高低温対応マニュアル・プローバー

-60℃～+400℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

HMP-810SC・HMP-1210SC マニュアル・プローバーは最大8インチ（200mm）または最大12インチ（300mm）ウェハの測定に対応するシールドチャンバー仕様のマニュアルプローブシステムです。
剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
容積の小さい超低ノイズシールドチャンバー構造を採用しており低露点ドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら各種電気的測定に対応できます。
また、チャンバー開放を行わない状態で、顕微鏡操作、ポジショナ操作、チャックステージの移動操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。
温度制御範囲 -60℃ ～ +300℃（特殊オプション+400℃）の高低温チャックを組み込むことができ、高低温特性試験に対応できます。

・ HMP-810SC：8インチ (φ200mm) 対応
・ HMP-1210SC：12インチ (φ300mm) 対応

アプリケーション

-60℃/-40℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
N2、Ar等不活性ガス環境下でのテスト（露点温度-70℃以下、残留酸素濃度100ppm以下）
微小信号I-V測定（fAレベル）
各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV）、インピーダンス特性評価
RF測定（～67GHz）※オプション：sub THz帯域 RF測定
超高速I-V測定
ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）
プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）

拡張アプリケーション

1/f ノイズ評価、RTN（ランダムテレグラフノイズ）評価
オプトエレクトロニクス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）※240時間以上の連続試験可能

システム例

HMP-810SC 200mm（8inch）システム

HMP-1210SC 300mm（12inch）システム
（XYデジタルリードアウト付き)

DCプローブ×4，RFプローブ×2(EAST/WEST)
FETプローブ×1 構成

+300℃対応マルチサイトWLR
プローブカード搭載

-60℃～+300℃ ウェハチャック搭載
(プルアウト機構による安全なウェハ交換)

ハイパワーデバイス温度特性評価
(-60℃～+300℃，10kV I-V，3kV C-V，200A)

代表仕様

項目	HMP-810SC	HMP-1210SC
ステージXY移動範囲（粗動）	X : 210mm, Y : 210mm	X : 310mm, Y : 310mm
ステージXY移動範囲（微動）	同上	同上
ステージθ移動範囲	±5°
プラテンZ軸アクション	0 –0.3mm
ステージZ軸調整範囲	0 ～20mm
システム寸法（W×D×H）※	960 ×980 ×1550 mm	1100 ×1000 ×1550 mm
システム重量※	約750 kg	約870 kg