小径ウェハ対応 セミオートプローブシステム
4インチ（100mm）ウエハまたは、6インチ（150mm）小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。
位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。
自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。
+15℃～+300℃の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。
またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。
・ HSP-100：4インチ (φ100mm) 対応
・ HSP-150：6インチ (φ150mm) 対応
アプリケーション
- ＋15℃～+300℃範囲の温度特性試験
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
- RF測定(～67GHz)
- 超高速I-V測定
拡張アプリケーション
- プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
- レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット）
- アクティブ除振台、オートフォーカス光学系、画像認識アライメントによる超高精度プロービング
- オプティカルデバイス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
- フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
- ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kVcoaxial）
- ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）
- ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング
- 不良ダイマーキング対応（インカー、けがき）
システム構築例
卓上型エントリーモデル(4インチ対応)
ハイパワーデバイス高温特性評価
(室温～+250℃，10kV I-V，40A)
セミオートプローバー制御ソフトウェア
- 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
- OSはWindows 10IoTEnterprise LTSBに対応しています。
- ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
- 上位測定器やPCからGP-IBコマンドにより自動制御することができます。
- 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応します。
- 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応できます。（オプション）
- 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。（オプション）
- ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。
代表仕様
| 項目 | HSP-100 | HSP-150 |
|---|---|---|
| 対応ウエハサイズ | ～φ100mm | ～φ150mm |
| ステージXY移動範囲 | X：110mm,Y：200mm | X：160mm, Y：250mm |
| ステージXY繰り返し精度 | ＜±2um | |
| ステージXY位置決め精度 | ＜±5um | |
| ステージZ移動範囲 | 20mm | |
| ステージZ繰り返し精度 | ＜±1um | |
| ステージθ移動範囲 | ±7.5° | |
| ステージθ位置決め分解能 | 0.0002° | |
| システム寸法（W×D×H）※ | 1200×900×1700 mm | 1300×900 ×1700 mm |
| システム重量※ | 約600kg | 約700kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
標準的な自動測定対応ソフトウェア
| キーサイト・テクノロジー | ・EasyEXPERT group+ ・WaferPro Express ・SPARK他 |
|---|---|
| TFF/ケースレーインスツルメンツ | ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) ・ACS |
| ProPlus Design Solutions | ・Noisepro |
※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション
ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。
ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。
インテグレーション実績有 計測器メーカー様
（順不同、敬称略）
- キーサイト・テクノロジー(株)
- テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
- (株)エヌエフ回路設計ブロック
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
- 日置電機(株)
- 岩崎通信機(株)
- (株)エーディーシー
- (株)テクシオ・テクノロジー
他 多数
インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）
HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株） 他 多数
カタログダウンロード（PDF）
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