簡易型マニュアルプローバー
HMP-200(2インチ)

pname-HMP-200
簡易型マニュアルプローバー

小型マニュアルプローバー HMP-200
HMP-200
個片から2インチまでのウェハの測定に対応した、研究開発用簡易型マニュアルプローバーです。 
プロービングに必要な機能のみに絞ったシンプルな機構により、信頼性の高い I-V /C-V測定を実施できます。
(オプションで4インチウェハの測定にも対応可能です。)

keysite-logo2ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー合同会社の認定ソリューションパートナーです。

アプリケーション

  • 微小信号 I-V測定(fA レベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V,HF-CV)
  • 4端子抵抗測定

拡張アプリケーション

  • グローブボックス内設置
  • RF測定(~10GHz)
  • 超高速 I-V測定

システム構成例

HMP-200-2
卓上型シールド遮光ボックスとの組合せで
fAレベルの微小信号I-V測定に対応
HMP-200-3
グローブボックス内設置仕様
(CCDマイクロスコープ搭載)
HMP-200-4
微小信号I-V・C-V測定用セットアップ
プローブ×4,バックゲート×1
HMP-200-5
縦構造デバイスの精密測定に対応する
トライアキシャル構造チャック(2インチ)搭載可

代表仕様

項目 HMP-200
対応ウエハサイズ ~φ50mm(φ100mm対応可)
ステージXY移動範囲(祖動) X:120mm,Y:180mm フリーアクセス(ガイドなし)
ステージXY移動範囲(微動) XY 各 ±6.5mm
ステージθ移動範囲 ±180°
プラテンZ軸アクション 0 – 20mm フリー
ステージZ軸調整範囲 なし
システム寸法(W×D×H)※ 350 × 300 × 230 mm
システム重量※ 約 20 kg

※システムの構成により変動します。

カタログダウンロード(PDF)

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