オプトデバイス評価用プローバー

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各種 受光デバイス、発光デバイス 評価用プローブ・システム

各種 受光デバイス、発光デバイスの光学的特性、電気的特性をオンウェハまたはチップ状態で測定可能なシステムを設計製作でご提供させていただきます。

研究開発用のコンパクトなマニュアルシステムから、ウェハ面内自動測定に対応したセミオート・システムまで、お客様のアプリケーションに最適なオプトデバイステストシステムをご提供いたします。

アプリケーション

  • LED、マイクロLED、VCSEL、レーザーダイオード、有機ELなど発光素子の特性評価
  • 光センサー、CMOSセンサー、太陽電池など受光素子の特性評価

システム構築例


セミオート受光素子I-V・C-V
テストシステム(6インチφ)

顕微測光鏡筒搭載セミオートプローブシステム
VCSEL素子評価用(2インチφ)

ダブルサイドセミオートプローブシステム
受光素子評価用(8インチφグリップリング)

チップトレイやゲルバックに搭載された個片デバイスの自動測定

不良ダイマーキング対応
(インカー)

ダブルサイド マニュアルプローバー
受発光素子テスト仕様(3インチφ)

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズ
プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)

E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)

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