プラズマクリーナー・シラン成膜装置・真空オーブン
プラズマクリーナー G1000
卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 310TA / 58TA
プラズマストリッパー・デスカム装置 CV200RFS
卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat(エココート)
真空ガス置換ポリイミドキュアオーブン 450PB
プラズマクリーナー G1000
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