各種ウェハチャック

豊富なラインナップから、お客様が要求する測定アプリケーションに最適なチャックをご提案致します。記載のチャック以外にも、ガラスサブストレート用角型チャックや、圧力センサー用チャックなど様々な用途に対応致します。

ラインナップ

室温チャック

室温チャック
室温用チャックはスタンダード(Coaxial)タイプのHCシリーズとトライアキシャルタイプのHTCシリーズをご用意しております。

型式 対応サイズ
HC20/HTC20 2インチ
HC40/HTC40 4インチ
HC60/HTC60 6インチ
HC80/HTC80 8インチ
HC120/HTC120 12インチ

※BNCケーブルもしくはTRXケーブルが標準で付属します。

汎用高温チャック

ウェハ用の汎用高温チャックは200℃まで昇温可能なHAシリーズと300℃まで昇温可能なHA-Hシリーズをご用意しております。 いずれのタイプもスタンダード(Coaxial)とトライアキシャルの2通りをお選び頂けます。下記以外の温度範囲でカスタマイズも可能です。ぜひご相談ください

汎用高温チャック

型式 対応サイズ 温度制御範囲 加熱方式 冷却法式
HA40 4インチ RT.~+200℃ ヒーター 自然放熱
または
圧縮エア
HA60 6インチ
HA80 8インチ
HA40H 4インチ RT.~300℃
HA60H 6インチ
HA80H 8インチ

※BNCケーブルもしくはTRXケーブルが標準で付属します。

温度制御性能

項目 HAシリーズ / HA-Hシリーズ 共通
温度安定性 ±0.8℃以下
温度指示精度 ±1.0℃以下
温度指示分解能 0.1℃
温度上昇時間 +25℃ → +200℃ 10分以内
温度下降時間 +200℃ → +40℃
90 分以内 ※室温23℃時
温度分布精度 ±1.5℃または±1.5% SV のいずれか高い方
HA/HA-Hシリーズ専用オプション
スポット冷却ユニット

スポット冷却ユニット
低温のドライエアーをチャック内部に循環させることで温度下降時間が短縮できます。

加吸熱チャック

加吸熱チャックとしてペルチェ素子を用いたHA-PEシリーズをご用意しました。 スタンダード(Coaxial)とトライアキシャルの2通りからお選び頂けます。 下記以外の温度範囲でカスタマイズも可能です。ぜひご相談ください。
加吸熱チャック

型式 対応サイズ 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式
HA40PE 4インチ -55℃ ~ +145℃ ペルチェ ペルチェ
HA60PE 6インチ
HA80PE 8インチ

※温度上昇時間、温度下降時間はチャックの温度制御範囲によって異なりますので参考値とお考えください。

高性能高温チャック、高低温チャック

高性能高温チャック、高低温チャック

高度な温度制御技術、低ノイズ・低リーク技術を結集した、高性能 高温チャックおよび高低温チャックシステムです。高速な温度上昇・下降、優れたチャックトップ平面度、温度分布精度などの特長を有しており、高精度温度特性試験やウエハレベル信頼性試験に対応できます。

標準チャックサイズ
φ 155mm (6インチ),φ205mm (8インチ),φ305mm (12インチ)

型式 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式
-A 室温 ~ +200℃ ヒーター 圧縮空気
-AC +20℃ ~ +200℃ ヒーター 圧縮空気
-AH 室温 ~ +300℃ ヒーター 圧縮空気
-ACH +20℃ ~ +300℃ ヒーター 圧縮空気
-C -40℃ ~ +200℃ ヒーター 冷凍機+圧縮空気
-CL -60℃ ~ +200℃ ヒーター 冷凍機+圧縮空気
-CH -40℃ ~ +300℃ ヒーター 冷凍機+圧縮空気
-CLH -60℃ ~ +300℃ ヒーター 冷凍機+圧縮空気
-M -40℃ ~ +200℃ ヒーター フッ素系液循環
-ML -65℃ ~ +200℃ ヒーター フッ素系液循環
-MH -40℃ ~ +300℃ ヒーター フッ素系液循環
-MLH -65℃ ~ +300℃ ヒーター フッ素系液循環
-HH +30℃ ~ +400℃ ヒーター 圧縮空気

超低ノイズ、低リーク、ショートセドリング モデル”-UL”もご用意しております。

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