主な特長

• 最大6種類のセンサ(ロードセル)を搭載可能な回転式ヘッド
• 業界最高水準の超高精度センサ (測定誤差 ： ±0.075%)。
  センサモジュールには温度センサを搭載し、他社製品では必要なウォームアップ時間(約30分)が不要。
• 広い可動域を持つXYステージ (X方向 370mm × Y方向 168mm)。移動速度は最速50mm/sec。
• 標準搭載のGR&R機能(Gauge Repeatability and Reproducibility ; 反復性&再現性の確認)と
  温度補償・クリープ補正機能により、高精度で再現性の高い測定を実現。
• 座標認識による自動測定レシピ作成機能及び認識用カメラ1台を標準装備。
  プル、シェアなどの異なる種類の測定を組み合わせてレシピを作成することができます。
  また、カメラは測定したワークの静止画・動画を記録することができ、
  パターン自動認識測定機能(オプション)を付加することも出来ます。
• 標準付属の「EZジョイスティック」は人間工学に基づいた設計となっており、
  連続測定中も手を離すことなく、 ストレスフリーで操作が出来ます。

装置概要

ソフトウェア

使い勝手、多様な分析機能、ユーザーの要求に応えるカスタム機能を搭載した独自設計のソフトウェア。
日本語にも対応。

回転式ヘッド

最大6種のセンサ(ロードセル)を搭載可能な回転式ヘッドを採用。最大荷重はシェアテストで200kgf、プルテストで100kgfに対応。
ソフトウェアから任意の測定値を選択するだけで様々な測定を実施することが出来ます。
また標準モデルの場合、360°回転式のシェアセンサを選択可能です。 (100gf/1kgf/10kgfのみ、
プル・プッシュセンサは全て360°回転式)

操作性・メンテナンス

人間工学に基づき設計されたEZジョイスティックにより高い操作性を実現。
測定中もジョイスティックから手を離すことなく作業を行うことが出来ます。
顕微鏡アームは、高さ、角度等を自由に微調整可能。
高さの異なるサンプル／ワークホルダにも容易に対応可能です。
測定時に発生するサンプルのゴミは内蔵されているトレーに回収され、
駆動部分への侵入を防ぎます。

ワークホルダー

各種サンプルに対応可能なワークホルダー、オプションを
取り揃えております。
お客様のサンプル形状に応じてカスタム製作も可能で、
また、他社製のワークホルダを使用可能にする専用アダプタもご用意しております。

ソフトウェア

• 多機能・充実したソフトウェア
  独自に開発されたソフトウェアは日本語を含む多言語に対応しており、測定結果の統計分析機能や
  30種類以上のフォーマットへのデータエクスポート、プリントアウトの機能にも対応しています。
• 自動ワイヤー検出機能
  プルテストの際、狭ピッチのワイヤーを複数本同時にプルしてしまうミスを回避する為、
  自動ワイヤー検出機能が標準装備。
• パターン自動認識
  フルオート測定用途向けに、画像からパターン(基準マーク)を自動で認識するシステムが
  オプションに用意されております。
  この機能により、ツールは測定対象に対して正確に位置することが出来ます。
  フルオート測定モードでは、ソフトウェアは基準マークをスキャンし、XY座標を識別した後、測定を開始します。
  また、CADデータの読み込みにも対応。さらに画像取り込み機能により、測定前・測定後の画像を
  比較レビューすることが出来ます。
• ウェハマップインポート/エクスポート機能
  コンドルシグマのソフトウェアはウェハマップのインポート/エクスポートにも対応しております。
  (KLARF, INFなどのファイルフォーマットに対応)
  測定位置はマップ上に明確に表示され、測定が終わるとマップデータ及びテスト結果は追跡可能な状態で保存され、
  オフラインで確認することが出来ます。

回転式ヘッド、センサモジュール

6種類のセンサを搭載可能な回転式ヘッド	プルセンサモジュール	シェアセンサモジュール

回転式ヘッド(RMU: Revolving Mesurement Unit)は最大6種類のセンサ(ロードセル)を搭載可能。
最大200kgfのシェアテスト、100kgfのプルテストにも対応。お客様の幅広いニーズにこの1台で対応します。
また、6種類のセンサモジュールを1つのヘッドに搭載することができるので、高いコストパフォーマンスを実現。
各種測定の切替に伴うセンサの取り替え作業が不要で、落下による破損のリスクも回避できます。
オペレーターはソフトウェアから任意の測定パラメータを選択するだけで自動でセンサが切り替わり、
様々な種類の測定を実施することが出来ます。

オート測定時には、異なる測定の種類を組み合わせることも可能です。
また、各センサモジュールには温度補償センサが搭載されており、業界最高レベルの測定誤差を実現。
センサモジュールは取り付け及び交換が非常に簡単で、万が一の故障の際にも数分で完了できます。
センサは出荷前に校正済みで交換後すぐに使用可能であり、また、センサ機器に不可欠な校正はキットを使用することでユーザー側で対応可能です。

標準モデルの場合、100gf/1kgf/10kgfシェアセンサは360°回転式が選択可能で、ワークを回転させる必要が無く、
作業効率が格段に向上します。

センサ対応荷重範囲の比較

下記の図は、コンドルシグマと他社製品の対応測定荷重を比較した表です。
プル(ピール)、シェア、プッシュのいずれのセンサにおいてもコンドルシグマの対応荷重が他社製品を上回っています。
バイポーラトランジスタ、パワーMOSFETなどのパワーデバイス分野でのシェア強度テストには、
高荷重(最大500kgf)対応モデル コンドル150-4HF(ページ下部)が最適です。

Condor Sigmaで対応可能な測定　(Youtubeリンク)

廉価版モデル コンドルシグマライトとの比較

コンドルシグマ仕様

センサ(ロードセル)仕様

※ 標準モデルのみ対応可
プル・プッシュセンサは全て360°対応

12インチウェハ対応モデル　コンドルシグマ W12 (バンププル、バンプシェア)

最大300mmのウェハバンプのシェアテスト、ツィーザープルテストに最適なモデル
「コンドルシグマ W12」

• 広範なステージ可動域 (X軸500mm、Y軸370mm)
• ステージ移動速度は最速50mm/secで、最大サイズ300mmウェハ上のバンプを短時間測定。
• 最小測定バンプサイズ ： 20um
• 回転式シェアセンサによりウェハを回転させる必要がありません
• オート測定プログラムに対応しており、測定にかかる人員、コストを省力化
• オプションのブロアー、バキュームクリーナーで測定時に出る残渣を除去

ブロアー、クリーナー(オプション)	300mmサイズウェハチャック

高荷重対応モデル　コンドル 150-4HF (500kgfの高荷重に対応)

最大500kgfの高荷重測定に対応したモデル　「コンドル 150-4HF」

IGBTモジュールに対応した回転式ワークホルダー