マスクレスでフォトリソグラフィができる卓上型の露光装置です。
装置本体の設置面積はA3サイズとなり、必要ユーティリティもAC100Vのみです。
またユーザーフレンドリーな操作性で、フォトリソグラフィに慣れない人でもパターニング可能です。
価格に関しても、機能の絞り込みを行うことで圧倒的な低価格となっております。

装置特長

・マスクレスでフォトリソグラフィができる
フォトマスクの代わりにDMD（デジタルマイクロミラーデバイス）を使用しています。
手軽にリソグラフィができる為、研究用途やフォトマスク作成前の試作用としてもご利用可能です。

・設置面積の少ない卓上型
装置本体の設置面積はA3サイズとなり、ほかにノートPCとステージドライバが付属します。

・必要ユーティリティはAC100Vのみ
フローティング構造を採用し、振動を抑制している為、防振台が不要です。
真空吸着ポンプも内蔵している為、圧縮エアや冷却水も必要ございません。

・圧倒的な低価格
機能を絞り込むことで、圧倒的な低価格を実現いたしました。

・ユーザーフレンドリーな操作性
手軽に使用して頂くために、フォトリソグラフィに不慣れな人でもパターニングできる、
分かりやすいユーザーインターフェイスとなっております。

装置仕様

品名	手動ステージモデル	電動ステージモデル	大型ステージモデル
型名	DDB-701-MS	DDB-701-DL	DDB-701-DL4
ステージ	手動 XYZθステージ	電動 XYZθステージ
構成 （共通）	装置本体・制御用PC・ソフトウェア
構成 （モデル）	―	ステージドライバ	ステージドライバ・ 防振テーブル
光源	365nm（typ.）LED
露光領域	25mm × 25mm		100mm × 100mm
ワークサイズ	最大Φ60mm、 厚み3mm		最大Φ150mm、 厚み10mm
ユーティリティ	AC100V、消費電力 1.5kW以下
対応ファイル形式	画像データ（JPEG / PNG / BITMAP）、パワーポイントデータ（XPS）、 CADデータ（DXF）
本体外寸(mm)・質量	300 (W) × 450 (D) × 450 (H) 約30kg		500 (W) × 600 (D) × 650 (H) 約100kg

対物レンズ	10倍	2倍
最小露光線幅	3μm	15μm
ワンショットあたりの露光エリア	約1mm × 約0.6mm	約5mm × 約3mm
ワンショットあたりの露光時間 （※1）	約1秒	約15秒

※1 PALET標準フォトレジストでの参考値となります。

装置動画

使用方法

カタログダウンロード（PDF）

電話番号：03-3836-2800
担当：生稲、前田
もしくは下記お問い合わせフォームまで

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