小型マニュアルプローバー
HMP-400(4インチ)/HMP-600(6インチ)

pname-HMP-400
ベストセラー コンパクトマニュアルプローバー

小型マニュアルプローバー HMP-400 / 600
HMP-400
個片から4インチ、または6インチまでのウェハの測定に対応した、研究開発用小型マニュアルプローバーです。
オプションを適切に選択することにより fA レベルの微小電流測定や、fF レベルの微小容量測定に対応可能です。
また、室温~+300℃のホットチャックを搭載することにより高温試験に対応できます。

keysite-logo2ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー合同会社の認定ソリューションパートナーです。

アプリケーション

  • 微小信号 I-V測定(fA レベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V,HF-CV)
  • 4端子抵抗測定

拡張アプリケーション

  • 室温 ~ +200℃または、+300℃ 範囲の温度特性試験
  • グローブボックス内設置
  • プローブカード対応
  • RF測定(~40GHz)
  • 超高速 I-V測定
  • ハイパワーデバイス測定(100A Pulse,±3kV triaxial,±10kV coaxial)
  • オプティカルデバイス(LED,LD,VCSEL,PDなど)の受発光特性評価アプリケーション

システム構成例

HMP-400-2
Agilent B1500A 半導体デバイスアナライザとの
システムアップ(微小信号 I-V・C-V測定)
HMP-400-3
微小信号I-V・C-V測定用セットアップ
プローブ×4,バックゲート×1
HMP-400-4
Agilent B2900A ソース/メジャー・ユニットとの
システムアップ(ローコストI-V測定)
HMP-400-5
グローブボックス内設置仕様
(CCDマイクロスコープ搭載)

代表仕様

対応ウエハサイズ~φ100mm~φ150mm

項目 HMP-400 HSP-600
ステージXY移動範囲(祖動) X:105mm,Y:150mm X:155mm,Y:220mm
ステージXY移動範囲(微動) XY 各 ±6.5mm
ステージθ移動範囲 ±30°
プラテンZ軸アクション 0 – 20mm フリー
ステージZ軸調整範囲 0 ~ 15mm
システム寸法(W×D×H)※ 350 × 390 × 450 mm 390 × 450 × 450 mm
システム重量※ 約 28 kg 約 36 kg

※システムの構成により変動します。

微小信号測定性能

下記のプロットは、オープン状態のプローブおよびチャックに-200Vから+200Vの掃引電圧を印加し、その際の電流値を測定した結果です。その測定結果は-200Vから+200Vの全てのレンジにおいて、±10fA 未満のノイズおよびリーク電流を示しており、弊社が供給するプローブシステムが、100fA以下の測定確度を必要とする微小信号測定アプリケーションに対応していることを証明しています。

HMP-400-graph1S

HMP-400-6
A74CJ型 1tip-Kelvin
同軸プローブ
HMP-400-graph2S

HMP-400-8
HCP40型
同軸プローブ
HMP-400-graph3S

HMP-400-10
HTC40型
トライアキシャルチャック
(室温)

※上記の測定値は弊社測定環境における実測値であり保証値ではありません。

カタログダウンロード(PDF)

お問い合わせ

お問い合わせは下のフォームをご利用になれます。
必須項目は必ずお書きください。

会社名 (※必須)

部署名 (※必須)

お名前 (※必須)

郵便番号

住所 (※必須)

TEL (※必須)

FAX

E-MAIL(※必須)

お問い合わせ内容


 この内容でよろしかったら、左の□の枠をクリックして送信ボタンを押してください。



SSLとは?

ハイソル株式会社では、個人情報の保護のため、ジオトラストのSSLサーバ証明書を使用し、SSL暗号化通信を実現しています。左記のスマートシールをクリックすると、サーバ証明書の検証結果をご確認できます。

インターネット上で個人情報を入力する必要のあるユーザー登録やお問い合わせなど、サーバーとブラウザの間を暗号化して、第三者によるデータの改ざんや盗用を防いでいます。

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

  • 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
  • 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
  • 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
  • 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。