低温対応シールドボックス付きマニュアルプローバー
HMP-410IS(4インチ)

HMP-410IS
低温対応シールドボックス付きマニュアルプローバー HMP-410IS

HMP-410IS
シールドボックス内に低露点のドライエアやN2・Ar等の不活性ガスをパージすることで-55℃までの低温環境に対応したサーマルチャック(4インチ)を搭載できます。
遮光・シールド性能に優れており、fAレベル・Sub pF レベルの微小信号I-V・C-V 測定に対応しています。

keysite-logo2ハイソル株式会社はキーサイト・テクノロジー合同会社の認定ソリューションパートナーです。

アプリケーション

  • 微小信号 I-V測定(fA レベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V,HF-CV)
  • 4端子抵抗測定

拡張アプリケーション

  • -55℃ ~ +145℃ 範囲の温度特性試験
  • ドライエアやN2、Ar等のガスパージ
  • RF測定(~40GHz)
  • 超高速 I-V測定

低温での測定に対応したシールドボックス

シールドボックスを閉じたままチャックステージの移動やプローブのコンタクト・セパレーション動作ができます。
そのため、不活性ガスを導入し露点を下げながらでも測定を行うことが可能です。
また、装置上面のガラスビューポートはスライド式の遮光カバーが付いており、コンタクト位置を調整後カバーを閉じることで完全遮光下で微小信号測定を行えます。

図版

図版2
スライド遮光カバー
ビューポートのカバーをスライドさせボックス内を完全遮光できます。

各オペレート用ドア

オペレート用ドア(装置前面)
オペレート用ドア(装置前面)
ウェハチャックをプローブから完全に退避させワークの交換を行うことができます。
オペレート用ドア(装置左側)
オペレート用ドア(装置左側)
装置左側に設置されたポジショナを操作し位置決め調整を行うことができます。
オペレート用ドア(装置右側)
オペレート用ドア(装置前面)
ウェハチャックをプローブから完全に退避させワークの交換を行うことができます。

装置背面

背面

装置仕様

ステージ部
X-Y軸移動量(祖微動) X 120mm,Y 125mm
X-Y軸移動分解能(祖動) XY 各 25.5mm / 回転
X-Y軸移動分解能(微動) XY 各 3.3mm / 回転
θ軸移動範囲 祖動 ±15°,微動 ±2.5
プラテン部
Z軸動作 0 – 10mm 一軸レバー操作,フリー固定
Z軸調整範囲 0(コンタクト点)を±10mm
Z軸調整分解能 <10μm
シールドボックス部
オペレート用ドア 3箇所(装置前面、左右)
ガラスビューポート 装置上面,遮光用スライドユニット付属
真空ポンプ接続ポート 背面に1箇所(φ6mm、ワンタッチ管継手)
パージガス導入ポート 背面に1箇所(φ8mm、ワンタッチ管継手)
パージガス排気ポート 背面に1箇所(φ8mm、ワンタッチ管継手)
拡張ポート 背面に1箇所(NW25、フランジ)
外形寸法 / 重量(顕微鏡除く)
外形寸法 W590 × D560 × H500mm
重量 45Kg

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