シールドボックス付 マニュアル・プローバーHMP-410IS(4 inch)

小径ウェハの温度特性試験、ガスパージによる低酸素濃度環境テスト

シールド遮光ボックス組み込み型のコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。
容積が⼩さくエアタイトな、シールド遮光ボックス構造でドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながらの微⼩信号測定に対応できます。
また、-40℃ 〜+200℃の範囲の⾼低温チャックを搭載することができます。

ボックスの開放を⾏わずに、顕微鏡操作やチャックステージの操作、コンタクト・セパレーション操作が可能な構造になっています。

アプリケーション

  • 室温~+200℃ または -40℃~+125℃範囲の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
  • N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト(露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下)
  • プローブカード対応

システム概要


ポジショナ(マニピュレータ)操作用
エアカーテン対応オペレートドア(右・左)

ボックスの開放なしで操作可能な
チャックステージ(XY粗微動)

ボックスの開放なしで操作可能な
コンタクト・セパレーション操作レバー

スライド式遮光カバー付き
ガラスビューポート

代表仕様

項目 HMP-410IS
ステージXY移動範囲(粗動) X:110mm,Y:130mm
ステージXY移動範囲(微動) 同上
ステージθ移動範囲 粗動 ±15°,微動 ±2.5°
ステージZ軸アクション 0 – 10mmフリー
プラテンZ軸調整範囲 0 ~ 15mm
システム寸法(W×D×H)※ 590 ×620 ×550 mm
システム重量※ 約 45 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有 計測器メーカー様

(順不同、敬称略)

  • キーサイト・テクノロジー(株)
  • テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
  • (株)エヌエフ回路設計ブロック
  • ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
  • 日置電機(株)
  • 岩崎通信機(株)
  • (株)エーディーシー
  • (株)テクシオ・テクノロジー
    他 多数

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様(順不同、敬称略)

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株) 他 多数

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