小径ウェハの温度特性試験、ガスパージによる低酸素濃度環境テスト

シールド遮光ボックス組み込み型のコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。
容積が⼩さくエアタイトな、シールド遮光ボックス構造でドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながらの微⼩信号測定に対応できます。
また、-40℃ 〜+200℃の範囲の⾼低温チャックを搭載することができます。

ボックスの開放を⾏わずに、顕微鏡操作やチャックステージの操作、コンタクト・セパレーション操作が可能な構造になっています。

アプリケーション

• 室温～+200℃ または -40℃～+125℃範囲の温度特性試験
• 微小信号I-V測定(fAレベル)
• 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
• N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト（露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下）
• プローブカード対応

システム概要

代表仕様

項目	HMP-410IS
ステージXY移動範囲（粗動）	X：110mm，Y：130mm
ステージXY移動範囲（微動）	同上
ステージθ移動範囲	粗動 ±15°，微動 ±2.5°
ステージZ軸アクション	0 – 10mmフリー
プラテンZ軸調整範囲	0 ～ 15mm
システム寸法（W×D×H）※	590 ×620 ×550 mm
システム重量※	約 45 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他 多数

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