-40℃~+200℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験
シールドチャンバータイプのコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。チャンバーの開放を行わない状態で、ポジショナ操作やチャックステージの操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。
容積の小さいシールドチャンバー構造でドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら微小信号測定に対応できます。
-40℃ ~ +200℃の範囲の高低温チャックを組み込むことができます。
・ HMP-410SC:4インチ (φ100mm) 対応
・ HMP-610SC:6インチ (φ150mm) 対応
アプリケーション
- +15℃~+200℃ または -40℃~+200℃範囲の温度特性試験
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
- RF測定(~40GHz)
- N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト(露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下)
- プローブカード対応
- ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB, HCI, NBTI, BTなど)
システム概要
システム構築例
代表仕様
項目 | HMP-410SC | HMP-610SC |
---|---|---|
ステージXY移動範囲(粗動) | X : 110mm, Y : 110mm | X : 160mm, Y : 160mm |
ステージXY移動範囲(微動) | 同上 | 同上 |
ステージθ移動範囲 | ±5° | |
プラテンZ軸アクション | 0 –0.3mm-10mm | |
ステージZ軸調整範囲 | 0 ~12mm | |
システム寸法(W×D×H)※ | 590 ×620 ×550 mm | 640 ×670 ×550 mm |
システム重量 ※ | 約60kg | 約90kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。
ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。
インテグレーション実績有 計測器メーカー様
(順不同、敬称略)
- キーサイト・テクノロジー(株)
- テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
- (株)エヌエフ回路設計ブロック
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
- 日置電機(株)
- 岩崎通信機(株)
- (株)エーディーシー
- (株)テクシオ・テクノロジー
他 多数
インテグレーション実績有 ユニットメーカー様(順不同、敬称略)
HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株) 他 多数
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