各種ポジショナ(マニピュレータ)

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各種ポジショナ(マニピュレータ)

プローブのコンタクトポジションを、高精度に位置決めするための各種ポジショナ(マニピュレータ)です。
XYZ移動量や調整感度、サイズ等により、最適な製品を選択して頂けます。 また特注製作にも対応いたします。
HP120およびHP130のシリーズは67GHzまでの高周波測定にも対応できます。

ラインナップ

HP50

HP50 小型ポジショナ

コンパクトなリードスクリュー送り式ポジショナ。
特殊ガイド機構により、50μm~のPAD(電極)に安定コンタクトが可能です。

型式 HP50/R(右配置用)
HP50/L(左配置用)
移動量 XYZ 各 5mm
移動分解能 XYZ 各 0.5mm / 回転
調整感度 10μm
固定方式 ON/OFF切替式マグネットベース(標準)
外形寸法・重量 W35×D95×H45mm・約200g
HP65

HP65 小型高精度ポジショナ

コンパクトなマイクロメータ送り式高精度ポジショナ。
バックラッシュがなく10μm~の配線やPAD(電極)に素早くアクセスできます。

型式 HP65
移動量 XYZ 各 6.5mm
移動分解能 XYZ 各 0.5mm / 回転
調整感度 3μm
固定方式 ON/OFF切替式マグネットベース(標準)
外形寸法・重量 W35×D105×H73mm・約320g
HP80

HP80 小型ポジショナicon-new

[低価格]を追求した汎用ポジショナ。
バックラッシュが僅少で、70μm~程度のPAD(電極)に安定コンタクト可能です。

型式 HP80/R(右配置用)
HP80/L(左配置用)
移動量 XZ 各 12mm,Y 8mm
移動分解能 XYZ 各 0.635mm / 回転
調整感度 15μm
固定方式 [型式末尾 –M] ラバーマグネットベース(標準)
[型式末尾 -E] ON/OFF切替式マグネットベース
外形寸法・重量 W48×D77×H60mm・約160g (HP80/L(R)-M)
HP120

HP120 高精度ポジショナicon-new

精密リードスクリュー送り式高精度ポジショナ。
バックラッシュがなく、10μm~の配線やPAD(電極)に安定コンタクト可能です。

型式 HP120
移動量 XYZ 各 12mm
移動分解能 XYZ 各 0.254mm / 回転
調整感度 2μm
固定方式 [型式末尾 –M] ラバーマグネットベース
[型式末尾 -E] ON/OFF切替式マグネットベース(標準)
外形寸法・重量 W57×D108×H91mm・約700g(HP120-E)
HP130

HP130A 高精度ポジショナ

ファインピッチマイクロメータ送り式高精度ポジショナ。
数μmレベルの配線やPAD(電極)に安定コンタクトが可能です。

型式 HP130A/R(右配置用)
HP130A/L(左配置用)
移動量 XYZ 各 13mm
移動分解能 XYZ 各 0.25mm / 回転
調整感度 1μm
固定方式 [型式末尾 –M] ON/OFF切替式マグネットベース(標準)
[型式末尾 –V] 真空吸着ベース
外形寸法・重量 W65×D134×H128mm・約1230g(HP130A/L(R)-M)
HP130S

HP130S サブミクロン精度ポジショナ

スチール製 超高精度ポジショナ。
剛性および送り精度に優れており、サブミクロン配線へのコンタクトが可能です。

型式 HP130S/R(右配置用)
HP130S/L(左配置用)
移動量 XYZ 各 13mm (HRオプション6.5mm)
移動分解能 XYZ 各 0.25mm / 回転 (HRオプション 0.1mm / 回転)
調整感度 0.5μm(HRオプション 0.2μm)
固定方式 [型式末尾 –M] ON/OFF切替式マグネットベース(標準)
[型式末尾 –V] 真空吸着ベース
外形寸法・重量 W65×D134×H128mm・約1230g(HP130A/L(R)-M)
HP130-SC

HP130-SC シールドチャンバー対応ポジショナ

シールドチャンバー付システム専用ポジショナ。

型式 HP130-SC/R(右配置用)
HP130-SC/L(左配置用)
移動量 XYZ 各 13mm
移動分解能 XYZ 各 0.25mm / 回転
調整感度 5μm
固定方式 [型式末尾 –M] ON/OFF切替式マグネットベース
[型式末尾 -V] 真空吸着ベース
外形寸法・重量

仕様一覧

型式 移動量 調整感度 固定方式
HP 50/(L/R) XYZ 5mm 10μm 切替式マグネット
HP 65 XYZ 6.5mm 3μm 切替式マグネット
HP 80/(L/R)-M XZ 12mm/
Y 8mm
15μm ラバーマグネット
HP 80/(L/R)-E 切替式マグネット
HP 120-M XYZ 12mm 2μm ラバーマグネット
HP 120-E 切替式マグネット
HP 130A/(L/R)-M XYZ 13mm 1μm 切替式マグネット
HP 130A/(L/R)-V 真空吸着
HP 130S/(L/R)-M XYZ 13mm 0.5μm 切替式マグネット
HP 130S/(L/R)-V 真空吸着
HP 130S-HR/(L/R)-M XYZ 6.5mm 0.2μm 切替式マグネット
HP 130S-HR/(L/R)-V 真空吸着
HP 130-SC/(L/R)-M XYZ 13mm 5μm 切替式マグネット
HP 130-SC/(L/R)-V 真空吸着

※数量値引き、アカデミックプライス設定がございますので、ご提供価格につきましてはお問合せください。

プローブステーション対応表

各種プローバー(プローブステーション)と、ポジショナの対応表です。
 ○ : 搭載可(推奨)  △ : 搭載可(非推奨)  - : 搭載不可

ポジショナ型式
プローブステーション型式 HP50 HP65 HP80 HP120 HP130(A/S) HP130-SC
HMP-200/400/600
HMP-410/610
HMP-800/1200
HMP-810SC/1210SC
HSP-100/150
HSP-200/300
HSP-200SC/300SC

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