小型セミオートプローバー
HSP-100(4インチ)/HSP-150(6インチ)

小型セミオートプローバー
小径ウエハ対応 セミオートプローブシステム

小型セミオートプローバー HSP-100 / 150
HSP100
4インチウエハまたは、6インチウエハの小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。
位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。
+20℃~+300℃の範囲のホットチャックを搭載することが可能です。
またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。

keysite-logo2ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー合同会社の認定ソリューションパートナーです。

アプリケーション

  • +20℃ ~ +300℃ 範囲の温度特性試験
  • 微小信号 I-V測定(fA レベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V,HF-CV,RF-CV)
  • RF測定(~67GHz)
  • 超高速 I-V測定

拡張アプリケーション

  • プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)
  • レーザーカッターの搭載(ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
  • アクティブ除振台、画像処理パターン認識による超高精度プローピンク(精度±1um以下)
  • オプティカルデバイス(LED,LD,VCSEL,PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
  • フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト
  • ハイパワーデバイス測定(400A Pulse,±3kV triaxial,±10kV coaxial)
  • ウエハレベル信頼性試験(EM,TDDB,HCI,NBTI,BTなど)

セミオートプローバー制御ソフトウェア

  • 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
  • OSはWindows 8に対応しています。(Windows 7対応も可)
  • ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
  • 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウェハ面内BINマッピング表示に対応可能です。
  • 高低温試験時の、ウエハ熱膨張補正機能を有しています。
  • 上位測定器やPCからのGP-IBコマンドによりセミオートプローバーを制御することが可能です。
  • 各測定器で取得した測定生データを解析のための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供することも可能です。(オプション)
  • ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

マニュアル操作画面

ウエハマップ操作画面

BINマッピング(オプション)

ラインナップ

4インチウエハ対応モデル

型式 対応アプリケーション
HSP-100 微小信号I-V,C-V,RF,WLR(EM,TDDB,HCI,NBTI) など
HSP-100HP ハイパワーデバイス測定 400A pulse,3kV(Triaxial) / 10kV(Coaxial)

6インチウエハ対応モデル

型式 対応アプリケーション
HSP-150 微小信号I-V,C-V,RF,WLR(EM,TDDB,HCI,NBTI) など
HSP-150HP ハイパワーデバイス測定 400A pulse,3kV(Triaxial) / 10kV(Coaxial)

チャック温度制御範囲選択

形式 末尾 温度範囲 加熱方式 冷却方式
-E 室温 - -
-A 室温~+200℃ ヒーター 圧縮空気
-AC +20℃~+200℃ ヒーター 圧縮空気
-AH 室温~+300℃ ヒーター 圧縮空気
-ACH +20℃~+300℃ ヒーター 圧縮空気

代表仕様

項目 HSP-100 HSP-150
対応ウエハサイズ ~φ100mm ~φ150mm
ステージXY移動範囲 X:105mm,Y:200mm X:160mm,Y:250mm
ステージXY繰り返し精度 <±2um
ステージXY位置決め精度 <±5um
ステージZ移動範囲 20mm
ステージZ繰り返し精度 <±1um
ステージθ移動範囲 ±7.5°
ステージθ位置決め分解能 0.0002°
システム寸法(W×D×H) ※ 1300 × 850 × 1550 mm 1400 × 1000 × 1600 mm
システム重量 ※ 約750kg 約1000kg
対応自動測定ソフトウェア
キーサイト・テクノロジー EasyEXPERT
Desktop EasyEXPERT
WaferPro Express
ケースレーインスツルメンツ KITE(4200-SCS)
ACS
Proplus design Solution Noisepro
その他GP-IB通信対応ソフトウェア

※システムの構成により変動します。

カタログダウンロード(PDF)

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