小片チップの極低温~超高温での温度特性評価、真空環境、ガス環境での測定に対応した小型真空マニュアルプローバー および -60℃~+300℃ サーマルテストに対応する大口径ウェハ対応真空セミオートプローバーをご提供します。超伝導エレクトロニクス、量子コンピューティング、グラフェン、ナノエレクトロニクス、有機エレクトロニクス、タイミングデバイス等のアプリケーションに対応可能です。