小径ウェハ対応セミオート・プローバーHSP-100(4 inch)/HSP-150(6 inch)

小径ウェハ対応 セミオートプローブシステム

4インチ(100mm)ウエハまたは、6インチ(150mm)小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。
位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。

自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。
+15℃~+300℃の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。

またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。

・ HSP-100:4インチ (φ100mm) 対応
・ HSP-150:6インチ (φ150mm) 対応

アプリケーション

  • +15℃~+300℃範囲の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
  • RF測定(~67GHz)
  • 超高速I-V測定

拡張アプリケーション

  • プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)
  • レーザーカッターの搭載(ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)
  • アクティブ除振台、オートフォーカス光学系、画像認識アライメントによる超高精度プロービング
  • オプティカルデバイス(LED, LD, VCSEL, PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
  • フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
  • ハイパワーデバイス測定(200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kVcoaxial)
  • ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど)
  • ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング
  • 不良ダイマーキング対応(インカー、けがき)

システム構築例


卓上型エントリーモデル(4インチ対応)

ハイパワーデバイス高温特性評価
(室温~+250℃,10kV I-V,40A)

セミオートプローバー制御ソフトウェア

  • 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
  • OSはWindows 10IoTEnterprise LTSBに対応しています。
  • ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
  • 上位測定器やPCからGP-IBコマンドにより自動制御することができます。
  • 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応します。
  • 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応できます。(オプション)
  • 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。(オプション)
  • ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

代表仕様

項目 HSP-100 HSP-150
対応ウエハサイズ ~φ100mm ~φ150mm
ステージXY移動範囲 X:110mm,Y:200mm X:160mm, Y:250mm
ステージXY繰り返し精度 <±2um
ステージXY位置決め精度 <±5um
ステージZ移動範囲 20mm
ステージZ繰り返し精度 <±1um
ステージθ移動範囲 ±7.5°
ステージθ位置決め分解能 0.0002°
システム寸法(W×D×H)※ 1200×900×1700 mm 1300×900 ×1700 mm
システム重量※ 約600kg 約700kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

標準的な自動測定対応ソフトウェア

キーサイト・テクノロジー ・EasyEXPERT group+
・WaferPro Express
・SPARK他
TFF/ケースレーインスツルメンツ ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment)
・ACS
ProPlus Design Solutions ・Noisepro

※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

各種計測機器をはじめ、専用冶具、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステムをご提案いたします。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー株式会社の認定ソリューションパートナーです。
B1500A
半導体デバイス・アナライザ
B2900Aシリーズ
プレシジョン・ソース/メジャー・ユニット(SMU)

E4980A
プレシジョンLCRメータ(20Hz~2MHz)

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