DL1　自動ラッピング装置 – ハイソル株式会社

DL1自動ラッピング装置は200mm/8″φまでのサンプルを高い形状精度で加工することができ、また、ドライブヘッドの研磨機能により、サンプルを高速で処理できます。

しかも、バック切削やデレイヤリング寸法がオリジナルの仕様通りになることが分かっているので安全です。

フレキシブルな性能及び能力

DL1は200mm/8φまでのサンプルをラッピング及びポリッシングの両方ができる多機種なマシンで、そのラッピング機能は、材料を迅速且つ効率的に切削すると同時に高レベルの寸法コントロールができるLogitech社の精密ラッピング及びポリッシング冶具に基づいています。

ラッピングキャリアはモーター駆動式で、処理中に一貫したサンプル回転を保証します。

これにより、プレート及び研磨スラリーが材料に均等に行き渡るので、高いサンプル品質が得られます。

材料が所要の仕様に切削されると、システムはポリッシング工程に切り換わり、8kgまでサンプルに荷重をかけて最終的厚みに処理します。

1つのマシンでラッピングとポリシングステージの両方の能力をもつことにより、貴重なフロアスペースを最大限に活用し、設備投資を抑制できます。

DL1は標準的に完全なマシンフード及び排気ポート備えています。

これによりガリウム砒素（GaAs）やリン化インジウム（InP）等の危険な材料の処理に適合しています。

追加の安全機能としてはデッキ及び下部のキャビネットエリアに対する業界標準のドアインターロックがあり、可動部品や電気部品からオペレータを保護し、不慮の妨害から作業エリアを保護します。

国際的に認められたCANBUSプロトコルを使用してメーンドライブとの交信ができ、マシンのモニタリング及び診断に役立つパラメータを決められます。

また、業界で採用しているシグナルタワーはオペレータにマシンステータスをライト及びブザーで警告します。

ラッピング及びポリッシング冶具に採用されているDL1の新しい、読み易いデジタルダイアルゲージが1um以下の材料切削精度を保証しています。

材料が切削されると、その量がリアルタイムでディスプレーに表示されます。

これにより、オペレータは容易にサンプルが過剰に切削されていないことを確認できます。

ダイアルゲージのその他の特長：ゴミや液体が測定器内に侵入しないように改良された回転シャフト上のラバーシール；テスト中に品質と精度を保証するためのMETAS（スイスの度量衡及び認定機関）による確認追跡可能なマスターに関連したキャリブレーション証明。

DL1の進んだユーザーインタフェースは業界標準のNI Labviewソフトウェアを実行する10.4 LCDタッチスクリーン上に表示され、可能な限りの柔軟性をもっています。

プロセス中に表示される重要なパラメータのグラフィック表示はモニタリング及びリアルタイム分析を向上しています。

その他のコントロール機能として、システムはマニュアル及び自動モードをサポートしています。

マニュアルモードでは個々のプロセス変数にアクセスして、プロセスパラメータ上で極度に精密なコントロールを行うことができます。

一方、自動モードでは複雑な連鎖レシピを作成して、メモリーにストアできます。

これにより、レシピライブラリを構築して、ラッピング又はポリッシングプロセスを自動化でき、サンプルが所要の仕様に研磨されることが分かっているので、安心して他の作業に時間を空けることができます。