小径ウェハの温度特性試験、ガスパージによる低酸素濃度環境テスト
シールド遮光ボックス組み込み型のコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。
容積が⼩さくエアタイトな、シールド遮光ボックス構造でドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながらの微⼩信号測定に対応できます。
また、-40℃ 〜+200℃の範囲の⾼低温チャックを搭載することができます。
ボックスの開放を⾏わずに、顕微鏡操作やチャックステージの操作、コンタクト・セパレーション操作が可能な構造になっています。
アプリケーション
- 室温～+200℃ または -40℃～+125℃範囲の温度特性試験
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
- N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト（露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下）
- プローブカード対応
システム概要
ポジショナ（マニピュレータ）操作用
エアカーテン対応オペレートドア（右・左）
ボックスの開放なしで操作可能な
チャックステージ（XY粗微動)
ボックスの開放なしで操作可能な
コンタクト・セパレーション操作レバー
スライド式遮光カバー付き
ガラスビューポート
代表仕様
| 項目 | HMP-410IS |
|---|---|
| ステージXY移動範囲（粗動） | X：110mm，Y：130mm |
| ステージXY移動範囲（微動） | 同上 |
| ステージθ移動範囲 | 粗動 ±15°，微動 ±2.5° |
| ステージZ軸アクション | 0 – 10mmフリー |
| プラテンZ軸調整範囲 | 0 ～ 15mm |
| システム寸法（W×D×H）※ | 590 ×620 ×550 mm |
| システム重量※ | 約 45 kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション
ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。
各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。
ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズプレシジョン・ソース／メジャー・ユニット（SMU）
E4980A
プレシジョンLCRメータ（20Hz～2MHz）
カタログダウンロード（PDF）
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