マニュアル エポキシ共晶ダイボンダー モデル7372E

概要

マニュアルエポキシダイボンダー_7372E

モデル7372Eは共晶材(AuSn等)を用いてチップ実装する共晶ダイボンダーと
接着材(エポキシ材、銀ペースト等)を用いてチップ実装するエポキシダイボンダーの
2つの機能を装備した卓上型のマルチダイボンダーです。

垂直駆動の新機構X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)を用いて作業を行いますので操作性にも優れており
機種変更も容易に行うことが出来ますので、研究開発から少量多品種の現場まで幅広くご使用頂けます。

装置構成上、奥行き方向に制限がありませんので大型基板(250mm角以上)にも対応しております。
スクラブ機能はスクラブの「回数」「幅」「スピード」を設定することができるメカニカルスクラブと
マニュアルスクラブに対応しております。

特長

    
  • 垂直駆動 新機構X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)を用いた操作方法
  • エポキシダイボンダー、共晶ダイボンダー兼用マシン、機種変更も容易に行う事が可能
  • ツール加熱機構を標準装備、より安定した共晶ダイボンディングを実現
  • 接着材のディスペンス、スタンピングに対応
  • チップローテーション機構付属(吸着したチップを360度自由に回転可能)

標準構成

  • 本体部(モデル7372E)
  • 電源部
  • 顕微鏡部(実体顕微鏡・アーム・接眼レンズ・照明)
  • ワークホルダー(常温型ワークホルダー、 N2雰囲気機構付属ワークホルダー)
  • バキュームポンプ
  • 接着材ディスペンス/スタンピングユニット
  • 各種ピックアップツール(表面吸着コレット、角錐コレット)
  • 温度コントローラー
  • テンションゲージ

標準仕様

ボンディング方式 7316Eモード 共晶ボンディング方式(熱+荷重+スクラブ)
7200Eモード 荷重圧着方式
操作方法 垂直駆動 X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)
荷重 10g~175g
ピックアップツール長 0.625インチ(約16mm)
ピックアップツール径 1/16インチ(約1.58mm)
チップローテーション コントロールノブで360度回転可能
スクラブ機構(7316E) 自動荷重検知メカニカルスクラブ/マニュアルスクラブ
スクラブ方向(7316E) オペレーターに対してX方向
スクラブモード(7316E) Neg/Pos/Bothから選択可能
Neg :センターから後方へのスクラブ
Pos :センターから前方へのスクラブ
Both:センターから後方へスクラブしその後前方へスクラブ
ピックアップ方法 バキュームによるピックアップ
ピックアップ検知 手元スイッチ検知/接触圧力検知 選択可能
スクラブサイクル(回数)(7316E) 0~100サイクル 1サイクル単位で設定可能
スクラブストローク(幅)(7316E) 2~16Mil(約50~405μm) 1Mil単位で設定可能
スクラブレート(スピード)(7316E) Fast/Medium/Slowから選択可能
ディレイビフォアスクラブ(7316E) 0~50000ms 100ms単位で設定可能
ダイパフタイム 0~25ms 1ms単位で設定可能
プリフォームパフタイム(7316E) 0~25ms 1ms単位で設定可能
エポキシフロータイム(7200E) 0~999ms 1ms単位で設定可能
ラジアントヒーター機構 ツール加熱機構(ヒーター設定温度は常温~200℃ 巻き量による)
ステージ寸法 ワークアジャスタブルテーブル(標準装備ステージ寸法)
X=260mm Y=280mm 高さ調整機構付属
Z軸可変18mm(基準から+4.5mm、-13.5mm)
エアーホース径 1/4インチ 又は 6x4mm(内径4mm)チューブ接続
ユーティリティー 電源・電圧:100VAC・3A(付属品含め10A以内)3Pコンセント接続、周波数:50/60Hz
エアー:0.4MPa以上、窒素:0.2MPa以上
マシン寸法

本体部 610Wx540Dx450Hmm
電源部 225Wx205Dx76Hmm

重量 約45kg

(※)記載の内容は予告なく変更することがございます。予めご了承ください。

オプション

  • コンプレッサー(本体駆動用エアー源)
  • 各種プリフォーム材
  • 各種ピックアップツール
  • 各種ワークホルダー

        

デモ機のご案内

弊社(東京 御徒町)に各種デモ機をご用意致しております。
装置ご検討に際し、実際のマシンを操作しながらのお打合せが可能です。
ご希望の際にはお気軽にお申し付け下さい。

その他

ボンダー総合カタログをご用意致しております。
装置に関するお問い合わせは以下フォームまたはお電話下さい
電話番号: 03-3836-2800

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