高低温対応 小型マニュアル・プローバーHMP-410SC(4 inch)/HMP-610SC(6 inch)

-40℃~+200℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

シールドチャンバータイプのコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。

チャンバーの開放を行わない状態で、ポジショナ操作やチャックステージの操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。

容積の小さいシールドチャンバー構造でドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら微小信号測定に対応できます。
-40℃ ~ +200℃の範囲の高低温チャックを組み込むことができます。

・ HMP-410SC:4インチ (φ100mm) 対応
・ HMP-610SC:6インチ (φ200mm) 対応

アプリケーション

  • +15℃~+200℃ または -40℃~+200℃範囲の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
  • RF測定(~40GHz)
  • N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト(露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下)
  • プローブカード対応
  • ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB, HCI, NBTI, BTなど)

システム概要


チャンバーの開放なしで操作可能な
プローブポジショナ(最大6台搭載可)

チャンバーの開放なしで操作可能な
3軸チャックステージ(XY粗微動,θ微動)

チャンバーの開放なしで操作可能な
コンタクト・セパレーション操作レバー

チャックプルアウト機構による安全な
ウェハ交換

システム構築例


N2ガスパージ対応
4.5インチ幅プローブカード仕様

マルチサイトプローブカード搭載仕様
ウェハレベル信頼性試験

代表仕様

項目 HMP-410SC HMP-610SC
ステージXY移動範囲(粗動) X : 110mm, Y : 110mm X : 160mm, Y : 160mm
ステージXY移動範囲(微動) 同上 同上
ステージθ移動範囲 ±5°
プラテンZ軸アクション 0 –0.3mm-10mm
ステージZ軸調整範囲 0 ~12mm
システム寸法(W×D×H)※ 590 ×620 ×550 mm 640 ×670 ×550 mm
システム重量※ 約60 kg 約90 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズ
プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)

E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)

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