小径ウェハ対応 セミオートプローブシステム

4インチ（100mm）ウエハまたは、6インチ（150mm）小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。
位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。

自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。
+15℃～+300℃の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。

またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。

・ HSP-100：4インチ (φ100mm) 対応
・ HSP-150：6インチ (φ150mm) 対応

アプリケーション

• ＋15℃～+300℃範囲の温度特性試験
• 微小信号I-V測定(fAレベル)
• 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
• RF測定(～67GHz)
• 超高速I-V測定

拡張アプリケーション

• プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
• レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット）
• アクティブ除振台、オートフォーカス光学系、画像認識アライメントによる超高精度プロービング
• オプティカルデバイス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
• フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
• ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kVcoaxial）
• ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）
• ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング
• 不良ダイマーキング対応（インカー、けがき）

システム構築例

セミオートプローバー制御ソフトウェア

• 最新の高性能・多機能セミオートプロービングソフトウェア。
• OSはWindows IoT Enterprise LTSB に対応。(長期サポート対応）
• 操作性に優れたシングルウィンドウオペレーション。
• メガピクセル撮像カメラ対応。
• ソフトウェアGUIまたはペリフェラルコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用可能。
• 上位測定器やPCからGP-IBコマンドで、またはPC内にインストールされた測定器制御ソフトウェアからファイル渡しでの自動制御、自動運転に対応します。
• 上位ソフトウェアからBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応。
• 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応可能。（オプション）
• 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。（オプション）
• ソフトウェアは自社開発で、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

代表仕様

項目	HSP-100	HSP-150
対応ウエハサイズ	～φ100mm	～φ150mm
ステージXY移動範囲	X：110mm,Y：200mm	X：160mm, Y：250mm
ステージXY繰り返し精度	＜±2um
ステージXY位置決め精度	＜±5um
ステージZ移動範囲	20mm
ステージZ繰り返し精度	＜±1um
ステージθ移動範囲	±7.5°
ステージθ位置決め分解能	0.0002°
システム寸法（W×D×H）※	1200×900×1700 mm	1300×900 ×1700 mm
システム重量※	約600kg	約700kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

ハードウェア オプション（代表）

• オートフォーカス機能
• アクティブ・クーリング機能（温度特性試験時のプローブ・チャック熱ドリフト低減）
• 顕微鏡 X-Y 電動ステージ（ソフトウェア制御）
• 顕微鏡 電動ズーム、電動フォーカス機能（ソフトウェア制御）
• プローブ自動クリーニング機能
• エッジセンサーユニット（プローブコンタクト高さ 面内 ±1umで制御）
• インカーユニット（ダイマーキング）
• セーフティ・ライトカーテン（追加インターロック機能）
• 超ローノイズ仕様（1/fノイズ、RTN測定に対応）

ソフトウェア オプション

• パターンマッチング 画像認識機能（XYθ位置補正）
• 測定器制御ソフトウェア（要ご相談）

標準的な自動測定対応ソフトウェア

キーサイト・テクノロジー	・EasyEXPERT group+ ・WaferPro Express ・SPARK他
TFF/ケースレーインスツルメンツ	・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) ・ACS
ProPlus Design Solutions	・Noisepro

※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他 多数

ハイソル 自動測定対応ソフトウェア

ハイソル セミオートプローバーと各種測定器を自動制御するカスタムソフトウェアをご提供します。
お客様のご要求測定アプリケーションに最適な自動測定ソフトウェアを製作構築させて頂きます。

ソフトウェア製作事例

カタログダウンロード（PDF）

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