小径ウェハ対応 セミオートプローブシステム

4インチ（100mm）ウエハまたは、6インチ（150mm）小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。
位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。

自由度の高い設計コンセプトおよび、豊富なオプションを取り揃えており、拡張性に優れています。
+15℃～+300℃の範囲の高温チャックを搭載することが可能です。

またオプションで大電流、高電圧 ハイパワーデバイスアプリケーションにも対応できます。

・ HSP-100：4インチ (φ100mm) 対応
・ HSP-150：6インチ (φ150mm) 対応

アプリケーション

• ＋15℃～+300℃範囲の温度特性試験
• 微小信号I-V測定(fAレベル)
• 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
• RF測定(～67GHz)
• 超高速I-V測定

拡張アプリケーション

• プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
• レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット）
• アクティブ除振台、オートフォーカス光学系、画像認識アライメントによる超高精度プロービング
• オプティカルデバイス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
• フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
• ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kVcoaxial）
• ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）
• ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング
• 不良ダイマーキング対応（インカー、けがき）

システム構築例

セミオートプローバー制御ソフトウェア

• 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。
• OSはWindows 10IoTEnterprise LTSBに対応しています。
• ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。
• 上位測定器やPCからGP-IBコマンドにより自動制御することができます。
• 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応します。
• 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応できます。（オプション）
• 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。（オプション）
• ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。

代表仕様

項目	HSP-100	HSP-150
対応ウエハサイズ	～φ100mm	～φ150mm
ステージXY移動範囲	X：110mm,Y：200mm	X：160mm, Y：250mm
ステージXY繰り返し精度	＜±2um
ステージXY位置決め精度	＜±5um
ステージZ移動範囲	20mm
ステージZ繰り返し精度	＜±1um
ステージθ移動範囲	±7.5°
ステージθ位置決め分解能	0.0002°
システム寸法（W×D×H）※	1200×900×1700 mm	1300×900 ×1700 mm
システム重量※	約600kg	約700kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

標準的な自動測定対応ソフトウェア

キーサイト・テクノロジー	・EasyEXPERT group+ ・WaferPro Express ・SPARK他
TFF/ケースレーインスツルメンツ	・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) ・ACS
ProPlus Design Solutions	・Noisepro

※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他 多数

カタログダウンロード（PDF）

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