MEMS,有機デバイス対応真空セミオートプローバー
HSP-V150(6インチ)/HSP-V200(8インチ)

HSP-V150/HSP-V200
MEMSデバイスの超高真空環境下、有機半導体デバイスのガス置換環境下
高低温オン・ウエハ特性評価

MEMS,有機デバイス対応 真空セミオートプローバー HSP-V150 / 200
HSPV150

MEMSデバイス

RF MEMSデバイスや水晶振動子MEMSデバイスなど、真空環境での動作を必要とするMEMSデバイスの、高低温(-60℃ ~ +300℃)オン・ウエハ測定に対応できます。
当システムの導入により、非常に高価なプロセスであるパッケージングコストを削減することが可能になります。
インピーダンスアナライザや、RFネットワークアナライザ等を組み合わせることにより、オン・ウエハで、等価定数やトランスミッション特性シミュレーション、SパラメータなどのMEMSデバイス特性を自動取得することができます。

有機デバイス

OFET,OTFT,OEL,OLEDなどの有機半導体デバイスは、大気中の水分や酸素による特性劣化を避けるために、高純度な不活性ガス環境下で測定を行う必要があります。
当システムの導入により、真空引き-ガス置換による高純度不活性ガス(N2やAr)環境下で有機半導体デバイスの高低温(-60℃ ~ +300℃)測定に対応できます。
システムは微小信号測定に対応しており、各種有機半導体デバイスの高精度I-V・C-V測定要求にお応えします。

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HSP-V150-2S
安全なサンプルローディングのための
プロービングチャンバー退避機構
HSP-V150-3S
UHV(超高真空)対応 高低温ウエハチャック
(-60℃ ~ +200℃/+300℃)

セミオートプローバー制御ソフトウェア

  • 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
  • OSはWindows 8に対応しています。(Windows 7対応も可)
  • ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
  • 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウェハ面内BINマッピング表示に対応可能です。
  • 高低温試験時の、ウエハ熱膨張補正機能を有しています。
  • 上位測定器やPCからのGP-IBコマンドによりセミオートプローバーを制御することが可能です。
  • 各測定器で取得した測定生データを解析のための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供することも可能です。(オプション)
  • ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

マニュアル操作画面

ウエハマップ操作画面

BINマッピング(オプション)

ラインナップ

200mmウエハ対応モデル

型式 対応アプリケーション
HSP-V200 微小信号I-V,QS C-V,HF C-V,RF C-V,RF(~67GHz) など

150mmウエハ対応モデル

型式 対応アプリケーション
HSP-V150 微小信号I-V,QS C-V,HF C-V,RF C-V,RF(~67GHz) など

チャック温度制御範囲選択

形式 末尾 温度範囲 加熱方式 冷却方式
-E 室温 - -
-A 室温~+200℃ ヒーター 圧縮空気
-AC +20℃~+200℃ ヒーター 圧縮空気
-AH 室温~+300℃ ヒーター 圧縮空気
-ACH +20℃~+300℃ ヒーター 圧縮空気
-C -40℃ ~ +200℃ ヒーター 圧縮空気
-CL -60℃ ~ +200℃ ヒーター 圧縮空気
-CH -40℃ ~ +300℃ ヒーター 圧縮空気
-CLH -60℃ ~ +300℃ ヒーター 圧縮空気

代表仕様

対応ウエハサイズ~φ150mm~φ200mm

項目 HSP-V150 HSP-V200
到達真空度 <10e-3 Pa
ステージXY移動範囲 X:155mm,Y:150mm X:210mm,Y:210mm
ステージXY繰り返し精度 <±2um
ステージXY位置決め精度 <±5um
ステージZ移動範囲 20mm
ステージZ繰り返し精度 <±1um
ステージθ移動範囲 ±7.5°
ステージθ位置決め分解能 0.0002°
システム寸法(W×D×H) ※ 2500 × 1800 × 1900 mm 2700 × 2000 × 1900 mm
システム重量 ※ 約 1200 kg 約 1500 kg
対応自動測定ソフトウェア
キーサイト・テクノロジー EasyEXPERT
Desktop EasyEXPERT
WaferPro Express
ケースレーインスツルメンツ KITE(4200-SCS)
ACS
Proplus design Solution Noisepro
その他GP-IB通信対応ソフトウェア

※システムの構成により変動します。

カタログダウンロード(PDF)

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