ランプアニール装置・高速熱処理装置(RTP/RTA装置)
デスクトップシステム
大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW610 (6インチ対応)
大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW810 (8インチ対応)
スタンドアローンシステム
大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA)長時間プロセス対応モデル AccuThermo AW820 (8インチ対応)
真空ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820V (8インチ対応)
