スタンダード セミオート・プローバー HSP-200(8 inch)/HSP-300(12 inch)

小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-100(4 inch)/HSP-150(6 inch)

高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC(8 inch)/HSP-300SC(12 inch)

真空セミオート・プローバー HSP-V150(6 inch)/HSP-V200(8 inch)

ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-150DS(6 inch)/HSP-200DS(8 inch)