有機半導体デバイス等の高純度ガス環境下 高低温オン・ウエハ特性評価に最適
※写真のグローブボックスは（株）UNICO 様の製品です。
1ppm以下の酸素濃度、水分量の高純度不活性ガス環境下での高低温（-60℃ ～+300℃）オン・ウェハ自動測定に対応できます。
OFET，OTFT，OLEDなどの有機半導体デバイス、有機薄膜太陽電池 (OPV) の研究開発段階における、中規模 ～ 大規模アレイの自動測定に最適なシステムです。
オプションで素子表面への光照射機能や、発光検出器の組み込み、真空蒸着装置・製膜装置とのドッキング等カスタムソリューションに対応可能です。
アプリケーション
- 高純度ガス置換環境下での＋15℃～+300℃ / +400℃ または-60℃～+300℃範囲の温度特性試験
- デバイス表面への光照射、デバイス発光特性評価に対応可
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)
- 各種RF測定(～67GHz)
システム概要
グローブ操作に配慮した操作系レイアウト
デバイス表面への光照射機能（オプション）
観察光学系と光照射軸の自動切替に対応
グローブボックス内の低露点（低水分量）環境
により低温チャック（> -60℃）を搭載可能
グローブボックス内に設置可能な自動開閉式
シールド遮光ボックス（シャッター開閉）
代表仕様
| 項目 | HSP-100GB |
|---|---|
| 対応ウエハサイズ | ～φ100mm |
| ボックス内雰囲気 | 不活性ガス水分濃度、酸素濃度各1ppm以下 （インテグレーションするグローブボックスの仕様による） |
| ステージXY移動範囲 | X：110mm, Y：190mm |
| ステージXY繰り返し精度 | ＜±2um |
| ステージXY位置決め精度 | ＜±5um |
| ステージZ移動範囲 | 20mm |
| ステージZ繰り返し精度 | ＜±1um |
| ステージθ移動範囲 | ±7.5° |
| ステージθ位置決め分解能 | 0.0002° |
| システム寸法（W×D×H）※ | 3300×1200×2100 mm |
| システム重量※ | 約1300kg |
※標準的なグローブボックスを含む。システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
標準的な自動測定対応ソフトウェア
| キーサイト・テクノロジー | ・EasyEXPERTgroup+ ・WaferPro Express ・SPARK他 |
|---|---|
| TFF/ケースレーインスツルメンツ | ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) ・ACS |
| ProPlus Design Solutions | ・Noisepro |
※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。
セミオートプローバー制御ソフトウェア
マニュアル操作画面
オート(自動運転)画面
ウェハマップ設定画面
画像認識設定画面
BINマッピング- 最新の高性能・多機能セミオートプロービングソフトウェア。
- OSはWindows IoT Enterprise LTSB に対応。(長期サポート対応）
- 操作性に優れたシングルウィンドウオペレーション。
- メガピクセル撮像カメラ対応。
- ソフトウェアGUIまたはペリフェラルコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用可能。
- 上位測定器やPCからGP-IBコマンドで、またはPC内にインストールされた測定器制御ソフトウェアからファイル渡しでの自動制御、自動運転に対応します。
- 上位ソフトウェアからBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応。
- 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応可能。（オプション）
- 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。（オプション）
- ソフトウェアは自社開発で、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。
システムインテグレーション
ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。
ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。
インテグレーション実績有 計測器メーカー様
（順不同、敬称略）
- キーサイト・テクノロジー(株)
- テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
- (株)エヌエフ回路設計ブロック
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
- 日置電機(株)
- 岩崎通信機(株)
- (株)エーディーシー
- (株)テクシオ・テクノロジー
他 多数
インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）
HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株） 他 多数
ハイソル 自動測定対応ソフトウェア
ハイソル セミオートプローバーと各種測定器を自動制御するカスタムソフトウェアをご提供します。
お客様のご要求測定アプリケーションに最適な自動測定ソフトウェアを製作構築させて頂きます。
ソフトウェア製作事例
DCパラメトリック自動測定ソフトウェア
（スイッチング・マトリクス制御対応）
RF・Sパラメーター自動測定ソフトウェア
（SOLT / LRM 自動キャリブレーション対応）
お問い合わせ
フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。
恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。
個人情報保護方針(プライバシーポリシー)
- 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
- 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
- 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
- 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。
This site is protected by reCAPTCHA and the Google
Privacy Policy and Terms of Service apply.