ウェハ・チャック

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お客様が要求される測定アプリケーションに最適なウェハチャック、サンプルホルダをご提案致します。
記載のチャック以外にも、ガラスサブストレート用角型チャックや、特殊センサー用チャックなど様々なご用途に対応致します。

標準ウェハチャック

室温チャック

各ウェハサイズに対応する室温ウエハチャック。
スタンダードタイプ(Coaxial) HCシリーズおよび、ローノイズ・ローリーク測定に対応するトライアキシャルタイプ HTCシリーズをご用意しております。バックゲート等デバイス裏面へのバイアス印可や、縦型デバイスの測定に対応できます。

スタンダードチャック(Coaxial)
型式 対応ウエハサイズ
HC20 2インチ
HC40 4インチ
HC60 6インチ
HC80 8インチ
HC120 12インチ
トライアキシャルチャック
型式 対応ウエハサイズ
HTC20 2インチ
HTC40 4インチ
HTC60 6インチ
HTC80 8インチ
HTC120 12インチ

汎用高温チャック

各ウェハサイズに対応する高温対応ウエハチャックです。
+200℃仕様のHAシリーズと、+300℃仕様のHA-Hシリーズをご用意しております。
スタンダードタイプ(Coaxial) および、ローノイズ・ローリーク測定に対応するトライアキシャルタイプ を選択して頂けます。いずれもヒーター用の電源はシリーズ式DC電源を採用しており低ノイズです。
バックゲート等デバイス裏面へのバイアス印可や、縦型デバイスの測定に対応できます。

型式 対応ウエハサイズ 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式
HA40 4インチ R.T.~+200℃ ヒーター
(DC制御)
自然冷却
または
圧縮エア供給
HA60 6インチ
HA80 8インチ
HA40H 4インチ R.T.~+300℃
HA60H 6インチ
HA80H 8インチ

加吸熱チャック(強制空冷式)

加熱冷却源としてペルチェ素子を採用した加吸熱チャックです。
ペルチェユニットの冷却に空冷ファンを採用しており、冷却水循環装置が不要です。
昇温、降温の応答性に優れた使い勝手のよい加吸熱チャックです。

型式 対応ウエハサイズ 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式
HPE40+10 4インチ +10℃~+125℃ ペルチェ ペルチェ
(強制空冷)
HPE60+10 6インチ

加吸熱チャック(水冷式)

-40℃~+125℃の広域温度範囲に対応するペルチェ式加吸熱チャックです。
(冷却水循環装置付属)

型式 対応ウエハサイズ 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式
HPE40-40 4インチ -40℃~+125℃ ペルチェ ペルチェ
(水冷)
HPE60-40 6インチ

高性能 高温チャック,高低温チャック

高度な温度制御技術、低ノイズ・低リーク技術を結集した、高性能 高温チャックおよび高低温チャックシステムです。
高速な温度上昇・下降、優れたチャックトップ平面度、温度分布精度などの特長を有しており、高精度温度特性試験やウエハレベル信頼性試験に対応できます。

標準チャックサイズ

  • φ155mm (6インチ)
  • φ205mm (8インチ)
  • φ305mm (12インチ)
型式 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式
-A R.T.~+200℃ ヒーター 圧縮空気
-AC +20℃ ~+200℃ ヒーター 圧縮空気
-AH R.T.~+300℃ ヒーター 圧縮空気
-ACH +20℃ ~+300℃ ヒーター 圧縮空気
-C -40℃ ~+200℃ ヒーター 冷凍機+圧縮空気
-CL -60℃ ~+200℃ ヒーター 冷凍機+圧縮空気
-CH -40℃ ~+300℃ ヒーター 冷凍機+圧縮空気
-CLH -60℃ ~+300℃ ヒーター 冷凍機+圧縮空気
-M -40℃ ~+200℃ ヒーター フッ素系液循環
-ML -65℃ ~+200℃ ヒーター フッ素系液循環
-MH -40℃ ~+300℃ ヒーター フッ素系液循環
-MLH -65℃ ~+300℃ ヒーター フッ素系液循環
-HH +30℃ ~+400℃ ヒーター 圧縮空気

カスタム対応例

お客様が要求される測定アプリケーションに合わせて、カスタママイズ対応いたします。


パワーデバイス対応
高低温チャック(Triax)

パワーデバイス対応
10kV 対応高温チャック

特殊バキュームパターン対応

高周波対応チャック

非磁性高温チャック

プリント基板クランプ治具

●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

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