-60℃～+400℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

HSP-200SC・HSP-300SC セミオート・プローバーは最大8インチ（200mm）または最大12インチ（300mm）ウェハの測定に対応する低ノイズ、低リークを追及した次世代半導体デバイス対応のセミオートプローブシステムです。

シールドチャンバー構造による完全なEMIシールド環境内に、プローブおよびチャックが収納されており、温度制御範囲-60℃～+300℃（特殊オプション+400℃）において、極限領域での超微小信号I-V・C-V測定、1/fノイズ測定、Sパラメータ取得、RTN（ランダムテレグラフノイズ）測定、高速I-V測定などの面内自動測定に対応します。

またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。

・HSP-200SC：8インチ(φ200mm)対応
・HSP-300SC：12インチ(φ300mm)対応

アプリケーション

• -60℃/-40℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
• N2、Ar等不活性ガス環境下でのテスト（露点温度-70℃以下、残留酸素濃度100ppm以下）
• 微小信号I-V測定（fAレベル）
• 各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV）、インピーダンス特性評価
• RF測定（～67GHz）※オプション：sub THz帯域 RF測定
• 1/fノイズ評価
• RTN（ランダムテレグラフノイズ）評価
• 超高速I-V測定
• ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）
• プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）

拡張アプリケーション

• オプトエレクトロニクス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
• sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
• ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）※240時間以上の連続試験可能

システム例

セミオートプローバー制御ソフトウェア

• 最新の高性能・多機能セミオートプロービングソフトウェア。
• OSはWindows IoT Enterprise LTSB に対応。(長期サポート対応）
• 操作性に優れたシングルウィンドウオペレーション。
• メガピクセル撮像カメラ対応。
• ソフトウェアGUIまたはペリフェラルコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用可能。
• 上位測定器やPCからGP-IBコマンドで、またはPC内にインストールされた測定器制御ソフトウェアからファイル渡しでの自動制御、自動運転に対応します。
• 上位ソフトウェアからBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応。
• 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応可能。（オプション）
• 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。（オプション）
• ソフトウェアは自社開発で、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

代表仕様

項目	HSP-200SC	HSP-300SC
対応ウエハサイズ	～φ200mm	～φ300mm
ステージXY移動範囲	X：210mm,Y：210mm	X：310mm, Y：310mm
ステージXY繰り返し精度	＜±2um
ステージXY位置決め精度	＜±5um
ステージZ移動範囲	20mm
ステージZ繰り返し精度	＜±1um
ステージθ移動範囲	±7.5°
ステージθ位置決め分解能	0.0002°
システム寸法（W×D×H）※	1600×1100×1600 mm	1700×1200 ×1600 mm
システム重量※	約900kg	約1100kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

ハードウェア オプション（代表）

• オートフォーカス機能
• アクティブ・クーリング機能（温度特性試験時のプローブ・チャック熱ドリフト低減）
• 顕微鏡 X-Y 電動ステージ（ソフトウェア制御）
• 顕微鏡 電動ズーム、電動フォーカス機能（ソフトウェア制御）
• プローブ自動クリーニング機能
• エッジセンサーユニット（プローブコンタクト高さ 面内 ±1umで制御）
• インカーユニット（ダイマーキング）
• セーフティ・ライトカーテン（追加インターロック機能）
• 超ローノイズ仕様（1/fノイズ、RTN測定に対応）

ソフトウェア オプション

• パターンマッチング 画像認識機能（XYθ位置補正）
• 測定器制御ソフトウェア（要ご相談）

標準的な自動測定対応ソフトウェア

キーサイト・テクノロジー	・EasyEXPERT group+ ・WaferPro Express ・SPARK他
TFF/ケースレーインスツルメンツ	・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) ・ACS
ProPlus Design Solutions	・Noisepro

※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他 多数

ハイソル 自動測定対応ソフトウェア

ハイソル セミオートプローバーと各種測定器を自動制御するカスタムソフトウェアをご提供します。
お客様のご要求測定アプリケーションに最適な自動測定ソフトウェアを製作構築させて頂きます。

ソフトウェア製作事例

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