種多様なチップサイズ、パッケージに対応可能です。
スクラブ機能はスクラブの「回数」「幅」「スピード」を設定することができるメカニカルスクラブと
マニュアルスクラブに対応しております。

参考動画

製品紹介

X-Y-Z　3軸マニピュレーター

コレット回転機構

スクラブ機構

特徴

• 新機構X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）を用いた操作方法
• 最大6本までコレットを取付けでき、多種多様なチップに対応可能
• N2機構が付属したワークホルダーで安定した共晶ダイボンディングを実現
• 3種類のメカニカルスクラブモード及びマニュアルスクラブモードを標準装備
• ファイヤリングスイッチ機構（接触圧力検知）により、設定荷重を自動認識してチップをピックアップ可能

標準構成

• 本体部（モデル7327C）
• 顕微鏡部（実体顕微鏡・アーム・接眼レンズ・照明）
• ワークホルダー（ N2　雰囲気機構付属）
• バキュームポンプ
• ピックアップツール（表面吸着コレット、角錐コレット）
• 温度コントローラー
• テンションゲージ

標準仕様

ボンディング方式	共晶ボンディング方式（熱＋荷重＋スクラブ）
操作方法	X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）
コレット回転機構	6本までの吸着コレットを取付け可能手元スイッチで時計回りに60度ステップで回転
荷重	10g～75g
スクラブ機構	自動荷重検知メカニカルスクラブ/マニュアルスクラブ
スクラブ方向	オペレーターに対してＹ方向
スクラブモード	Neg/Pos/Bothから選択可能 Neg　：センターから後方へのスクラブ Pos　：センターから前方へのスクラブ Both：センターから後方へスクラブしその後前方へスクラブ
ピックアップ方法	バキュームによるピックアップ
ピックアップ検知	手元スイッチ検知/接触圧力検知　選択可能
スクラブサイクル（回数）	0～50サイクル　1サイクル単位で設定可能
スクラブストローク（幅）	0.2～20Mil（約5～50μm）　0.2Mil単位で設定可能
スクラブレート（スピード）	1~20ステップ　1ステップ単位で設定可能
ディレイビフォアスクラブ	0~15000msec　100msec単位で設定可能
ダイパフタイム	0～25ms　1ms単位で設定可能
ステージ（テーブル）寸法	ワークアジャスタブルテーブル標準装備ステージ寸法　X=260mm　Y=280mm高さ調整機構付属　Z軸可変18mm（基準から+4.5mm、-13.5mm）
エアーホース径	1/4インチ　又は　6x4mm（内径4ｍｍ）チューブ接続
ユーティリティー	電源･電圧：100VAC･3A（付属品含め10A以内）3Pコンセント接続、周波数：50/60Ｈｚ、エアー：0.4MPa以上、窒素：0.2MPa以上
マシン寸法	520Wx650Dx450Hmm
重量	約35kg

（※）記載の内容は予告なく変更することがございます。予めご了承ください。

オプション

• コンプレッサー（本体駆動用エアー源）
• 各種プリフォーム材
• 各種ピックアップツール
• 各種ワークホルダー

デモ機のご案内

弊社（東京　御徒町）に各種デモ機をご用意致しております。装置ご検討に際し、実際のマシンを操作しながらのお打合せが可能です。ご希望の際にはお気軽にお申し付け下さい。

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