小径ウエハ対応 セミオートプローブシステム

小型セミオートプローバー　HSP-100 / 150

4インチウエハまたは、6インチウエハの小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。
位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。
+20℃～+300℃の範囲のホットチャックを搭載することが可能です。
またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。

ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー合同会社の認定ソリューションパートナーです。

アプリケーション

• +20℃ ～ +300℃ 範囲の温度特性試験
• 微小信号 I-V測定（fA レベル）
• 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV）
• RF測定（～67GHz）
• 超高速 I-V測定

拡張アプリケーション

• プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
• レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング，保護膜剥離，配線カット）
• アクティブ除振台、画像処理パターン認識による超高精度プローピンク（精度±1um以下）
• オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
• フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト
• ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial）
• ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど）

セミオートプローバー制御ソフトウェア

• 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
• OSはWindows 8に対応しています。（Windows 7対応も可）
• ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
• 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウェハ面内BINマッピング表示に対応可能です。
• 高低温試験時の、ウエハ熱膨張補正機能を有しています。
• 上位測定器やPCからのGP-IBコマンドによりセミオートプローバーを制御することが可能です。
• 各測定器で取得した測定生データを解析のための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供することも可能です。（オプション）
• ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

マニュアル操作画面

ウエハマップ操作画面

BINマッピング（オプション）

ラインナップ

4インチウエハ対応モデル

6インチウエハ対応モデル

チャック温度制御範囲選択

代表仕様

※システムの構成により変動します。

カタログダウンロード（PDF）

ハイソルプローブ
システム総合カタログ