小径ウエハ対応 セミオートプローブシステム
小型セミオートプローバー HSP-100 / 150
4インチウエハまたは、6インチウエハの小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。
位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。
+20℃～+300℃の範囲のホットチャックを搭載することが可能です。
またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。
ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。アプリケーション
- +20℃ ～ +300℃ 範囲の温度特性試験
- 微小信号 I-V測定（fA レベル）
- 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV）
- RF測定（～67GHz）
- 超高速 I-V測定
拡張アプリケーション
- プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
- レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング，保護膜剥離，配線カット）
- アクティブ除振台、画像処理パターン認識による超高精度プローピンク（精度±1um以下）
- オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
- フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト
- ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial）
- ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど）
セミオートプローバー制御ソフトウェア
- 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
- OSはWindows 10に対応しています。
- ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
- 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウェハ面内BINマッピング表示に対応可能です。
- 高低温試験時の、ウエハ熱膨張補正機能を有しています。
- 上位測定器やPCからのGP-IBコマンドによりセミオートプローバーを制御することが可能です。
- 各測定器で取得した測定生データを解析のための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供することも可能です。（オプション）
- ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。
マニュアル操作画面
ウエハマップ操作画面
BINマッピング（オプション）
ラインナップ
4インチウエハ対応モデル
| 型式 | 対応アプリケーション |
|---|---|
| HSP-100 | 微小信号I-V，C-V，RF，WLR（EM，TDDB，HCI，NBTI） など |
| HSP-100HP | ハイパワーデバイス測定 400A pulse，3kV（Triaxial） / 10kV（Coaxial） |
6インチウエハ対応モデル
| 型式 | 対応アプリケーション |
|---|---|
| HSP-150 | 微小信号I-V，C-V，RF，WLR（EM，TDDB，HCI，NBTI） など |
| HSP-150HP | ハイパワーデバイス測定 400A pulse，3kV（Triaxial） / 10kV（Coaxial） |
チャック温度制御範囲選択
| 形式 末尾 | 温度範囲 | 加熱方式 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|
| -E | 室温 | – | – |
| -A | 室温～+200℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
| -AC | +20℃～+200℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
| -AH | 室温～+300℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
| -ACH | +20℃～+300℃ | ヒーター | 圧縮空気 |
代表仕様
| 項目 | HSP-100 | HSP-150 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 対応ウエハサイズ | ～φ100mm | ～φ150mm | ||||||||
| ステージXY移動範囲 | X：105mm，Y：200mm | X：160mm，Y：250mm | ||||||||
| ステージXY繰り返し精度 | ＜±2um | |||||||||
| ステージXY位置決め精度 | ＜±5um | |||||||||
| ステージZ移動範囲 | 20mm | |||||||||
| ステージZ繰り返し精度 | ＜±1um | |||||||||
| ステージθ移動範囲 | ±7.5° | |||||||||
| ステージθ位置決め分解能 | 0.0002° | |||||||||
| システム寸法（W×D×H） ※ | 1300 × 850 × 1550 mm | 1400 × 1000 × 1600 mm | ||||||||
| システム重量 ※ | 約750kg | 約1000kg | ||||||||
| 対応自動測定ソフトウェア |
|
|||||||||
※システムの構成により変動します。
カタログダウンロード（PDF）
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