シールドボックス付 マニュアル・プローバーHMP-410IS(4 inch)

小径ウェハの温度特性試験、ガスパージによる低酸素濃度環境テスト

シールド遮光ボックス組み込み型のコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。
容積が⼩さくエアタイトな、シールド遮光ボックス構造でドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながらの微⼩信号測定に対応できます。
また、-40℃ 〜+200℃の範囲の⾼低温チャックを搭載することができます。

ボックスの開放を⾏わずに、顕微鏡操作やチャックステージの操作、コンタクト・セパレーション操作が可能な構造になっています。

アプリケーション

  • 室温~+200℃ または -40℃~+125℃範囲の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
  • N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト(露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下)
  • プローブカード対応

システム概要


ポジショナ(マニピュレータ)操作用
エアカーテン対応オペレートドア(右・左)

ボックスの開放なしで操作可能な
チャックステージ(XY粗微動)

ボックスの開放なしで操作可能な
コンタクト・セパレーション操作レバー

スライド式遮光カバー付き
ガラスビューポート

代表仕様

項目 HMP-410IS
ステージXY移動範囲(粗動) X:110mm,Y:130mm
ステージXY移動範囲(微動) 同上
ステージθ移動範囲 粗動 ±15°,微動 ±2.5°
ステージZ軸アクション 0 – 10mmフリー
プラテンZ軸調整範囲 0 ~ 15mm
システム寸法(W×D×H)※ 590 ×620 ×550 mm
システム重量※ 約 45 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズ
プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)

E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)

カタログダウンロード(PDF)

お問い合わせ

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

  • 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
  • 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
  • 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
  • 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。