小型マニュアル・プローバーHMP-400(4 inch)/HMP-600(6 inch)

ベストセラー コンパクトマニュアルプローバー

個片から4インチ、または6インチまでのウェハの測定に対応する、研究開発用小型マニュアルプローバーです。

オプションを適切に選択することにより fA レベルの微小電流測定や、fF レベルの微小容量測定、40GHzまでのRF測定に対応可能です。

+15℃~+300℃範囲のの高温チャック搭載や、プローブカード対応、ハイパワーデバイス測定、高倍率顕微鏡の搭載等、拡張性に優れたベストセラーモデルです。

・ HMP-400 :4インチ (φ100mm) 対応
・ HMP-600 :6インチ (φ150mm) 対応

アプリケーション

  • 微小信号 I-V測定(fA レベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV)
  • 4端子抵抗測定

拡張アプリケーション

  • +15℃ ~ +120℃、室温 ~ +200℃または、+300℃ 範囲の温度特性試験
  • グローブボックス内設置
  • プローブカード対応
  • RF測定(~40GHz)
  • 超高速 I-V測定
  • ハイパワーデバイス測定(100A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial)
  • オプティカルデバイス(LED, LD, VCSEL, PDなど)の受発光特性評価アプリケーション

システム構成例


Keysight B1500A半導体デバイス・アナライザ
とのシステムアップ(微小信号I-V・C-V測定)

Keysight B2900A ソース/メジャー・ユニット
とのシステムアップ(ローコストI-V測定)

40GHz RF測定仕様
(2ポート、4ポート対応可能)

グローブボックス内設置仕様
(CCDマイクロスコープ搭載)

代表仕様

項目 HMP-400 HMP-600
ステージXY移動範囲(粗動) X:110mm,Y:150mm X:160mm,Y:220mm
ステージXY移動範囲(微動) XY 各 ±6.5mm
ステージθ移動範囲 粗動 ±30°, 微動 ±2.5°
プラテンZ軸アクション 0 – 20mm フリー
ステージZ軸調整範囲 0 ~ 15mm
システム寸法(W×D×H)※ 350 × 390 × 450 mm 406 × 490 × 450 mm
システム重量※ 約 28 kg 約 36 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

微小信号測定性能

下記のプロットは、オープン状態のプローブおよびチャックに-200Vから+200Vの掃引電圧を印加し、その
際の電流値を測定した結果です。その測定結果は-200Vから+200Vの全てのレンジにおいて、±10fA 未満の
ノイズおよびリーク電流を示しており、弊社が供給するプローブシステムが、100fA以下の測定確度を必要
とする微小信号測定アプリケーションに対応していることを証明しています。

※上記の測定値は弊社測定環境における実測値であり保証値ではありません。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。
各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズ
プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)
E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)

カタログダウンロード(PDF)

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