-40℃～+200℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験
シールドチャンバータイプのコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。チャンバーの開放を行わない状態で、ポジショナ操作やチャックステージの操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。
容積の小さいシールドチャンバー構造でドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら微小信号測定に対応できます。
-40℃ ～ +200℃の範囲の高低温チャックを組み込むことができます。
・ HMP-410SC：4インチ (φ100mm) 対応
・ HMP-610SC：6インチ (φ150mm) 対応
アプリケーション
- ＋15℃～+200℃ または -40℃～+200℃範囲の温度特性試験
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
- RF測定(～40GHz)
- N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト（露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下）
- プローブカード対応
- ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB, HCI, NBTI, BTなど）
システム概要
チャンバーの開放なしで操作可能な
プローブポジショナ（最大6台搭載可）
チャンバーの開放なしで操作可能な
3軸チャックステージ（XY粗微動，θ微動)
チャンバーの開放なしで操作可能な
コンタクト・セパレーション操作レバー
チャックプルアウト機構による安全な
ウェハ交換
システム構築例
N2ガスパージ対応
4.5インチ幅プローブカード仕様
マルチサイトプローブカード搭載仕様
ウェハレベル信頼性試験
代表仕様
| 項目 | HMP-410SC | HMP-610SC |
|---|---|---|
| ステージXY移動範囲（粗動） | X : 110mm, Y : 110mm | X : 160mm, Y : 160mm |
| ステージXY移動範囲（微動） | 同上 | 同上 |
| ステージθ移動範囲 | ±5° | |
| プラテンZ軸アクション | 0 –0.3mm－10mm | |
| ステージZ軸調整範囲 | 0 ～12mm | |
| システム寸法（W×D×H）※ | 590 ×620 ×550 mm | 640 ×670 ×550 mm |
| システム重量 ※ | 約60kg | 約90kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション
ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。
ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。
インテグレーション実績有 計測器メーカー様
（順不同、敬称略）
- キーサイト・テクノロジー(株)
- テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
- (株)エヌエフ回路設計ブロック
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
- 日置電機(株)
- 岩崎通信機(株)
- (株)エーディーシー
- (株)テクシオ・テクノロジー
他 多数
インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）
HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株） 他 多数
カタログダウンロード（PDF）
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