-65℃～+400℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験
低ノイズ、低リークを追及した次世代半導体デバイス対応のマニュアルプローブシステムです。
シールドチャンバー構造による完全なEMIシールド環境内に、プローブおよびチャックが収納されており、温度制御範囲-65℃～+300℃（特殊オプション+400℃）において、極限領域での超微小信号I-V・C-V測定、1/fノイズ測定、Sパラメータ取得、RTN（ランダムテレグラフノイズ）測定、高速I-V測定などのマニュアル測定に対応します。
またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。
・ HMP-810SC：8インチ (φ200mm) 対応
・ HMP-1210SC：12インチ (φ300mm) 対応
アプリケーション
- ＋15℃～+300℃ /+400℃ または-65℃～+300℃範囲の温度特性試験
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
- 1/fノイズ評価
- RTN(ランダムテレグラフノイズ)評価
- 高周波ノイズ評価(～800MHz)
- RF測定(～67GHz)
- 超高速I-V測定
拡張アプリケーション
- N2、Ar等不活性ガス環境下でのテスト（露点温度-70℃、残留酸素濃度100ppm以下）
- プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
- アクティブ除振台、オートフォーカス光学系、画像認識アライメントによる超高精度プロービング
- オプティカルデバイス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
- ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kVcoaxial）※8インチモデル
- ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）※240時間以上の連続試験可能
システム構築例
HMP-810SC 200mm（8inch）システム
HMP-1210SC 300mm（12inch）システム
（XYデジタルリードアウト付き)
DCプローブ×4，RFプローブ×2(EAST/WEST)
FETプローブ×1 構成
+300℃対応 マルチサイトWLR
プローブカード搭載
-60℃～+300℃ ウェハチャック搭載
(プルアウト機構による安全なウェハ交換)
ハイパワーデバイス温度特性評価
(-60℃～+300℃，10kV I-V，3kV C-V，200A)
代表仕様
| 項目 | HMP-810SC | HMP-1210SC |
|---|---|---|
| ステージXY移動範囲（粗動） | X : 210mm, Y : 210mm | X : 310mm, Y : 310mm |
| ステージXY移動範囲（微動） | 同上 | 同上 |
| ステージθ移動範囲 | ±5° | |
| プラテンZ軸アクション | 0 –0.3mm | |
| ステージZ軸調整範囲 | 0 ～20mm | |
| システム寸法（W×D×H）※ | 960 ×980 ×1550 mm | 1100 ×1000 ×1550 mm |
| システム重量※ | 約750 kg | 約870 kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション
ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。
各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。
ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A半導体デバイス・アナライザ
B1505Aパワーデバイス・アナライザ・カーブトレーサ
B2200A/01A低リーク・スイッチ
カタログダウンロード（PDF）
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