WSB2 ウエハーボンダー

研磨業界において50年以上の歴史を持つ、ロジテック社(英国)が提供するウエハーボンダーが研磨の問題を解決します。
研磨の前に行う、サンプルと支持基板をワックスで貼り合わせる作業の時にワックスの厚みがバラついてしまうと、研磨の精度に影響を及ぼします。ロジテック社のウエハーボンダーは真空チャンバー内で加熱し、ダイアフラムで荷重を掛けます。
サンプルに対して均一に荷重が掛かり、ボイドも無くなりますので、高精度な研磨を行うことができるようになります。


1ヘッドタイプ

3ヘッドタイプ

装置外観

ウエハーボンダー WSBシリーズ 装置外観

特徴

柔らかいダイアフラムで荷重を掛けることにより、対象物がウエハーであっても面内均一に荷重を掛けることが出来ます。一定の圧力を保持した状態でワックスを硬化することにより、ワックスの厚みのバラつきを無くし、高精度な研磨を可能にします。

真空チャンバー内で加熱することで、ワックスの中にあるボイドを抜き、ワックスの厚みを均一にすることが出来ます。また、冷却水を循環することで硬化に掛かる時間を短縮します。

加圧時間等、パラメータの設定をタッチパネル上で行うことが出来ます。加熱、加圧、アウトガス、硬化、冷却といったプロセスの時間などの条件を設定し、レシピを保存することも可能です。

製品仕様

WSBシリーズ仕様

モデル名 1WBS2(4インチタイプ) 1WBS7(6インチタイプ)
電源 110V 50/60Hz 110V 50/60Hz
ユーティリティ 冷却水、圧縮空気
加圧 最大2bar
本体サイズ 520(W)x360(H)x600mm(D)
本体重量 約27kg 約31kg
真空度 0.2mbar
基板サイズ 最大108mmΦ 最大160mmΦ
加熱温度 最大240℃
オプション ・コンプレッサー
・アライメント用治具

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  • 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。

DP1 自動ポリッシング装置

DP1 高精度ポリッシング装置

LOGITECH

自動ポリッシング装置は主としてサファイヤ、炭化シリコン及び窒化ガリウム(12″/300mmΦまで)等の硬い材料をエピタキシャル品質の表面に
加工するための高速研磨システムです。
ドライブヘッド技術を使って、キャリアヘッドに200kgまで荷重をかけることができ、プロセス時間を大幅に短縮できます。

プロセス時間の短縮

サファイヤ、炭化シリコン(SiC)及び窒化ガリウム(GaN)等の材料は硬く、
不活性な特性により研磨が難しいとされています。
この問題を解決するのがDP1です。
DP1は200kgまでのバックサイド圧をかけることができ、
プロセス時間を従来方法の70-400%までも大幅に短縮します。

下方圧に加えて、キャリアヘッドも回転方向に駆動するので、一貫性のある均一な研磨が行われます。
下方及び回転方向の圧の組み合わせが最終的に材料を短時間でエピタキシャル品質まで研磨する結果をもたらします。

技術仕様

LOGITECH
電源 240V, 13A 単相
ヒューズ定格 10A
プレート速度 160rpm
プレート径 560mm(22″)
プレート回転 時計周り及び反時計回りのセッティング
キャリア速度 10-125rpm
キャリアロード キャリアによる
高さ 2020mm
奥行 1050mm*
725mm*
梱包付き重量 550kg
マシン重量 420kg
研磨プレート重量 32kg
最大スラリー流速 500ml/分**
最小スラリー流速 20ml/分**

* コントロールパネルの位置による最小寸法
** 蠕動ポンプ使用

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DL1 自動ラッピング装置

DL1 自動ラッピング装置

LOGITECH

DL1自動ラッピング装置は200mm/8″φまでのサンプルを高い形状精度で
加工することができます。
またドライブヘッドの研磨機能により、サンプルを高速で処理できます。

精度の向上

ラッピング及びポリッシング冶具に採用されているDL1の新しい、読み易いデジタルダイアルゲージが1um以下の材料切削精度をアシストしています。
材料が切削されると、その量がリアルタイムでディスプレーに表示されます。
これにより、オペレータは容易にサンプルが過剰に切削されていないことを確認できます。

技術仕様

LOGITECH
電源 240V, 13A 単相
ヒューズ定格 10A
プレート速度 160rpm
プレート径 560mm(22″)
プレート回転 時計周り及び反時計回りのセッティング
キャリア速度 10-125rpm
キャリアロード キャリアによる
高さ 2200mm
奥行 1010mm*
725mm*
梱包付き重量 550kg
マシン重量 420kg
研磨プレート重量 32kg
最大スラリー流速 500ml/分**
最小スラリー流速 20ml/分**

* コントロールパネルの位置による最小寸法

** 蠕動ポンプ使用

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自動CMP装置 Tribo/Orbis


研磨業界において50年以上の歴史を持つロジテック社(英国)が提供する、最高レベルの研磨装置と技術力が、今まで不可能であったプロセスを確立します。

Tribo

最大サンプル径: 4インチ x2枚

Orbis

最大サンプル径: 8インチ x2枚

特徴

  • COF(摩擦係数)やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターしており、これらのパラメーターで上限値を設定出来、例えばパッドの温度やCOFが上昇したときに研磨を停止させることができます。
  • 2種類の圧力(荷重)が働き、「ダウンロード」はダイヤフラムの力でサンプルに対してヘッドを押し付けることが出来、「バックプレッシャー」はキャリアヘッド内部の溝にエアーが流れ込み、表面(アルミ)自体が逃げ場を失ったエアーによって持ち上げられて変形し、サンプルに対して圧を掛けることが出来ます
    (ヘッドの表面自体が変形して圧を掛けます)。25psiの時にヘッド表面はフラットになり、26psi以上になると膨れ、24psi以下になると凹みます。サンプルの反りを確認してから、この圧を設定することが出来ますので、反ったウエハーでも均一に研磨が可能です。
  • 複数のスラリーポンプを搭載し、プロセスに応じて自動でスラリーを切り替えることができます。

プロセスコントロール

  • タッチパネルで全てのパラメーターを設定できます。スラリーの切り替えも自動です。
  • 研磨中に複数のプロセスパラメータをモニターすることが出来、
    分析用にデータを保存、出力できます。モニター、保存ができるパラメーターは下記の通りです。

/摩擦係数
/パッドの温度
/スラリーの温度(供給側と廃液側両方) ※スラリーは酸性も使用可
/周囲温度

ウエハーキャリアーヘッド

  • 軽量設計、簡単に取外しできる特殊機構
  • すべてのウエハーサイズに対応したテンプレート(チップも可)
  • Orbis用のキャリアーヘッドは3種類(4、6、8インチ)

形状コントロール(バックプレッシャー)

  • 凹凸形状をコントロールする為のバックプレッシャー(0 – 50 psi)
  • バックプレッシャーによって反ったウエハーも均一にポリッシング
  • ロジテック社の干渉計(GI20)を使用することで、より精密に
    ウエハーの形状を調整することが可能

動作ムービー

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被覆線・TAB・ビームリードボンダー

ウエスト・ボンド社

ウエスト・ボンド社はワイヤーボンダーのパイオニアとして40年以上の歴史を持ち、国内外を問わず多くのお客様にご愛顧頂いております。

そして弊社はウエスト・ボンド社の日本総代理店として40年以上の歴史を持ち、輸入・販売・サポートを行っております。

被覆線・TAB・ビームリードボンダーは新機構X-Y-Z 3軸マニピュレーターを使用して作業を行う操作性、汎用性に優れたマニュアルボンダーとなっております。

尚、対応可能な荷重範囲は25~250gとなっております。

特徴

  • 新機構X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)
  • 被覆線・TAB・ビームリードへの超音波ボンディングに対応
  • モデル7440Eの場合、150mm以上の大型基板に対応可能
  • ワイヤーボンディング面の高さ調整不要
  • 安定したボンディング性を実現
  • ボンドカウンター付属

標準構成

  • 本体部(モデル7440D/7440E)
  • 顕微鏡部(実体顕微鏡・アーム・接眼レンズ・照明)
  • ワークホルダー
  • ボンディングツール
  • テンションゲージ

標準仕様

ボンディング方式 超音波と荷重による圧着方式
操作方法 X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)
荷重 25g~300g(スプリングによる調整可能)
ボンディングツール長 0.437”(約11.1mm)
ボンディングツール径 1/16”Φ(約1.58mmΦ)
対応ワイヤー 18μmΦ~50μmΦまでの被覆線又はTAB/ビームリード
周波数 63KHz
超音波出力 最大5W 0~999目盛 1目盛単位で設定可能
超音波印加時間 0~999ms 1ms単位で設定可能
ステージ(テーブル)寸法 X=260 Y=200mm 高さ調整なし
ユーティリティー 電源・電圧:100VAC・3A(付属品含め10A以内)・3Pコンセント接続
周波数:50/60Hz
エアー圧力:4kg/cm²
マシン寸法 モデル7440D 460Dx480Wx305Hmm(顕微鏡は除く)
モデル7440E 本体部 371Dx567Wx168Hmm(顕微鏡は除く)
電源ユニット 205Dx225Wx76Hmm
重量 モデル7440D 27kg(顕微鏡は除く)
モデル7440E 30Kg(顕微鏡は除く)
Model 7440E

オプション

  • コンプレッサー
  • ワークアジャスタブルテーブル
  • 各種テンションゲージ
  • 各種ワークホルダー

ボンダー総合カタログをご用意致しております。

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ワイヤープルテスター

モデル70PTE ワイヤープルテスター

ウエスト・ボンド社

ウエスト・ボンド社はワイヤーボンダーのパイオニアとして40年以上の歴史を持ち、国内外を問わず多くのお客様にご愛顧頂いております。

そして弊社はウエスト・ボンド社の日本総代理店として40年以上の歴史を持ち、輸入・販売・サポートを行っております。

モデル70PTEは垂直駆動のX-Y-Z 3軸マニピュレーターが本体に組み込まれており、150mm以上の基板へのワイヤープルテストも可能となります。

また、プルテスト時にはマニピュレーターにエアーブレーキが掛かりますのでJフックがぶれる事も無くより安定したプルテストを実現しました。

特徴

モデル70PTE ワイヤープルテスター
  • 垂直駆動 X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)
  • 150mm以上の基板へプルテスト可能
  • Jフック回転機構付属
  • 測定範囲 最大100gまで対応可能
  • 最小値、最大値、平均値、標準偏差をプリントアウト可能

標準構成

  • 本体部(モデル70PTE)
  • 顕微鏡部(実体顕微鏡・アーム・接眼レンズ・照明)
  • ワークホルダー
  • Jフック
  • キャリブレーション分銅

標準仕様

プルテスト方式 ワークテーブル(ステージ)下降方式
操作方法 X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)
測定精度 0.1g(±0.2g)
測定範囲 最大100gまで
プル方向 Z方向
データ出力 付属プリンターからの出力
データ入力 スイッチによる入力
Jフック回転 360度 10Keyパッド操作
プルストローク(測定範囲) 20Mil(508μm)~115Mil(2921μm)
5Mil(127μm)ステップで調整可能
プルレート(スピード) 1~10の設定値により可変
インターフェース RS-232(DSub 25PIN)
ステージ(テーブル)寸法 X=260 Y=200mm
エアーホース径 1/4インチ 又は 6x4mm(内径4mm)チューブ接続
ユーティリティー 電源・電圧:100VAC・3A(付属品含め10A以内)・3Pコンセント接続
周波数:50/60Hz
エアー圧力:4kg/cm²
マシン寸法 本体部 540Dx610Wx295Hmm(顕微鏡は除く)
電源ユニット 205Dx225Wx76Hmm
重量 32Kg(顕微鏡は除く)
モデル70PTE ワイヤープルテスターモデル70PTE ワイヤープルテスターモデル70PTE ワイヤープルテスター

オプション

  • コンプレッサー
  • 各種ワークホルダー

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各種プリフォーム材(共晶材)

プリフォーム材

特長

Ametek-LogoA Coining社

Coining社は融点が90℃~1100℃までの鉛フリー合金を100種類以上取り揃えており、お客様のニーズに合った形状で作製可能です。

プリフォーム材

形状 作製可能範囲 指定箇所
正方形・長方形(角型) W=100μm-, T=15μm- 縦・横・厚さ・材質
ディスク型(円形) W=100μm-, T=15μm- 直径・厚さ・材質
ワッシャー型 W=100μm-, T=15μm- 内寸・外寸・厚さ・材質
フレーム型 W=100μm-, T=15μm- 内寸・外寸・厚さ・材質
球体 50μmφ- 直径・材質

価格、納期に関しましては別途、お問い合わせ下さい。

作製可能な材質

材質 solidus ℃ Eutectic ℃ Liquidus ℃
Bi49In21Pb18Sn12 58
In51Bi32.5Sn16.5 60
In66.3Bi33.7 73
In66Bi34 73 75
Bi57In26Sn17 79
In44Sn42Cd14 93
Bi52Pb30Sn18 96
Bi46Sn32Pb20 100
Bi55Pb44Sn1 117 120
In50.9Sn49.1 120
In52Sn48 120 122
In50Sn50 120 123
Bi55.5Pb44.5 124
In74.7Cd25.3 127
Sn37.5Pb37.5In25 134 181
Sn54Pb26In20 136 152
Bi57Sn42Ag1 138 140
Bi57Sn43 139
Bi58Sn42 139 141
In97Ag3 144
Sn43Pb43Bi14 144 163
Sn50Pb32Cd18 145
In80Pb15Ag5 149 150
Sn53Pb37Bi10 150 168
Sn70Pb18In12 153 163
In100 156
In70Pb30 160 174
Pb62Sn25Bi10Ag3 160 224
In60Pb40 174 185
Sn77.2In20Ag2.8 175 187
Sn65Pb30Ag5 175 248
Sn67.75Cd32.25 176
Sn60Pb38Ag2 176 189
Sn62.2Pb36.4Ag1.4 177 188
Sn62.5Pb36Ag1.5 177 189
Sn62Pb36Ag2 179
Sn62.5Pb36.1Ag1.4 179
Pb60Sn37Ag3 179 232
Sn60Pb37Ag3 179 232
Sn60Pb36Ag4 179 242
Pb70Sn27Ag3 179 312
In50Pb50 180 209
Sn62Pb38 183
Sn63Pb37 183 185
Sn62.5Pb37.5 183 186
Sn60Pb40 183 188
Sn70Pb30 183 192
Sn55Pb45 183 200
Sn80Pb20 183 205
Sn50Pb50 183 212
Sn85Pb15 183 212
Sn90Pb10 183 218
Sn93Pb7 183 220
Sn95Pb5 183 222
Pb55Sn45 183 227
Sn96Pb4 183 228
Sn89Pb7Ag4 183 232
Pb60Sn40 183 238
Pb62Sn38 183 241
Pb70Sn30 183 257
Sn60Pb38.5Cu1.5 183 260
Pb75Sn25 183 271
Pb80Sn20 183 282
Sn85.2In8Ag4.1Bi2.2Cu0.5 193 199
Pb60In40 195 225
Sn91.2Zn8.8 199
Sn93.5Bi5Ag1.5 200 225
Sn91.5In4Ag3.5Bi1 208 213
Sn93.3Ag3.1Bi3.1Cu0.5 209 212
Sn92Bi4.7Ag3.3 210 215
Sn95.5Ag3.3Zn1 215 221
Sn95In5 215 222
Sn95.4Ag3.1Cu1.5 216 217
Sn90Au10 217
Sn96.5Ag3Cu0.5 217 218
Sn95.5Ag3.9Cu0.6 217 218
Sn96Ag3.5Cu0.5 217 218
Sn98Sb1Au1 217 230
Sn96.5Ag3.5 221
Sn96Ag4 221 226
Sn97Ag3 221 226
Sn96.5Ag2.5Cu1 221 227
Sn97.5Ag2.5 221 227
Sn95Ag5 221 240
Sn93Ag7 221 270
Sn92Ag8 221 275
Sn90Ag10 221 295
Sn99.3Cu0.7 227
Sn97Cu3 227 300
Pb85Sn15 230 294
Sn100 232
Sn97.5Sb2.5 232 237
Sn97Sb3 232 240
Sn65Ag25Sb10 233
Sn99.5Sb0.5 233 235
Sn99Sb1 234 236
Sn95Sb5 235 240
Pb70In30 238 253
Pb92Sn5Sb3 239 285
Sn90Sb10 240 250
Pb85Sb10Sn5 245 255
Pb82.5Cd17.5 248
Pb75In25 250 264
Pb75Sb15Sn10 250 272
Pb92.5Sn4Ag3.5 251 295
Pb89Sb11 252
Pb90Sb10 252 260
Pb91Sb9 252 265
Pb94Sb6 252 286
Pb88Sn10Ag2 268 290
Pb81In19 270 280
Pb89.5Sn10.5 271 300
Pb90Sn10 275 302
Au80Sn20 278
Pb93Sn5Ag2 278 280
Au79Sn21 278 290
Pb91.8Sn5Ag3Ni0.2 280 290
Au78Sn22 280 303
Au60Ag20Sn20 280 475
Pb93Sn7 285 310
Pb92.5Sn5Ag2.5 287 296
Pb90In5Ag5 290 310
Pb90Sn5Ag5 292
Pb95In5 292 314
Pb93.5Sn5Ag1.5 296 301
Pb94.5Sn4.5Ag1 298 305
Pb95Ag2.5Sn2.5 299 303
Pb95.5Ag3Sn1.5 299 303
Pb95.5Ag2.5Sn2 299 304
Pb95Sn3.5Ag1.5 300 304
Pb97.5Ag2.5 304
Pb96Ag4 304 327
Ag97Pb3 304 950
Pb95Sn5 305 314
Pb95Ag5 305 364
Pb92.5In5Ag2.5 307
Pb97.2Ag1.75Sn1.05 309
Pb97.5Ag1.5Sn1 309
Pb97.5Sn1.5Ag1 309 310
Pb97Sn3 310 320
Pb98Sn2 317 322
Pb99Sn1 321 325
Pb99Sb1 322 325
Pb100 327
Au88Ge12 356
Au96.85Si3.15 363
Au98Si2 363 800
Au99Si1 363 920
Au80In20 475 487
Au82In18 488 530
Ag45Au38Ge17 525
Al88Si12 577
Ag44Cu27Cd15Zn13P1 593 660
Ag40Zn21Cd20Cu19 595 630
Ag60Cu30Sn10 600 720
Ag45Au38Ge17 607 618
Ag56Cu22Zn17Sn5 620 650
Ag50Cd18Zn16.5Cu15.5 625 635
Ag61Cu24In15 630 705
Ag61.5Cu24In14.5 630 705
Cu80Ag15P5 643 802
Ag45Cu27Zn25Sn3 646 677
Ag50Zn28Cu20Ni2 660 750
Ag60Cu25Zn15 665 682
Cu85Sn8Ag7 665 985
Ag65Cu20Zn15 671 718
Ag49Cu16Zn23Mn7.5Ni4.5 680 699
Ag50Cu34Zn16 688 774
Ag63Cu28.5Sn6Ni2.5 691 800
Cu38Zn33Ag25Mn2Ni2 705 800
Cu95P5 714 905
Ag54Cu40Zn5Ni1 718 857
Ag65Cu28Mn5Ni2 750 850
Ag71.7Cu28Li0.3 766
Cu50Zn33Ag17 770 830
Ag56Cu42Ni2 770 895
Ag71.5Cu28Ni0.5 775 785
Ag72Cu28 779
Ag80Cu20 779 815
Ag85Cu15 779 840
Ag50Cu50 779 870
Ag90Cu10 779 873
Cu70Ag30 779 945
Ag71.15Cu28.1Ni0.75 780 795
Ag68.5Cu26.8Pd4.7 780 824
Ag68Cu27Pd5 794 815
Ag92Cu8 795 888
Ag58.5Cu31.5Pd10 800 858
Ag92.8Cu7.2 812 893
Ag58Cu32Pd10 824 852
Au60Ag20Cu20 835 845
Ag97Si3 835 850
Ag65Cu20Pd15 850 900
Ag95Cu5 862 910
Au75Cu20Ag5 885 895
Ag96Cu4 885 920
Ag54Pd24Cu22 900 950
Au65Cu35 905 920
Au80Cu20 910
Au81.5Cu16.5Ni2 910 925
Au62.5Cu37.5 910 930
Au87.5Cu12.5 912 930
Au82Ni18 955
Au50Cu50 955 970
Ag99.5Mg0.25Ni0.25 960 961
Ag100 961
Ag54Pd25Cu21 962 983
Au95Cu5 975 1005
Cu65Au35 980 1010
Ag50Au50 1000 1020
Cu62Au35Ni3 1000 1030
Au99Sn1 1000 1045
Au70Ni22Pd8 1004 1038
Cu73Au27 1025 1050
Cu75Au25 1030 1050
Au69Ag25Pt6 1040 1115
Au99.94P0.06 1063
Au99.98P0.02 1063
Au100 1063
Cu90Au10 1063 1078
Cu100 1083

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アルミ線(細線、太線、リボン線)

アルミ線

Ametek-LogoA Coining社

AMETEK/COINING社は“ISO 9001:2015”を取得し、
高品質な製品を低価格、短納期でご提供しております。

アルミ細線

材質:1%SiAl

線径 伸び率(%) 破断荷重(g) スプール 巻き量
18μm 0.5-2 7 11AL/12AL 100m
20μm 1-5 8-10 11AL/12AL 100m
25μm 1-3 16-18 11AL/12AL 100m
30μm 1-3 21-23 11AL/12AL 100m
50μm 1-7 40-55 11AL/12AL 100m

※上記以外の線径、伸び率、破断荷重も製作可能です。
※スプール、巻き量に関しましては別途ご相談下さい。

キャプチャ2

アルミリボン

材質:1%SiAl、99.99%Al

厚み スプール 巻き量
100μm 20μm- 12AL 15m
200μm 25μm- 12AL 15m
250μm 25μm- 12AL 15m
300μm 30μm- 12AL 15m
500μm 50μm- 41B 60m
750μm 100μm- 12AL 15m
2000μm 200μm- 41R 55m

※上記以外の幅、厚みも製作可能です。
※スプール、巻き量に関しましては別途ご相談下さい。

パワーデバイス用アルミ太線

材質:99.99%Al、99.999%Al

線径 伸び率(%) 破断荷重(g) スプール 巻き量
100μm 5-10 100-120 #88 700m
125μm 2-6 60gMin 41B 150m
200um 9-25 140-200 #88 500m
250μm 10-30 210-300 #88 500m
300μm 5-12 200gMin 41B 200m
500μm 10-30 1300gMin #88 200m

スプール形状

Spool Specifications(単位 mm)
スプールNo. 材質 A B C D E F
11AL(1/2″スプール) Aluminium 17.3 12.7 13.34 0.318 18.29 18.92
12AL(2″スプール) Aluminium 56.9 49.02 50.29 0.64 25.4 28.63
13AL Aluminium 56.9 49.02 50.29 0.64 26.29 27.94
14AL Aluminium 56.8 49.02 50.29 0.64 44.7 47.63
41B Glass Filled ABS 103.0-103.3 21.80-22.10 10.97-11.22 16.80-17.10
88(Yellow) Poly-Carbonate 50.0-50.5 24.95-25.05 10.00-10.30
88L(Orange) Poly-Carbonate 50.0-50.5 24.95-25.05 10.97-11.22

ご発注にあたりまして

ご発注の際は以下の条件をご指定頂けますようお願い致します。

アルミ線

1.線径
2.機械的特性(破断荷重や伸び率にご希望がある場合、ご指定下さい)
3.ご希望の数量
4.スプールサイズ(上部図をご参照下さい)

アルミリボン線

1.リボン幅、厚み
2.ご希望の数量

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