その他

卓上型真空ガス置換電気炉
VF-3000

レーザー微細加工装置

窒素ガス＆ドライエアー発生装置

超精密スピンコーター
ACE-200 / TOP-8

計測器・測定システム

エリプソメーター

ウェハ表面検査装置

Sentris ロックイン赤外線発熱解析装置