高低温対応小型マニュアル・プローバー

-60℃～+200℃の高低温温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

HMP-410SC/610SC 高低温対応小型マニュアル・プローバーはシールドチャンバータイプのコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。
剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
容積の小さい超低ノイズシールドチャンバー構造を採用しており低露点ドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら各種電気的測定に対応できます。
また、チャンバー開放を行わない状態で、顕微鏡操作、ポジショナ操作、チャックステージの移動操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。

温度制御範囲 -60℃ ～ +200℃（特殊オプション+300℃）の高低温チャックを組み込むことができ、高低温特性試験に対応できます。

・ HMP-410SC：4インチ (φ100mm) 対応
・ HMP-610SC：6インチ (φ150mm) 対応

アプリケーション

-60℃/-40℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
微小信号I-V測定（fAレベル）
各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV）、インピーダンス特性評価
RF測定（～67GHz）
超高速I-V測定
N2、Ar 等不活性ガス環境下でのテスト（露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下）
プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）

システム概要

DC・RF・マルチコンタクトに対応可能な
プローブヘッド構造（最大6台搭載可能）

チャックプルアウト機構による
安全なウェハ交換（チャック全面が露出）

チャンバーの開放無しでポジショナ、チャック移動ステージ、顕微鏡、
コンタクト・セパレーション操作が可能

シールディング性能・プローブ交換の作業性に
配慮したプローブアームインサート構造

オプションのプローブカードアダプタ
（標準：4.5インチ幅角型プローブカード）

パージガス流量調節用ニードルバルブ付き
流量計を標準装備

オプションでチャンバー内雰囲気監視用の
露点センサや酸素濃度計を組み込み可能

システム例

HMP-410SC 高低温システム
空気ばね式除振台付属、露点計付

マルチサイトプローブカード搭載仕様
ウェハレベル信頼性試験（カスタム対応）

代表仕様

項目	HMP-410SC	HMP-610SC
ステージXY移動範囲（粗微動）	X : 110mm, Y : 110mm	X : 160mm, Y : 160mm
ステージXY移動分解能	粗動 25.4mm/回転，微動 3.3mm/回転（調整感度 5um以下）
ステージθ移動範囲	±5°
プラテンZ軸アクション	0 – 0.3mm コンタクト－セパレーションレバー操作
ステージZ軸調整範囲	0 ～ 25mm
システム寸法（W×D×H）※	530 × 710 × 670 mm	590 × 800 × 670 mm
システム重量 ※	約90kg	約110kg