200mm スタンダード マニュアル・プローバーHMP-800 (8 inch)

200mm(8インチ)マニュアル・プローバーのスタンダードモデル

HMP-800 マニュアル・プローバーは最大8インチ(200mm)ウェハの測定に対応するスタンダードタイプのマニュアルプローブシステムです。
剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
自由度の高い柔軟な設計コンセプトおよび、多彩なオプションを取り揃えており、微小信号I-V・C-V測定、インピーダンス特性評価、ハイパワーデバイス測定、sub THz帯域のRF測定、オプトエレクトロニクス測定 等の幅広いアプリケーションに対応可能な拡張性に優れたシステムです。

温度制御範囲 +15℃~+300℃ (特殊オプション+400℃) の高温チャックを搭載することが可能です。

アプリケーション

  • +15℃/+25℃~+200℃/+300℃ の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)、インピーダンス特性評価
  • RF測定(~67GHz)※オプション:sub THz帯域 RF測定
  • 超高速I-V測定
  • ハイパワーデバイス測定(200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial)
  • プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)

拡張アプリケーション

  • 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
  • レーザーカッターの搭載(ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
  • オプトエレクトロニクス(LED, LD, VCSEL, PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
  • sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
  • フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
  • ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど)

システム例


HMP-800EA
PADプロービング対応 実体顕微鏡モデル

HMP-800HS
サブミクロンプロービング 金属顕微鏡モデル

HMP-800EA 実体顕微鏡モデル
架台付きシールド遮光ボックス対応

HMP-800HS 金属顕微鏡モデル
除振システム付きシールド遮光ボックス対応

高精度ポジショナ 最大8台搭載可能
(小型ポジショナは最大10台搭載可能)

室温~+200℃/+300℃ 高温チャック、または
+15℃~+120℃ 加吸熱チャック搭載可能

仕様

項目 仕様
ステージXY移動範囲(粗動) X:210mm,Y300mm,エアフロートフリーアクセス
ステージXY移動範囲(微動) XY 各6.5mm,マイクロメータヘッド
ステージθ移動範囲 粗動 ±30°, 微動 ±2.5°
プラテンZ軸アクション 0 – 10mm, レバー操作フリー固定
ステージZ軸調整範囲 0 ~ 25mm
外形寸法・重量(HMP-800EA)※ W660×D600×H550mm・約90kg
外形寸法・重量(HMP-800HS)※ W760×D700×H650mm・約130kg

※突起物を除く。システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有 計測器メーカー様

(順不同、敬称略)

  • キーサイト・テクノロジー(株)
  • テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
  • (株)エヌエフ回路設計ブロック
  • ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
  • 日置電機(株)
  • 岩崎通信機(株)
  • (株)エーディーシー
  • (株)テクシオ・テクノロジー
    他 多数

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様(順不同、敬称略)

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株) 他 多数

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