小径ウェハ対応 セミオートプローブシステム
4インチ(100mm)ウエハまたは、6インチ(150mm)小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。
位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。
自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。
+15℃~+300℃の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。
またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。
・ HSP-100:4インチ (φ100mm) 対応
・ HSP-150:6インチ (φ150mm) 対応
アプリケーション
- +15℃~+300℃範囲の温度特性試験
- 微小信号I-V測定(fAレベル)
- 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
- RF測定(~67GHz)
- 超高速I-V測定
拡張アプリケーション
- プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)
- レーザーカッターの搭載(ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
- アクティブ除振台、オートフォーカス光学系、画像認識アライメントによる超高精度プロービング
- オプティカルデバイス(LED, LD, VCSEL, PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
- フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
- ハイパワーデバイス測定(200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kVcoaxial)
- ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど)
- ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング
- 不良ダイマーキング対応(インカー、けがき)
システム構築例
セミオートプローバー制御ソフトウェア
- 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
- OSはWindows 10IoTEnterprise LTSBに対応しています。
- ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
- 上位測定器やPCからGP-IBコマンドにより自動制御することができます。
- 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応します。
- 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応できます。(オプション)
- 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。(オプション)
- ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。
代表仕様
項目 | HSP-100 | HSP-150 |
---|---|---|
対応ウエハサイズ | ~φ100mm | ~φ150mm |
ステージXY移動範囲 | X:110mm,Y:200mm | X:160mm, Y:250mm |
ステージXY繰り返し精度 | <±2um | |
ステージXY位置決め精度 | <±5um | |
ステージZ移動範囲 | 20mm | |
ステージZ繰り返し精度 | <±1um | |
ステージθ移動範囲 | ±7.5° | |
ステージθ位置決め分解能 | 0.0002° | |
システム寸法(W×D×H)※ | 1200×900×1700 mm | 1300×900 ×1700 mm |
システム重量※ | 約600kg | 約700kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
標準的な自動測定対応ソフトウェア
キーサイト・テクノロジー | ・EasyEXPERT group+ ・WaferPro Express ・SPARK他 |
---|---|
TFF/ケースレーインスツルメンツ | ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) ・ACS |
ProPlus Design Solutions | ・Noisepro |
※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション
ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。
各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。


半導体デバイス・アナライザ

プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)

E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)
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