簡易型マニュアル・プローバーHMP-200E(2inch)

個片の電気特性評価に最適なコンパクトマニュアルプローバー

個片または小径ウェハの電気特性評価に対応した、研究開発用簡易型マニュアルプローバーです。
プロービングに必要な機能のみに絞ったシンプルな機構で、信頼性の高い測定を実施できます。

室温での、トランジスタ、ダイオードのI-V測定、4端子抵抗測定等に対応できます。

アプリケーション

  • 導通試験
  • 各種 I-V測定
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV)
  • 4端子抵抗測定

装置外観


小型ポジショナ 最大6台、高精度ポジショナ
最大4台を搭載可能な固定プラテン

真空吸着ベース付のコンパクトな X,Y,Z,θ
4軸ステージ(マイクロメータヘッド付)

試料裏面に通電可能な個片対応チャック
(バックゲート印可 等)

pA以下の微小電流測定に対応する
シールド遮光ボックス オプション

代表仕様

項目 HMP-200E
ステージXY移動範囲(粗動) フリー移動(真空吸着固定機能あり)
ステージXY移動範囲(微動) XY 各 ±3mm
ステージθ移動範囲 粗動 ±30°,微動 ±5°
ステージZ移動範囲 ±3mm
プラテン 固定式
システム寸法(W×D×H)※ 300 × 270 × 440 mm
システム重量※ 約 16 kg

※システムの構成により変動します。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。
各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズ
プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)
E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)

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