米国Nisene社は、世界で初めて酸液を使用したパッケージ自動開封装置を開発した業界のパイオニアであり、世界トップシェアのメーカーです。小型なボディーでありながら、競合を圧倒する程の性能、安全性を備えております。また、Cuワイヤー向けに独自技術を開発したCu Protectは、酸液によるCuワイヤーの腐食問題も解決し、綺麗にCuワイヤーを露出することができます。
特徴
独自開発のバイアス印加機能で「銅」を保護
- 特許ポンプと連動したバイアス印加により、「銅」に被膜を形成し、開封中保護します。
- 銅ボンディングワイヤー、銅リードフレームにダメージを与えずパッケージ開封することが出来ます。
- 使用する酸液は従来と同じ発煙硝酸と濃硫酸のみになり、特別な前処理や薬品は一切不要です。
低温開封機能搭載
- 新製品であるTotalPROTECTは、バイアス印加機能に加え、「低温開封機能」を搭載しました。
- 内蔵チラーにより、10℃迄酸液の温度を下げることが出来ます。
世界トップシェアのNiseneは安全性も業界トップ
- 独自の廃液排出システムで、ユーザーが酸液に触れことなく作業が出来ます。
- 自動エッチングカバーにより、危険な高温の酸液に触れる心配がありません。
エッチング処理の高速化（パルスエッチング)
- 内径の太い配管を使用し、酸液の流量が増えることにより高速エッチングが可能です。
- 新設計の特許取得ポンプにより、流量の設定範囲が広がりました。
特殊エッチングヘッド
- Nisene社独自のカーボランダム製エッチングヘッドアセンブリーにより、エッチングの高速化、耐酸性の向上、保守頻度の低減を実現しました。
長寿命のポンプ
- 特許を取得したマイクロメーターポンプは、5年間の保証が付いております。
効率的なソフトウエア
- JetEtch Proは、100個までのエッチングプログラムを保存することが出来ます。
- 13種類までの酸液混合比で、ユーザーが酸液に触れること無く、装置内で混合出来ます。
精密な温度制御
64リードTQFPサンプル:アルミニウム2次ボンドの拡大図
アルミステッチボンドで2次ボンドが完全に露出した64リードTQFPサンプル
エッチング温度が僅かに違っただけで、結果が大きく変わる可能性があります。
JetEtch Proは、パッケージの寸法や酸液量に関係なく、セット温度の±1℃以内に温度を保ちます。更に、システムが正しい温度に達するまでユーザーがエッチングサイクルを開始できないようにします。この安全機構は、業界内でNisene社だけです。
硫酸
同じBGAサンプルのボード上のバッド拡大図
高温の硫酸で開封された大型BGAパッケージ
JetEtchには濃硫酸、または発煙硫酸のどちらでも使用することができます。発煙硫酸は、濃硫酸にSO3(発煙硫酸)を通常20%、または30%溶解したものです。
150℃を超える温度で溶液から発煙硫酸の蒸気が発生すると、金属の腐食を最小限に抑えながらプラスチックのカプセル材が速やかに除去されます。
硝酸
硝酸のみでエッチングしたチップススケールのパッケージ
硝酸のみでエッチングしたチップスケールのパッケージ
発煙硝酸は、多くの反応性イオンと反応性化合物（一般には三酸化二窒素（N2O3）および三酸化窒素（NO3）陰イオン）を含む複合溶液です。近年のパッケージの多くは、90℃までの温度の硝酸でエッチングできます。
混酸
Nisene社のJetEtch Proは、硫酸：硝酸及び硝酸：硫酸を、13通りの混合比で、広範囲なエッチングパラメーターをプログラムすることが出来ます。
混酸エッチング液は、100℃を超えないように温度調整を行い、硝酸が蒸発したり沸騰したりしないようにします。
ユーザーは必要とする混合比を入力するだけで、正しい分量の各酸液がリアルタイムで混合され、熱交換器を通してエッチングヘッドに自動的に送られます。
優れた構造と処理時間
エッチングヘッドアッセンブリー
JetEtch Proのエッチングヘッドアセンブリーは、標準の固定エッチングヘッド、またはオプションの着脱可能なエッチングヘッドインサートがございます。着脱出来るエッチングヘッドインサートによって、大型のQFPや、TSSOPデバイスなどにも対応します。
標準スロット設計、ロングスロット設計及びマルチポート設計の3種類の基本的な着脱可能なエッチングヘッドインサートが用意されています。お客様固有の開封ニーズに対応することも可能です。
標準固定エッチングヘッドアセンブリー
オプションの着脱可能エッチングヘッドアセンブリー。
カーボランダム製エッチングインサートアダプターと着脱可能エッチングヘッドインサートを示します。
廃液排出装置
JetEtchの廃液排出装置は、酸液の漏れを最小化してシステム内部部品の寿命を延ばします。
JetEtch Proの廃液排出装置はテフロン100%のバルブです。その為、酸液の漏れが大幅に減少し、システム内部で酸煙が発生する可能性が低下し、システムの内部部品の寿命が延びます。
Cuワイヤー用のCuProtectタイプ
JetEtch CuProtectは、プロセスチャンバー内にバイアスを独自の方法で特殊印加し、マイナス電気を帯びた硫酸イオンが引き付けられます。この一時的な特殊膜により、エッチングプロセスの間、銅線は腐食から保護されます。
多ピンのCuワイヤーパッケージであっても綺麗に開封が出来、レーザー開封装置も不要です。また、使用する酸液は従来と同じ発煙硝酸と濃硫酸のみになり、特別な前処理や薬品は一切不要です。
モデルTotalPROTECTは、上記バイアス印加機能に加え、酸液の温度を内蔵チラーで10℃迄下げることが出来る、「低温開封」にも対応しております。
便利な付属キット
付属キットの例
標準的なパッケージ用に、開封用の標準キットを提供しております。
標準キットは、ガスケットとアライメントプレートで構成されております。
デフィニションおよびロケーションガスケットは、フッ素エラストマーを独自に配合し、レーザー加工で製造されます。これらのガスケットは、熱交換器や部品と同様にフッ素化ポリマーを使用して作成されるため、最高の酸耐性と高温耐性を有しております。
Nisene社のカスタムモノリシックガスケットの一例
ディフィニション/ロケーションガスケットのスタック
モノリシックガスケットのスタック
JetEtch Pro 仕様
| 寸法(mm） | エッチングユニット：290Hx290Wx419D |
|---|---|
| ボトルコンテナー、各ユニット：230Hx110Wx110D | |
| 重量 | 17kg(ボトルコンテナーと付属品を除く) |
| 電源 | 350W＠95～130VAC、または350W＠210～250VAC |
| 使用可能なエッチング液 | 発煙硝酸 |
| 発煙硫酸 | |
| 硫酸(濃硫酸、試薬グレード) | |
| 温度範囲 | 硝酸(℃) 20～90 |
| 硫酸(℃) 20～250 | |
| 混酸(℃) 20～100 |
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