Sentris ロックイン赤外線発熱解析装置 / フォトンエミッション顕微鏡

業界No.1の低価格(当社調べ)と高性能を両立
Optotherm社の故障解析ツールは、高性能でありながら、業界トップクラスの低価格(当社調べ)を実現し、日本国内の多くのお客様にご利用いただいております。

独自開発の赤外線カメラは、スタンダードタイプと高感度・高倍率タイプの2種類をご用意。また、エミッション顕微鏡用の高感度InGaAsカメラも搭載可能なため、1台の装置でロックインサーモグラフィーとエミッションマイクロスコープの兼用が可能です。

製品の特長

業界No.1の価格(競合製品の1/4以下 ※当社調べ)
広い視野、大型サンプルにも最適(広角レンズを使うとA4サイズを一度に測定)
倍率の異なるレンズが複数本付属。オプションレンズもご用意
高感度タイプの赤外線カメラを使用することで1μWの検出も容易
リアルタイムロックインサーモグラフィーの最小分解能2μm
SWIR(InGaAs)カメラを追加することで、エミッション顕微鏡としても使用可
5μm以下の微細な端子にも対応できるプロービングオプション
検出した故障箇所の座標値を測定
高精度ポイントマーキング機能(2025年度中にリリース予定)

選べるカメラ

ロックインサーモグラフィー：
スタンダードタイプ: LWIRカメラ(モデル IS640-17)
高感度・高倍率タイプ: MWIRカメラ(モデル MW640-15)

フォトンエミッション顕微鏡：
SWIR InGaAsカメラ(モデル SW640-5)

フォトンエミッション顕微鏡

フォトンエミッション顕微鏡（PEM）とは
フォトンエミッション顕微鏡（PEM）は、故障箇所から放出される光子を捉えることで、故障解析を行う技術です。PEM画像と可視光画像を重ね合わせることで、故障の位置を正確に特定できます。
フォトンエミッションは、ラッチアップ、リーク電流、接合部の損傷などの解析に活用されます。

Univid SWIR – 高感度なPEM解析を実現
Univid SWIRは、Unividユニバーサルビデオ顕微鏡とSWIR（InGaAs）カメラを組み合わせ、PEMを実施するシステムです。
さらに、可視光カメラや近赤外（NIR）カメラを追加することが可能です。

また、エミッション顕微鏡単体のシステムとしてもご提案可能です。

Univid SWIR
Universal Video SWIR Microscope

ロックイン解析

熱強度像

20μmレンズ使用(スタンダードタイプ)

5μmレンズ使用(スタンダードタイプ

2μmレンズ使用 / 0402部品観察
(高感度・高倍率タイプ)

5μmレンズ使用 / 0402部品観察
(高感度・高倍率タイプ)

位相像(発熱の深さ情報)

フォトンエミッション解析

20倍レンズ使用

2倍レンズ使用

独自の位相送り機能（Single Phaseモード)

特定の時点における熱強度像をコマ送りして表示させることで、発熱の始点や熱の広がり方が分かります。下記の画像では、電圧を印加してから24°(1Hzの場合には0.06秒)で異常発熱を検知し、126°(1Hzの場合には0.34秒後)にはチップ全体に広がっています。位相をコマ送りすることで、発熱の始点を追い込むことができます。Single Phaseモードでは、0°が電圧印加の開始を示し、180°が電圧印加の停止を示す位相(0°~ 360°)によって表示されます。