精密スピンコーターACE-200 / TOP-8

主力製品である精密スピンコーターは、
全世界で広く取り扱われており、大学を中心とした様々な分野の
研究機関に対して約6000台以上の納入実績があります。

ACE-200 / TOP-8は、ステップ別の進行状況を
実時間グラフにして表示する「グラフィック・ファンクション」(特許)を標準搭載しており、高速・高精度に塗膜を形成することができる安価で手軽なスピンコーターです。

装置概要

低価格・低騒音・少振動
ステップ別の進行状況を実時間グラフィックで表示する「グラフィック・ファンクション」(特許)
0または50～8,000R.P.Mまで、スピードを自由に加速・減速することができます
(3,000/Secで加速・減速)
1プログラムにつき最大100ステップを設定し、100プログラムをメモリー可能
装置前面のデジタルコントローラにより、誰でも簡単にご使用頂けます
真空異常、モーターの過負荷時のアラーム機能で安全にご使用頂けます
RPM設定値と動作時のRPMを比較し、回転精度を常に確認することができます
スピンコーター専用に開発された強力なモーターと独自のプログラムにより加速時間を最長30秒まで延長できる為、多様な材料を適用することができます
内部構成はユニット化されている為故障はほとんどなく、万が一故障が発生した場合も修理が簡単です

「グラフィック・ファンクション」

「グラフィック・ファンクション」

デジタルコントローラ

動画

仕様表

スピンコーター仕様

機種名	ACE-200	TOP-8
ウェハサイズ	0.2～4 インチ	個片～8インチ
ボウルサイズ	235m/m	360m/m
ボウル材質	SUS
ステップ数	100
プログラム数	100
スピード	0 to 50 ～ 8,000 rpm	0 to 50 ～ 5,000 rpm
Hold time	1 ～ 999sec	1 ～ 999sec
精度	±1 rpm
加減速	3,000 rpm/sec	1,000 rpm/sec
電源	AC 220V/110V, 50/60 Hz
ディスプレイ	LCD
システム制御	マイコン制御
寸法	W320 × D420 × H240 mm	W440 × D540 × H260 mm

ドライ真空ポンプ仕様

型式	Rocker 300
方式	ピストン方式
排気速度	22 L/min
到達真空度	-450 ～ -650mmHg
騒音	50 dB
接続径	8 mm
寸法(約)	272 × 121 × 165 mm
重量(約)	5.1 kg
電源	単相 110V ±10%, 65W

オプション

マルチチャック SC-001-A

- トッププレートのみを交換する機構を採用し、低価格化と幅広いサイズへの対応を実現
- 一式(4 種類) で□5 ～ 75mm までの様々なサンプルに対応

各トッププレートの裏面に対応サイズ(□/mm) を明記し、サンプルによる治具選定の手間を解消

セーフティセンサ

側面の光電センサにより、蓋の有無を検知

蓋が空いている際には装置を起動することができず、起動中に蓋が空いた際には非常停止を行います

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