-60℃～+200℃の高低温温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

HMP-410SC/610SC 高低温対応 小型マニュアル・プローバーはシールドチャンバータイプのコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。

剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。

容積の小さい超低ノイズシールドチャンバー構造を採用しており低露点ドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら各種電気的測定に対応できます。

また、チャンバー開放を行わない状態で、顕微鏡操作、ポジショナ操作、チャックステージの移動操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。

温度制御範囲 -60℃ ～ +200℃（特殊オプション+300℃）の高低温チャックを組み込むことができ、高低温特性試験に対応できます。

・ HMP-410SC：4インチ (φ100mm) 対応
・ HMP-610SC：6インチ (φ150mm) 対応

アプリケーション

• -60℃/-40℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
• 微小信号I-V測定（fAレベル）
• 各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV）、インピーダンス特性評価
• RF測定（～67GHz）
• 超高速I-V測定
• N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト（露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下）
• プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）

システム概要

DC・RF・マルチコンタクトに対応可能な
プローブヘッド構造（最大6台搭載可能）

チャックプルアウト機構による
安全なウェハ交換（チャック全面が露出）

チャンバーの開放無しでポジショナ、チャック移動ステージ、顕微鏡、
コンタクト・セパレーション操作が可能

シールディング性能・プローブ交換の作業性に
配慮したプローブアームインサート構造

オプションのプローブカードアダプタ
（標準：4.5インチ幅角型プローブカード）

パージガス流量調節用 ニードルバルブ付き
流量計を標準装備

オプションでチャンバー内雰囲気監視用の
露点センサや酸素濃度計を組み込み可能

システム例

HMP-410SC 高低温システム
空気ばね式除振台付属、露点計付

マルチサイトプローブカード搭載仕様
ウェハレベル信頼性試験（カスタム対応）

代表仕様

※突起物を除く。システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有 計測器メーカー様

（順不同、敬称略）

• キーサイト・テクノロジー(株)
• テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
• (株)エヌエフ回路設計ブロック
• ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
• 日置電機(株)
• 岩崎通信機(株)
• (株)エーディーシー
• (株)テクシオ・テクノロジー
  他 多数

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他 多数

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