小型真空マニュアル・プローバーHMP-V80 series

研究開発用 小型真空プローバー(極低温 ~ 超高温対応)

5mm□~25mm□サイズのサンプルの、I-V / C-V / RF測定に対応した、研究開発用 小型真空プローバーです。

4k台の極低温から、最高温度 +500℃の温度試験に対応した各モデルを取り揃えています。

アプリケーション

  • 真空環境下、ガス置換環境下での特性試験
  • 極低温 ~ 超高温での温度特性評価
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
  • RF測定(~67GHz)

システム構築例


DCプローブ×4,試料裏面コンタクト(バックゲート等)×1 構成

Keysight B1500A半導体デバイス・アナライザ
とのシステムアップ(微小信号I-V・C-V測定)

仕様

HMP-V80 series 共通仕様

General
試料サイズ ~5mm□~20 mm□
到達真空度※ 1 x 10E -4 Pa
測定端子数 2 ~7 ( 最大6プローブ,バックゲート×1)
測定端子形状 標準:トライアキシャル(J)ハーメチックシール
Movements
プローブX-Y-Z移動量 X 30mm, Y 50mm, Z 15mm
プローブ位置決め調整感度 X-Y-Z <0.01mm
CCDズームユニット移動方式※ 水平スイングアーム(フリーアクセス)
Microscope
方式※ 液晶モニタ投影ズーム式CCDマイクロスコープ
モニタ上倍率※ 40x ~240x
照明装置※ 白色LEDリング照明装置

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

ラインナップ

室温 または 極低温モデル

モデル名 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式
HMP-V80 室温 なし なし
HMP-V80-LH 4.2 k ~298 k (+25℃) ヒーター 液体ヘリウム移送式
HMP-V80-LHM 8k台~473 k (+200℃) ヒーター 液体ヘリウム移送式
HMP-V80-LHH 10k台~573 k (+300℃) ヒーター 液体ヘリウム移送式
HMP-V80-LN 80 k ~298 k (+25℃) ヒーター 液体窒素クライオスタット
HMP-V80-LNM 80k~473 k (+200℃) ヒーター 液体窒素クライオスタット
HMP-V80-LNH 80k~573 k (+300℃) ヒーター 液体窒素クライオスタット

超高温モデル

モデル名 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式
HMP-V80+300 室温~+300℃ ヒーター 圧縮空気
HMP-V80+400 室温~+400℃ ヒーター 圧縮空気
HMP-V80+500 室温~+500℃ ヒーター 圧縮空気

●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズ
プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)

E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)

カタログダウンロード(PDF)

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