オプトデバイス評価用プローバー各種発光素子・受光素子の光学的特性、電気的特性をオンウエハで測定可能なシステムを設計製作でご提供させていただきます。
アプリケーション
- VCSEL、LED等、発光素子のウエハレベル光学特性/電気特性評価
- フォトダイオード、アバランシ-フォトダイオード等、受光素子のウエハレベル光学特性/電気特性評価
対応測定項目
VCSEL / LED
- I-L-V特性（電流-電圧/光出力）
- C-V特性（容量-電圧）
- Pulsed I-V特性
- 波長測定，波長線幅測定
- NFP（近視野発光像）
- FFP（遠視野発光像）
- 変調周波数特性
- RIN特性
PD / APD
- 暗電流測定
- I-V特性（電流-電圧）
- C-V特性（容量-電圧）
- 変換効率
- 波長-変換効率プロファイル
- カットオフ周波数
- 変調周波数特性
- 過渡応答特性
システム製作例
顕微測光鏡筒搭載セミオートプローブシステム
VCSEL，PD/APD評価用（2インチφ対応）
光ファイバ直接結合型マニュアルプローバー
VCSEL評価用（3インチφ対応）
※ ご要求仕様に基づき、最適なシステム提案をさせていただきます。 是非ご相談ください。
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